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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-13
    摘要 7"'RE95  
    ?XY'<]o E  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 :k_&Zd j,B  
    )pl5nu#<  
    j;`pAN('  
    _O}m0c   
    系统内光栅建模 #ELe W3 S}  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 \OVFZ D  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 {Phq39g  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 1Of(O!  
    v's1 &%sM  
    W+a/>U  
    .6`r`|=  
    附着光栅堆栈 )l`Ks  
    =Q<VU/  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 x\Q}fk?{t  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 k( Sda>-  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 %"v:x?d$$o  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 lC#wh2B6  
    dXxf{|gk>  
    y>=YMD  
    c~tl0XU1  
    堆栈的方向 %w^*7Oi  
    :O413#8  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: ,;t:x|{%  
    {A==av  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 /}6I3n  
    i6HRG\9nU  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 oZ*?Uh*  
    KfjWZ4{v  
    T!]rdN!  
    UWO3sZpU  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 %JBLp xnq  
    '/<\X{l8  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 {Lal5E4-  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Q &W>h/  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 B(M-;F  
    lPR^~&/  
    Xb:* KeZq  
    Z5TA4Q+Q  
    高级选项和信息 =u}~\ 'd  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Lan|(!aW  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 zd%f5L('  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 [ifw}(  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 :!s7B|_U  
    KWo Ps%G  
    vQCb?+X&  
    d(|?gN^  
    结构分解 a!bW^?PcK  
    8a*&,W  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 2n3&uvf'TL  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 5 <k)tF%  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 B0yJ9U= Fj  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 iT&4;W=72~  
    [q%`q`EG  
    Y\WQ0'y  
    +- qk\sQ  
    光栅级次通道选择 s``a{ HZ  
    >N al\  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 EeMKo  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 =iB[sLEJ  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 FiMM-c|  
    zwC ,,U  
    Rw `ezC#  
    Zq&'a_  
    光栅的角度响应 q`mxN!1[  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 &iWTf K7  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 `^/8dIya  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 .'o=J`|  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 CN(-Jd.b  
    ! $mY.uu  
    kttJTP77t  
    \%r0'1f  
    例:谐振波导光栅的角响应 Y7+c/co  
    Gjeb)Y6N  
    9IXy96]]6  
    7~J>Ga  
    谐振波导光栅的角响应 QlvP[Jtr  
    &Ih }"  
    @8{8|P  
    文件信息 6h5g!GQD  
    5|0/$ SWd*  
    ?,7!kTRH  
     
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