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摘要 &y[Od{= *T$`5|
]S[M]-I WtN o@e' 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 4N[8LC;MH yEJ}!/ 建模任务 |bk.gh 2ro4{^(_
X2 c<. ?\L@Pr|=Dr 微结构 wN-3@ i(Cd#1<
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G1K5J`"* Ms;:+JI 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: {9q~bt y m<3 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 )@Fuw* AifnC4 微结构组件的配置 y*0bHzJ ^31X-}tv
(, Il>cR4 nsQx\Tnhx - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 eGwrSF#a) - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 R=yn4>I - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 HP}d`C5<R - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 MDGD*Qn~ &k*sxW' 总结-组件… DF|(CQs9 |_@ '_
bnt>j0E `?+lM )EZ#BF<0| PTfTT_t 监测器平面上的衍射图案 V`sINX 8Ux3,X=
6," 86 M@ILB-H 监测器平面上的衍射图案 d%FD=wm |Byw]\3v
atRWKsY< ^iAOz-H 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 6K501!70g6 s4uZ; 高度缩放调制 'yd<<BM` {XAm3's
FGY4 u4y kXK D>."E* 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 b2]1Dfw {WfZE&B
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