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摘要 V$u:5"qu0 Gs04)KJm< 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 !I91kJt7 8Vt'X2
Y[>`#RhP ^ ~Tn[w W_ 系统内光栅建模 f&] !;) 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 ~ySsv 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 -G=.3
bux 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 TvRm 7 6D{70onY+
,&Zk63V cN\_1 附着光栅堆栈 2:yXeSeA [w+1<ou;j 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ;~`/rh
V\ 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Wm)Id_ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 2)
2:KX 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 PVmePgF
a,fcR< F2)KAIl 0B~x8f 堆栈的方向 AB<bW3qf( e?]HNy 堆栈的方向可以用两种方式指定: xz+;1JAL3 ?PV@WrU>B 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 BcQw-<veu p}X *HJq$ 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 L,,*8 ~!%G2E! 6_g6e2F
"tA.`* 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 fM*aZc*Y N7;kWQH 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 Q,ZV C 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 #Ny+6XM 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ("<4Ry.u swLNNA.
wx2 z 9Q a5w E{K 高级选项和信息 'RV wxd 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 %UV"@I+ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 r -uu`=, 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 VArMFP)cz 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 (8/ & {D[z>I;D
+)_DaL
E MOuEsm; 结构分解 4#ifm# )|Ka'\xr 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 .9<euPrz 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Y"m}=\4{ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 `vf]C' 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 GAh\6ul Enp;-wG:-
%F:; A oS_YQOoD 光栅级次通道选择 =>GGeEL nD=N MqQ & 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 /d$kz&aIV 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 $bZ5@)E 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Ve40H6Ox w3ZOCWJS
e&Z ?I2J OgCNqW
d- 光栅的角度响应 X%`:waR 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 QS-X_ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 @U =~c9 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 $vnx)#r3 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Z)}2bJwA g}*p(Tp9:
OA[fQH#{lX &NI\<C7_Gw 例:谐振波导光栅的角响应 zN\C q$}gQ9'z'
')(U<5y) Yv"B-oy 谐振波导光栅的角响应 f{{J_""?& `SS[[FT$>
!H6X%hlk 文件信息 _gl1Qtv@rf GB)< 5I
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