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摘要
GYonb)F JEfhr 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 wKJK!P v%QCp
iHWt;] :~p_(rE 系统内光栅建模 BbI),iP 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 nZ`=Up p) 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 .yb8<q s 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 -./Y /sVmQqVY
t5QGXj O>ZJOKe 附着光栅堆栈 U}{\qs-z t z=LO$,JW` 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 gIcPKj"8${ 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 d%Ku'Jy 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 l4OPzNc' 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 mW)"~sA ~5Rh7 bL5dCQxty &0mhO+g 堆栈的方向 vw` '9~ -Q!?=JNtQ 堆栈的方向可以用两种方式指定: ,7e 2M@=
l_x>.' a 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 #elaz8 5 s3M#ua#mX 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 :Czvwp{z b;I!CyD SHCVjI6 S*rc XG6Q^ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 #p=Wt&2 c:}K(yAdd 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 -A Nq!$E 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 /zV0kW>N 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 EtB56FU\ <JJi
8\Eq(o}7 OZh+x`' # 高级选项和信息 dGc>EZSdj 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 $w<~W1\: 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 JDC,] 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 c>Ljv('bj 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 SiJX5ydz _d<\@Tkw
1'* {VmM 2qkC{klC^M 结构分解 ,<-a 6 JGk,u6K7 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 U0S}O(Ptr 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 k<S!| 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Va'K~$d_ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 fmq^AnKd
@KYmkxW
<kor;exeJ 4^B:Q9B) 光栅级次通道选择 RbNRBK!{ r,dxW5v. 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 LvS3c9|Aj 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 v]27+/a$c 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 x]U (EX`t$ ]t3
NA*mM
]j:Ikb} gf2w@CVF>= 光栅的角度响应 *)d|:q3 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 z*>CP 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ^q$vyY
不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。
ss3fq} 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Z_Ma|V?6 OiY2l;68
D 2Go,1 &f qmO>M 例:谐振波导光栅的角响应 YKvFZH) Sb[rSczS~
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< 谐振波导光栅的角响应 ~K],hi^<P TJ5{Ee GV
z?"5="D 文件信息 aLXA9? cuk2\> Xl
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