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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-13
    摘要 6.tppAO+  
    s#sr1[9}G  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 (mHFyEG  
    B\bIMjXV  
    D@H'8C\  
    rS9*_-NH  
    系统内光栅建模 1p,G8v+B  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 R{.wAH(  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 }vO^%Gd  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 /B!"\0G/,  
    De|@}@  
    "z^Ysvw&~  
    VIbm%b$~  
    附着光栅堆栈 =1n>vUW+J  
    \`x'r$CV  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 'dj}- Rs  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 <2y~7h:  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 t]FFGnBZ  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 (FMGW (  
    xPqpNs-,  
    `(.ue8T  
    7w )#[^  
    堆栈的方向 zE.4e&m%Z?  
    7 pg8kq@  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: Uk ?V7?&  
    'ESy>wA{y<  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 wr*A%:  
    cJ:BEe  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 "DWw1{ 5/  
    : M0LAN  
    z[qM2  
    Cgw#c%  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ~"Ek X  
    m{Q{ qJ5>  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 @R}L 4  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 G`|mP:T:o  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 OAw/  
    e5fJN)+a  
    S%&l(=0X  
    \ox:/-[c\<  
    高级选项和信息 uK(+WA  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 3{CGYd]_u  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Jc9SHCJ  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 9FK:lFGD  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ?\hXJih  
    @u6#Tvxy[  
    #D//oL"u]  
    s'\"%~nF<  
    结构分解 )Y?H f2']  
    cx_"{`+e  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 *N'B(j/  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 "cJ5Fd:*  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 shn`>=0.&  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 L/nz95  
    lt0(Kf g  
    :Fj4YP"  
    8Yq6I>@!  
    光栅级次通道选择 8Qu].nKe  
    3L>V-RPiM  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 HEe0dqG  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ci3{k"  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 `5e#9@/e  
    d2X#_(+d  
    wZrdr4j  
    MiOSSl};  
    光栅的角度响应 :sT<<LtI-  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 =t)eT0  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 r="X\ [on  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 :X`J1E]Rjd  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 62vz 'b  
    k_}ICKzw1  
    4\s S  
     XyhO d$)  
    例:谐振波导光栅的角响应 4TR:bQZs  
    8a?V h^  
    H`@x5RjS   
    (Z`Y   
    谐振波导光栅的角响应 5&94VQ$d  
    yx/:<^"-$  
    l^0 <a<P  
    文件信息 E) z g,7Y  
    =~aJ]T}(  
    7CG_UB  
     
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