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摘要 >\K<q>* EH"iK2n\9 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 5+GW%U/ }$V]00
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]nN']?{7PW PGMu6$ 系统内光栅建模 |H5){ 2V>K 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 Z~8Xp 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 R:B-4 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 1 ,o C:N ]DdD
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k+44ud.j qFW-
~T 附着光栅堆栈 *}3e'0` YL&$cT]1 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 T1;yw1/m5\ 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ;C-5R U
V 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 3=)/-l 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 673v %96JH
YcX <\?ySto ~R/7J{Sg 堆栈的方向 WUAjb,eo o(>!T=f 堆栈的方向可以用两种方式指定: '/SMqmi h$~ NPX 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 fu9y3` bXc7$5(!VB 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 z7MJxjH p*W4^2(d *D F5sY N2;T\xx, 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 M{zzXE[@ WW@/q`h 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 AZorz Q]s 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Q5r cPU>A 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 v*QobI Iqe4O~)
W$N_GR'4 Q <^'v>~n 高级选项和信息 y ']>J+b0 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 >
zh%CF$ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 ,Zzh. z::D 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ;f[Ki$7 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 -n!.PsGO> )& %X
AW{
]s s0~2 h(] O;a- 结构分解 -a]oN:ERb R8Lp8!F' 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 )#T(2A 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 h -+vM9j 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 `BMg\2Ud* 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 k5xzC& HvK<>9
'%V ;oJ" mR[J Xh9s 光栅级次通道选择 jIZQ/xp8_ `HgT5} 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 odny{ePAf 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 Z5[ t/ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 QZ"Lh WY?(C@>s
.gv J;A7 7w|W\J^7r 光栅的角度响应 jbn{5af 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 =!9+f 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 @?3u|m |Z 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 %K;,qS'N_ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Io5-[d G|'DAj%
*r?g&Vw$m nC qUg_{D 例:谐振波导光栅的角响应 O%tlj@? NV9D;g$Y
UALwr>+VJ {w(6Tc 谐振波导光栅的角响应 CP |N2rb >wdR4!x!?
un6grvxr 文件信息 Od^y&$|_%` <!Nj2>
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