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时间地点 t;XS;b %
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） w#d} TY
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） .9I_N G
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 Dtt\~m;AR
课程时长：2 天 dAwS<5!
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 n% U9iwJ.
课程讲师：讯技光电工程团队 ! pV<n
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) ;;6\q!7`
课程简介： {"\q(R0
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 Qasr:p+
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 @d
P~X
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 ,@,LD u
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 x/[8Wi,yB
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 e c`>KuY
观成像的一体化软件开发能力。 5#BF ,-Jv
课程大纲： .^GFy
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 u-1@ ~Z
⚫ 3v G
光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 =G[ H,;W
⚫ YN`UTi\s
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 6e&g$ R
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⚫ C,R,:zR
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 d g m+U%E
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 78^Y;2 P]W
⚫ /;b.-v&
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 )e#fj+>x)
⚫ ^U"
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 KdS
eCeddW
⚫ Mf#2.TR
用于光学表面测量的菲索干涉仪 r \9:<i8
⚫ 2kC^7ZAwu
切尔尼-特纳光谱仪的仿真 s"#CkG
⚫ ?#U0eb5u
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 *j/ uihY
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） JPHUmv6
⚫ !OV|I
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 THb A(SM
⚫ 1k 0^6gE|
晶圆两侧光栅图案的成像 y}Ck zD
⚫ kA1f[ AL
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 5wy;8a
⚫ Z<w,UvJa
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 W&WB@)ie
⚫ -%saeX Wo
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 'et(:}i
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 l85O-g}M
⚫ bbM4A! N
显微镜系统的设计 a "MTQFm'
⚫ Cb+P7[X-
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 cF-Jc}h
⚫ b;SFI^
荧光显微镜的彩色效应分析 X9p+a,
⚫ gCjH%=s
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 @+[Y0_
⚫ e OO!jrT:
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF pq%t@j(X
⚫ M|$H+e } :
显微镜系统中来自光圈的衍射 o:p{ ^D@#k
5. 光学系统的公差分析 Q1]V|S;)X
⚫ p{+tFQy
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 <m-Ni
⚫ Xcs8zT
镜头粗糙度对 PSF 的影响
gvvFU,2
⚫ Ky =(urAd
衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 |p'_k(z }
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