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摘要 "C+Fl
/v Uq2 Qh@B 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 yn{U/+ }iR!uhi#
yMf["AvG uTP4r 系统内光栅建模 e#4 iue7U 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 j<i:rk| 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 e1K{*h 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 v=+> ids Umk ! m] q
\Eyy^pb [zl"G^z 附着光栅堆栈 hC2Ra "te) [kZe6gYP& 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 82z<Q*YP 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 =7U8`]WA 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 D5
^Wi Q< 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 I44bm?[S YZ+<+`Mz< &v_b7h dp>Lh TLc 堆栈的方向 Jm
G)=$, `
_]tN 堆栈的方向可以用两种方式指定: t8b,@J`R ,vUMy&AV 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 7o64|@ 'j 3?DM
AV 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Z9 tjo1X KP!ctlP~ }^B=f_Ag Nc :>] 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 |70Lh+ q P>Gre 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 uEkUK| 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ||k^pzj% 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 $+a2CZs! C$$lJ=>
|Xl,~-. DvvjIYB~ 高级选项和信息 | (a<b 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 P(za8l> 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 cLe659 & 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 uia-w^F e 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ~*h` ?A0 c)fTI,.$
w0^T- O`< I-
X|- 结构分解 g4^df%)& *.9.BD9 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 "J%/xj 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 3pKr
{U92 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 pV^hZ. 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 r$~
f[cA v-@xO&<
Yj^n4G(h n.$wW
= 光栅级次通道选择 9L'R;H?L u;*Wc9>sU 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 "b"Q0"w 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 SD^6ib/]b 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 OQON~&~ "!6 Ax-'
dF%sD|<) 4X2/n 光栅的角度响应 IU`&h2KZ. 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 agFWye 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ggUJ -M'2h 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 fhAK^@h 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 j6KGri 4W9#z~'
gs_nUgcA =MqefV;- 例:谐振波导光栅的角响应 Py[Z9KLX ^\uj&K6l
Y|=/*?o} /CAi%UH,F 谐振波导光栅的角响应 fr%}|7 %K_[Bx{B
$b/oiy!=|3 文件信息 0 ej!!WP {Ah\-{]
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