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摘要 :74y! Q' {ML4 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Jdj2~pTq *XIF)Q=<>
p8Qk'F=h v dc\R? 系统内光栅建模
@niHl 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 s"r*YlSp" 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 Ng2twfSl$ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 52Z2]T
c, h-`? {k&e
*k.G5>@ K0|FY=#2y 附着光栅堆栈 #A JDWelD 0z6R'Kjy A 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 8Fz#A.%P 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 7x|9n 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ?]_$Dcmx 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 f@wquG' *v !9MU9[( /T0F"e)Ci 61C7.EZZ; 堆栈的方向 P~ >OS5^ F rfM3x6UM 堆栈的方向可以用两种方式指定: o,\$ZxSlm Tztu}t]N 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 /K@XzwM -A^ _{4X 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 t&C1Oo}=3 ] vHF~|/- ;#W2|'HD u5`u>.! 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 6jD=F ^jw oGnSPI5KGC 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 4#MtF'J 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 M6"PX *K 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 -V77C^()8d y&$A+peJ1
HmGWht6R x)DMPVB< 高级选项和信息 G5BfNU 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ,q`\\d 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 jp%S3) 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 z#wkiCRYm 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 <44G]eb lfow1WRF
vH@ds
k vm8eZG| 结构分解 rH Lm\3 6Pl<'3& 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 Gx/Oi)&/ 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 6@5+m
0`u3 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 )D7m,Wi+ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 `4J$Et%S iOghb*aW
d7;um<%zn j3V
-LnA 光栅级次通道选择 CY5Z{qiX A}9`S6 @@ 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 -uG+BraI 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 N:/D+L 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 &U#|uc!+ YK'<NE3 4
.|70; I+!0 O 光栅的角度响应 +'HqgSPyb 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 UB@+ck 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 F^;ez/Gl 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ^\=`edN 0 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Ow,w$0(D ea
'D td
!l8PDjAE 0'C1YvF 例:谐振波导光栅的角响应 Zb>? 8 O_7|C\]
sDlO# Z@!+v19^ 谐振波导光栅的角响应 !_)[/q" $'M!HJxb
on`3&0,. 文件信息 m;QMQeGz rg!r[1c
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