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摘要 <sn^>5Ds QL 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 HjL+Wg $S3C_..
^|OxlfS *\-6p0~A 系统内光栅建模 h\:"k_u# 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 0(HUy`]> 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 Sh=z 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 W!htCwnkF kOeW,:&65
b$%W<D N9idk}T 附着光栅堆栈 iCa#OQ 05$CIS>! 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 X`#vH8 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 CO-9-sQx
参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。
mM!Gomp 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 -I'#G D> =`99ez+y p~BEz?e 0.=dOz r 堆栈的方向 42~tdD UM3}7| 堆栈的方向可以用两种方式指定: sA#}0>`3S V*}ft@GPD 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ?sk{(UN] :tdN#m6& 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 xN'$Yh
U]ynnw4 :[kfWai #( YZMSiDv[e 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 T1_O~< 8,7^@[bzXx 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 e
^2n58 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 `-/-(v+ i 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 oIrO%v:'! =;ClOy9
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4!$[h Y 3h`uLQ 高级选项和信息 Py y!B 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 I() =Ufs5z 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 C3)*Mn3%P 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 .o8Sy2PaV 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 JuQwZ]3ed ;-#2p^
-M5vh~Tp /W9(}Id6 结构分解 {7'Wi$^F >~:Md 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 & %A&&XT9 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Xdh2 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 @<(4J
分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 Pm&h v*D _rM?g1}5j
' Dp;fEU$ BX\/Am11 光栅级次通道选择 R!f<6l8#W 'b)qP| 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 7zM9K+3L 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 z_93j3# 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 %5RR<[_/; e[
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`6$|d,m5 V56WgOBxz 光栅的角度响应 !]5}N^X 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 {Y-~7@ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 TZ&X0x8 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 t:MSV? 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 bTU[E w=pr?jt1:
\~RDvsSD ijsoY\V50 例:谐振波导光栅的角响应 @A4$k
dJ2 .7]P-]uOZ
jr,N+K(@T rk6K0TQ8 谐振波导光栅的角响应 Mg#yl\v _%q~K (::
k&2=-qgVR 文件信息 85YUqVi9 >H^#!eaqw
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