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时间地点 )R,*>-OPJL
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） _^Rf*G !
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） Gu9Ap<>!
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 r*y4Vx7
课程时长：2 天 ` [[
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授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 ig 3uY#
课程讲师：讯技光电工程团队 H2[ S]`?
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) o) sr E5
课程简介： vA"yy"B+ V
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 L7C!r S
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 BIS5u4
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 e CdMDSFO3
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 &U!@l)<
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 /id(atiF^
观成像的一体化软件开发能力。 *b ~$|H-\
课程大纲： x_AG=5OJX,
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 OV^)
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⚫ O~Pb u[C
光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 ,\xeNUZd
⚫ V;Te =4
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 HS>Z6|uLY
⚫ 9 Iy>oV
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 d%\en&:la
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 6xvy hg#B
⚫ yIO oVi\m
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 \k;*Ej~.
⚫
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 ="JLUq*]s
⚫ CZuV{Oh}?
用于光学表面测量的菲索干涉仪 +'x|VPY.PG
⚫ k[&+Iy
切尔尼-特纳光谱仪的仿真 d*4fl .
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 0_J<=T?\"s
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） [2WJ>2r}6
⚫ ;n?H/(6X8>
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 2*ZB[ 5_V
⚫ g k1I1)p
晶圆两侧光栅图案的成像 j:0(=H!#
⚫ eZ8~t/8
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 [f!sBJ!
⚫ G n>#Mvq
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 g/'CX}g`
⚫ NffZttN
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 VK5| w:
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 }YfM <
⚫ "d^h Y}Xx
显微镜系统的设计 f,wB .MN
⚫ 7`9J.L&,;
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 gf$5pp-
⚫ 07:CcT
荧光显微镜的彩色效应分析 G];5'd~C;d
⚫ *F42GiBZR
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 s G!SSRL@
⚫ _l<e>zj
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF IV] s!
⚫ ?ey!wcv~
显微镜系统中来自光圈的衍射 &-mPj82R
5. 光学系统的公差分析 {9S= :
⚫ IxNY%&* `
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 YII1 Z'q
⚫ T:p,!?kc7
镜头粗糙度对 PSF 的影响 2K 0HN
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 A%qlB[!:
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