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摘要 COk;z.Kn 2[R{IV8e 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 DKxzk~sOM ^&6'FE
sM$gfFx _MC\\u/C/ 系统内光栅建模 r^|AiYI) 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 0755;26Bx 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 *Af:^>mh 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 1JXa/f+ *iVCHQ~
&E&e5(&$ {(,[ 附着光栅堆栈 ]5}C@W@_ R"`7aa6 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 pk0Cx 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 1hn4YcHb 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 /?wH1 , 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 UBy<
vwnU 1EvK\ *.]M1 3A(sT} 堆栈的方向 U*sQYt<?g u79,+H@ep 堆栈的方向可以用两种方式指定: 7jL3mI;n%; tuF
hPqe { 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 05cyWg9a |3A/Og 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 @GpM4>: ]%y3*N@AZ "/&_B I*Q^$YnM 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 "=S< xT+ X <<hb 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 l"#}g%E 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 LK1 r@ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 oS/cS)N20 o"a~
9$u'2TV Z`=[hu 高级选项和信息 cJnAwIs_e` 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 jeM/8~^4- 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 EGZF@#N 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 YGj3W.eH 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ktILKpHt" .%(Q*ioDh
VQQtxHTC3 Xo{|m[, 结构分解 < c}cgD4 vIi#M0@N 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 JToc("V 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 RvQl{aL 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 9,4Lb] 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 b`=\<u8 8d90B9
d3$&I==;: /NH9$u.g 光栅级次通道选择 MMZdF{5@G K9#=@}!3L 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 =X0"!y" 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 i9qn_/<c 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 \UdHN=A& CO`%eL~
X5| <qu SOq{`~,4B 光栅的角度响应 \m3;<A/3n 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 cZ@z]LY.g 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。
f:_\S 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 5w\>Whbd 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 H>x(c|ZBp bvf}r
,`Q7
XF`,mV4 SA| AS< 例:谐振波导光栅的角响应 S+mZ.aFS0z jb!R
%V>Ss9;/8 t4a/\{/#9| 谐振波导光栅的角响应 k}5Sz SD "'
j{i3lGaN 文件信息 .#M' MT8BP)C
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