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时间地点 }i`PGx
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） n\5RAIg
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ("+}=*?OF3
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 Q7$.LEioN
课程时长：2 天 bKQ"a x>6p
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 Zh*u(rO
课程讲师：讯技光电工程团队 !{ )tSipd
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) %1O [i4s:-
课程简介： Eam
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 Jn3 An
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 A~ +S1
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 D]W$?( =4
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 WxJf{=-
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 7.@TK &
观成像的一体化软件开发能力。 O :"*q&;J
课程大纲： ,0~9dS
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 E3l> 3
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 ^;maotHn
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ~L_hZso4
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 4e;y G>
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 ]oV{t<0a
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 I,VH=Yn5,
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 vZ N!Zl7S
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 "+
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 =w5O&(
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 RUUk
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3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） |vMpXiMxxT
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 *" 9 8L+
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晶圆两侧光栅图案的成像 f\1A! Yp
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 #E+gXan
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 z%7SrUj2
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 7G S V
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 6^n0[7
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显微镜系统的设计 he -Ji
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 GF:`>u{C
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荧光显微镜的彩色效应分析 {d%& zvJnD
⚫ P;8>5;U4-
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 Bo+DJ izu
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF ,prF6*g+WE
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显微镜系统中来自光圈的衍射 <0.$'M~E
5. 光学系统的公差分析 5P h X"7
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 mNAY%Wn6k
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 Yy JPHw)Z
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 yag}fQ(XH
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