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时间地点 matm>3n
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） `'3 De(
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） !TY0;is
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 :"Tkl$@,
课程时长：2 天 S
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授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 C"0
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课程讲师：讯技光电工程团队 f? GoBh<
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) XkoPN]0n
课程简介： 6- /W4L)?>
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 u8| CeA
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 {%^4%Eco
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 !v 9`oL26
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 n
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像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 Otq1CD9
观成像的一体化软件开发能力。 KD +&5 =Y
课程大纲： *3@8,~_tp
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 3="vOSJ6&
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 oTXIs4+G
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 `U\l: ~]e
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 ya^8mp-
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 %Ny1H/@Q1+
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 eX}aa 0
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 8 *{jxN'M
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 :7obxW1X
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 c>3? T^=
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 @]2aPs} }6
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） ycOnPTh
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 2$!,$J -<Y
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晶圆两侧光栅图案的成像 \.sC{@5K
⚫ Lpkx$QZ
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 `Eu,SvkF w
⚫ X !0 7QKs
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 gE=9K @
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 c VO- iPK
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 ^u"WWLZ
⚫ K4]Z VMm/*
显微镜系统的设计 }-XZ1q r
⚫ VQG$$McJ
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 $ # GuV'
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荧光显微镜的彩色效应分析 Yjd /
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 L, nb<
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF *f>\X[wN
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显微镜系统中来自光圈的衍射 Gx}`_[-
5. 光学系统的公差分析
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 T:2f*!r
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 J6 5:MaS
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 } snS~kx
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
