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时间地点 t#Z-mv:(
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） 1 9&<|qTz
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） vX{J' H]u
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 {E
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课程时长：2 天 u5O+1sZ"6
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 M=%l}FSTw(
课程讲师：讯技光电工程团队 hLI` If/+K
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) dq7x3v^"ZG
课程简介： KX !T8+Y
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 ;'?l$
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系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 K-e9>fmB#
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 Qt iDTr
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 3[\iQ*d }B
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 M9Cv
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观成像的一体化软件开发能力。 ZRv*!n(Ug<
课程大纲： u6 M.'
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 l,R/Gl
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 ^@ I
⚫ ~Fe${2
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 [DJ flCR&
⚫ <A<{, :5C
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 0]>u )%
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 oeKHqP wg
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 {s)+R[?m<o
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 I[=j&rK`
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 V_>\ 9m
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 K)-U1JE7
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 dI*pDDq#
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） j Yx38_5e
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 *Nw&_<\9Q
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晶圆两侧光栅图案的成像 wQv'8A_}
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 ~Cl ){8o
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 $9 ]m=S
⚫ ^:6{2 2C{
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 #?5 ( o
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 &/mA7Vf>eR
⚫ 09dK0H3(
显微镜系统的设计 '/` = R
⚫ UV5Ie!\nm
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 (H )2 s Y
⚫ ;E@G`=0St
荧光显微镜的彩色效应分析 e .]K L('
⚫ 0="%Y ^N
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 ,pqGX3
⚫ 7P" | J\
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF >GQEqXs
⚫ F\fWvXdW
显微镜系统中来自光圈的衍射 6726ac{xz
5. 光学系统的公差分析 qi;f^9M%
⚫ pV.Av
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 UH]l9 Aq$P
⚫ =Qh\D
镜头粗糙度对 PSF 的影响 AP [|Ta
⚫ M 9EfU
衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 N U|d
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
