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摘要 g/13~UM\ 1:Si,d,wh 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 !x'/9^i~v PqM1aoyX
lsN~*q?~] Fs[aa#v4B 系统内光栅建模 {mB0rKVm 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 BB|?1"neg 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 >vo=]cw 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 a1Qv@p^._b MQin"\
C*nB ~}Rj$%_ 附着光栅堆栈 JI vo_7{ .5 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 s`>[F@N7.o 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 |>z3E z 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 (rg;IXAq% 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 i1RiGS epgPT'^ "fq{Y~F%` #pcP! 堆栈的方向 mS0udHod Ie%EH 堆栈的方向可以用两种方式指定: 7=(Hy\Q5xH E@Ad'_H 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 " LJq%E ? R>h ` 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 &IlU|4`R% qTQBt} vB+ ' *-xU2 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 jv&!Kw.Ug ]5%/3P,/ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 U T="2*3gz 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 w|Nz_3tI 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 |hr]>P1 } CfqG?)
Zkf0p9h\ >$ 2V%}; 高级选项和信息 xZV1k~C 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 VWO9=A*Y| 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 xCtmXo 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ;V<fB/S.=+ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ":_vK}5 xpOg8u5
i E CrI3s O eL}EVs8= 结构分解 Onwp-!!.
Y/7 $1k 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 <^$<#Kd 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 H9CS*|q6r 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 <ZB1Vi9}8 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 GQ
|Mr{.; \G-KplKS
5<w g8y k?'B*L_Mzv 光栅级次通道选择 :^(>YAyHj^ p QizJ6 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 B7!3-1<k> 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 8(* [Fe9 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 a1@Y3MQ;i x*/S*!vx\
8Ac:_Zg db6mfxi 光栅的角度响应 @*sWu_-Y% 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ,N0#!<}4 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 H*)NLp 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 q`r**N+zn 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 /E\%>wv r-<F5<H+K@
=AuR:Tx h2D>;k 例:谐振波导光栅的角响应 Ng_!zrx04 yeMB0Z*r
XcjRO#s\ :ijAqfX 谐振波导光栅的角响应 ' MxrQ;|S Q@HopiC
->V<DZK 文件信息 1@-Ns k`N^Vdr
GN2Sn`;
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