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时间地点 %{/0K<M
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） l) VMF44
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ]5td,2E
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授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 4E3HY Z
课程时长：2 天 p M[UC{
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 O\OG~`HBN
课程讲师：讯技光电工程团队 wlKpHd*
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) k`
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课程简介： l%B1JGu*F
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 m{Q{ qJ5>
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 Q+ G =f
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 OA w/
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 iCk3 4C7
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 1aYO:ZPy
观成像的一体化软件开发能力。 ;?inf`t
课程大纲： scL7PxJ5
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 3 ;.{
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⚫ Q;r 0#"
光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 XA9$n_| bw
⚫ D (qT$#
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 :CHCVoh@95
⚫ M~N'z /
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 .(9IAAwKn
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 ~>}B Ds M
⚫ >YoK?e6
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 0e vxRcrzz
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 N.eSf
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 (a 7IxW
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 o}WbW }&
⚫ "c\T
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 l`$f@'k
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） C
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⚫ X[;4 . imE
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 z8z U3?
⚫
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晶圆两侧光栅图案的成像 P!bm $h*3?
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 o ]Vx6
⚫ Y, E:?
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 [U3z*m>e;
⚫ RFA5vCG
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 *QLl
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4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 _\o +9X!
⚫ j1d#\
显微镜系统的设计 |C a$>]?
⚫ }3[ [ONA
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 v/yk T9@;
⚫ A ;kAAM
荧光显微镜的彩色效应分析 Za}91z"
⚫ Nt/*VYUn
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 Ti' GS L
⚫ 8KoPaq
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF & a:>P>\
⚫ IHagRldG
显微镜系统中来自光圈的衍射 u%*;gu"2
5. 光学系统的公差分析 2N)vEUyDV
⚫ R!$j_H
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 N pRC3^
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 MF E%q
⚫ xOu
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 C t SAo\F
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
