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时间地点 ]9^sa-8
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） mHRiugb!
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） }~L.qG
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 s%W C/ZK
课程时长：2 天 ~A\GT$
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 ?{[
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课程讲师：讯技光电工程团队 |!4K!_y
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Fe4(4
课程简介： 5?x>9C a
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 M! o##* *`
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 Te[n,\Nb
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 #"G]ke1l $
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 Bx<
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像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 .:F%_dS D
观成像的一体化软件开发能力。 LU!a'H'Q
课程大纲： t7aefV&_,
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 koug[5T5
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 %iQD /iT5
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 A
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 = %TWX[w
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 RMdk:YvBg
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 v bZ}Z3f_
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 cQ
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用于光学表面测量的菲索干涉仪
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 u 7> ],<
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 V Y7[)
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） Jdj2~pTq
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 6a~|K-a6
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晶圆两侧光栅图案的成像 *RJG!t*t
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 x??+~$}\*-
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 ia!y!_L\'
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 'c9]& B
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 .WZ^5>M-
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显微镜系统的设计 oqO(PU
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 =O5pY9UO
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荧光显微镜的彩色效应分析 3u+T~g0^
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 2DrP"iGq5
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF g}k`o!q
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显微镜系统中来自光圈的衍射 vc;$-v$&
5. 光学系统的公差分析 /NI;P]s.
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 0d)M\lG
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 4DI8s4fi
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 +>6 iYUa
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
