-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-07-22
- 在线时间1977小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 :@P6ibcX eFS$ ;3FP1 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 :E|Jqi \ k}E_1_S(
YcwDNsk 4guR8 elM 系统内光栅建模 &=M4Z/Ao 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 ')yYpWO 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 btnD+O66< 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 l/B+k v@SHR0
y4|<+9<7 ):Z#!O< 附着光栅堆栈 i M
MKA0JM @6+_0^ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 \ >wQyz 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ;Gn>W+Ae
M 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 a'Odw2Q_ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Zos.WS# z)v o
*q,nALs <8?
F\x@ 堆栈的方向 ;8K>]T) ,ZrR*W?iF 堆栈的方向可以用两种方式指定: FNOsw\Bo /=AFle2( 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 -EFdP] XO NT5##XOB 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 !t~tIJ>6 kb"Fw:0
2-ksr}: eAI|zk6 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 LE5N2k K
re*~ " 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 'WmjQsf 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 VB4V[jraCF 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 o$% KbfXO] n{~&^Nby*I
`^on`"\{u :8}Qt^p 高级选项和信息 o+{i26% 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Y?0x/2< 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 6|n3Q$p 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 "SQyy 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 3Rsrb {g1R?W\LZ
t.RDS2N| lf
KV% 结构分解 Xg1TX_3Ml L7GNcV]c 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 sm G?y~ 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 CKFr9bT{ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 f>cUdEPBb 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 {c]dz7'? ;ZcwgsxTM
s?1Aj< ('j'>"1H 光栅级次通道选择 IUh9skW5 U+4[w`a} 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 > QN-K]YLL 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 e?07o!7[; 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 d Efk~V\ [h' 22W
wouk~>Jft 5"!K8
N
光栅的角度响应 OtQ]\:p7 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Er$&}9G+- 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 +"WNG 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 fwzyCbks 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 *>W6,F7 )w&|VvM )L
(M{wkQTO }7{(o- 例:谐振波导光栅的角响应 :nqDX Y Kp@n8A
S7cD}yx*[ yU7XX+cB7 谐振波导光栅的角响应 eL)m( 7T!t*sSO'
XS^du{ai 文件信息 .v+J@Y a 4z~;4
j1K~zG
|