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摘要 ANMYX18M J{Tq%\a3 衍射光学元件(DOEs)和微结构表面实现了各种各样的光学功能,如分束器,光束整形器和扩散器。由于衍射方法,这些元件通常比大多数折射元件更薄和更轻,同时为光学中的许多应用提供了独特和强大的选择。在这个用例中,我们演示了如何在VirtualLab Fusion中使用微结构和衍射光学元件(DOE)元件定义这样的元件。 zE`R,:VI cx^{/U?9} 在哪里可以找到元件 YsP/p- B!b sTvX 衍射光学元件(DOE)和微结构元件可以在元件 >单一表面 &堆栈中找到。 HR60 ] TSg!H 这两个元件使用相同的内部求解器,只是为了便于识别和应用而有不同的名称。在这个用例中,我们将展示微结构元件,但一切都可以类似地应用到衍射光学元件(DOE)。 (KTnJZ 7yI`e*EOD 微结构元件的功能 xQu
eE{ TY.F pW 0Q~@F3N-\> 对于光通过期望的微结构的传播,微结构元件应用了一一个复数面响应,这意味着元件对所有场入射光的振幅和相位的响应函数。该响应函数既可以直接定义为传输函数,也可以通过应用薄元件近似TEA)对给定的高度剖面进行计算。 z856 nl =x0No*#|' 基底界面 sS!w}o2X \dq!q=b\ 在固体选项卡上,定义一般参数,比如特定表面后面的介质,也就是预期结构所在的地方。用户可以利用不同材料的扩展库来选择,或使用色散公式如赛米尔方程定义自己的材料。 5)'P'kVi7. 5+P@sD 定义为复数表面响应 Sdd9Dv?! XoR>H4xh 在通道操作员选项卡上,可以通过设置复数传输函数来定义所需DOE的复杂表面响应... 7byCc_, K>1X}ZMdD( 定义为堆栈——真实高度剖面 xd8
*<,Wj Bux'hc 8$vK5Dnn8 微结构的方向 o>c^aRZ{ dTGA5c 应用解算器 KWhZ +i` T&xt`| Dag`>|my 精度系数 ;GsQR+en ALGgAX3t ],lV}Mlg* 添加背面 [B^ G- !e3YnlE 由于微结构元件只定义了微结构所在的表面,因此为了在基板上配置元件,背面是必要的。这可以通过在元件 > 单一表面&薄膜下添加平面来实现,并配置适当的距离(基板厚度)和材料。 [vTMS2 s_eOcm 文件信息 8]< f$3. KJh,,xI>by
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