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摘要 C[}UQod0 0k{\W 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 }W'4(V;: |g.CS$'#Nt
vJaWHC$q l -xc*lC 系统内光栅建模 eZ+6U`^t 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 "a=Hr4C*r 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ,0a_ou"P=_ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 v7SYWO# p0WUF\"
aopZ-^ v2 E <~/| 附着光栅堆栈 SAdE9L =d I`_I^C3 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 1C8xJ 6F 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 9OV@z6 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 |$b8(g$s) 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 _FYA? d} Z3weFbCH 6e rYjq ;aV3j/ 堆栈的方向 9xO@_pkX ",.f
堆栈的方向可以用两种方式指定: 8W{M}>;[9 O-X(8<~H= 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 !9WGZfK+0Y )\#*~73 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 h AAh 7H5VzV \1jThJn *{vH9TO 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ?UAuUFueA &F
uPd}F 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 +7}^Y}( 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 `z\hQ%1!F 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 o6px1C: hqvhnqQk
:31_WJ^ JI[8n$pr] 高级选项和信息 !i) !|9e 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 *,4rYb7I w 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 L@{'J 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 &liON1GLM 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 Tv DSs]) lc[6Mpi7s[
B=TUZ) ID2->J 结构分解 a]u.Uqyx2w B18BwY 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 SG)Fk *1 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 P}}G9^ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 1`K-f
m) 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 7]vmtlL QQS*r}>
-/pz3n fA6IW(_bi 光栅级次通道选择 %xlpOR4 j~k,d.17M 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ?Ts]zO%%Z 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 EwzR4,r\M 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 k9}8xpH R%WY!I8C
-xHR6 JB~^J5#[Oh 光栅的角度响应 x
vs=T 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 .D
4G;=Q 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 %^@l5h.lqB 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 Wlhh0uy 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ed,A'S=d B?z2@,
=7<JD}G >[;W~* 例:谐振波导光栅的角响应 KEOk%'c, 2T&MVl!%
GQtNk<?$I ~.W]x~X$ 谐振波导光栅的角响应 IE`3I#v =y][j+WH
3J#LxYK 文件信息 7%Y`j/ O`@Nl
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