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时间地点 ~Bzzu % S
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） fW-C`x
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ote,`h
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 eTuqK23
课程时长：2 天 _VrY7Mz:r
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 0* $w(*
课程讲师：讯技光电工程团队 ":Dm/g
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) \fA{ sehdL
课程简介： C ^Y\?2h1
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 cSb;a\el$
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 L)sg W(@2
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 ot^p xun
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 ffrIi',@
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 XIW0Z C
观成像的一体化软件开发能力。 .hl_zc#
课程大纲： vi,hWz8WB
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 |YJ83nSO~
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 =kd$??F
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 P-@MLIC{
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 }s }g}t8v-
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 [?!I*=*b
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 A6&*V D
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 PMzPj,
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 lE:g A,
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 ;P@]7vkff
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 y~SVD@
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） t^rw@$"}
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 rpR${%jc
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晶圆两侧光栅图案的成像 &gXh:.
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 R@vcS=m7
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 ]R__$fl`8
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 rd%%NnT"
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 $<} c[Nm
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显微镜系统的设计 .fA*WQ!lb
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 zzqJeI S
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荧光显微镜的彩色效应分析 "LMj,qZ1!
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 Wa_qD
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF U.%Kt,qB
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显微镜系统中来自光圈的衍射 c'2d+*[
5. 光学系统的公差分析 {@Mr7*u
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 bx@l6bpQ
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 0#q=-M/?`
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 _7 3q,3`24
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
