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时间地点 :|&6x!
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电 INFOTEK) 3,!IV"_
苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) ^K8XY@{&
授课时间:2026 年 5 月 21 日(四)-5 月 22 日(五)AM 9:00-PM 16:00 ]m&Ss
课程时长:2 天 g rI#' x
授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 AU}|o0Ur
课程讲师:讯技光电工程团队 G&Yo2aADR
课程费用:4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) #;1RStb:zj
课程简介: [P6A$HC<
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台,解决光学检测与精密成像 a>6M{C@pd
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 ]f`UflMO8
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 uHZjpMoM
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真,以研究行射极限、三维成 "N EKz
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战,学员将掌握从宏观检测到微 /r&4< @
观成像的一体化软件开发能力。 X=Y(,ZR(&
课程大纲: ;Hp78!#,
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 &liFUP?
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 eH*i_g'
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 p Zxx
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 VY|UB7,C
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 A??a:8id^
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 ]|Ie E!6
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 /L]@k`.q@
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 g<w1d{Td
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 E3x<o<v
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 C(KV5c
3. 高端精密成像系统(半导体 / 工业检测方向) Un+- T
⚫ PKGqu,J,
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 _? $')P|
⚫ D-m%eP.
晶圆两侧光栅图案的成像 )wEXCXr!
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 O!F"w!5@
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 i!<(R$Lo
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 Fvnf;']q
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 ?f5||^7
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显微镜系统的设计 hig t(u
⚫ L<Z2
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 O`~L*h_
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荧光显微镜的彩色效应分析 _JKz5hSl
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 F=UW[zy/[
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF y7z ,I
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显微镜系统中来自光圈的衍射 E
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5. 光学系统的公差分析 TP`"x}ACa?
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 wA87|YK8*
⚫ /sSif0I24
镜头粗糙度对 PSF 的影响 V* ,u;*
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 ^<aj~0v
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784