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时间地点 3'6 UvAXFH
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） *re?V9
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） =$bF [3D
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 >Ho=L)u
课程时长：2 天 j>\rs|^O
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 }OnU32P
课程讲师：讯技光电工程团队 iNl<<0a
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 2+)h!y]
课程简介： IFr"IOr'l
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 !D{z. K O
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 Jia@Hr LR
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 " v
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镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 e~)4v
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 _8K8Ai-~.>
观成像的一体化软件开发能力。 N lm }'Xt
课程大纲： oF+yh!~mM
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 #
SCLU9-
⚫ dn])6Xl;i
光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 y_W?7 S
⚫ X#0 yOS R
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 7z, $
⚫ MW +DqT.h
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 * Uy>F[%@
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 Ufi#y<dP
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 bv ZD@F`2
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 ^fd* KM
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 lQ ki58.
⚫ _a"|
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 +RpCh!KP
⚫ mP15PZ
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 D1>*ml
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） fM]nP4 K`
⚫ AriV4 +
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 ]P7gEBi
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晶圆两侧光栅图案的成像 +U,t*U4,
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 h V`?,
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 k)F!gV#
⚫ O(0a l#Fvj
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 FO!0TyQ
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 6OC4?#96%'
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显微镜系统的设计 5M)B
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 qx >Z@o
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荧光显微镜的彩色效应分析 (qc <'$o
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 r
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⚫ FChW`b&S
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF V5h_uGOD
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显微镜系统中来自光圈的衍射 32J/
5. 光学系统的公差分析 *Y53 b Z
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 Eqn y'44
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 '5T:*Yh
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 ,T 3M
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