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摘要 FmFjRYA W \C>+ubF
9s*QHCB0 v^)B[e! 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 _zJ /z F`GXho[ 建模任务 )%PMDG| ANgt\8
mkhWbzD'S dS\!tdHP-Q 微结构 BMqr YW R:3=!zav
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}+Q4s] I9Uj3cL\ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: *l;S"}b*,_ #6v357-5 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 !XM<`H/ jD%|@ux 微结构组件的配置 v~yw-}fk% 2r;h">
IsShAi N&eo;Ti - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ~Uey'Xz - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 _RbM'_y+E - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 IC (:RtJ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 `<g6^ P \I-e{'h 总结-组件… F" M D9NQ3[R 9
p2k`)=iX wGw~ F:z D4C:%D Z4c'1-lh 监测器平面上的衍射图案 w%plK6:6 <:NahxIlu
j"hEs(t Aj=GekX{ 监测器平面上的衍射图案 NL>Trv5 4c95G^dZ
;']u}Nh W$2\GPJt 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 `/'p1?Z" |cP:1CRzi 高度缩放调制 l
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_hJdC|/ ,|3_@tUl 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 Rd5-ao4 Jwfb%Xge~
7}y@VO6] Kw$@_~BJ6 VirtualLab Fusion技术 HA,8O[jon t72u%M6
c61OT@dZEA hczDu8 文件信息 AIY 1sSK ep?D;g
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