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摘要 s:
c */gm! :Ym 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 EjsAV F
[@ :Jp$_T&E
NTRw:' &KfRZ`9H 系统内光栅建模 ]=A=VH& 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 JTcK\t8 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 pdnkHR$ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 \~H;Wt5 xNG'UbU
xyO]Evg x)6yWr[ri% 附着光栅堆栈 ZN)a}\] *uYnu|UQH 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 <y${Pkrj 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ?#@JH 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 8fpaY{] 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 lf3:Z5*&> Ro+/=*ql~ {e,m<mAi w7Nb+/,sg 堆栈的方向 846j<fE F^kH"u[ 堆栈的方向可以用两种方式指定: E.v~<[g ^FSUK 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
jKV,i? AL/`Pqlk 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 y6KI.LWR9 V}732?Jy ;EP]A3 EZkg0FhkZ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 kq6K<e4jO ?' H);ou-p 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 DJ"O`qNV3 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ehEXC 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 A:3bL:
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[07N<< SJ1
1LF3) 高级选项和信息 _%Ay\4H^\ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 gx&BzODPd0 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 w5"C<5^ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 wC@5[e$ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 T*>n
a8W hvu>P {
nGA'\+zjL 8XwAKN:f 结构分解 -ecP@, 5,!,mor$] 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 | ]`gps 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 +~J?/ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 0 1[LPN 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 'j=7'aX>K ~~]/<d
yn<z!z%mz BDY@&vF 光栅级次通道选择 |i-Q fpn a#W:SgE?Y 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 O4FW/)gq 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ann!"s_ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ((rk)Q+;v vTYI
ez`g
p2|c8n== ?}%Gr,tj2 光栅的角度响应 FQ?,&s$Bmd 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 :qy`!QPUm 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 V#!ihL/> 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 B+|E|8" 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 RsU=fe, "/hM&
eSXt"t CtVY;eG 例:谐振波导光栅的角响应 _#9:cH* k%#`{#ni
_GK^ 7}u -i|qk`Y 谐振波导光栅的角响应 hNUAwTH6 N]: "3?%
OxX{[|!` 文件信息 u814ZN} G5Y5_r6Gu
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