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时间地点 <acAc2
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） BZsw(l4/0'
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） b/ ]C, P
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 +98~OInySZ
课程时长：2 天 8Md*9E#J("
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 sl%B-;@I
课程讲师：讯技光电工程团队 dW!T.S
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) l4u`R(!n5
课程简介： @8 @cpm
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 Q= ~e|
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 vK#xA+W
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 W ;Iv R
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 1h]Dc(Oc#=
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 ?
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观成像的一体化软件开发能力。 [ OMcSd|nf
课程大纲： sBF}j.b
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 V# w $|B\
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 *BBP"_$
⚫ y"!+Fus9
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 MsX`TOyO!
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 L ! yl ^c
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 j4H,*fc
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 ~ b8U#'KD
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 q(!191@C(
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 lh~!cOm\=E
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 5x4JDaG2
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 Aq QArSu,
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） 3 boINmX
⚫ z9&$Xao
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 tQz-tQ g
⚫ hXbb+j
晶圆两侧光栅图案的成像 `<y2l94tL
⚫ *'PG@S
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 mWUQF"q8
⚫ IR(JBB|xNQ
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 `IkWS7|
⚫ 1/6 G &RB
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 q%Obrk
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 gAgzM?A1(
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显微镜系统的设计 o}7`SYn
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 V8`t7[r
⚫ <.s[x~b\`
荧光显微镜的彩色效应分析 ^l7u^j
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 B Lw ssr.
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF { >bw :^F
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显微镜系统中来自光圈的衍射 dilRL,
5. 光学系统的公差分析 6i(nyA
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 j1Q G-Rs&
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 q *mNVBy
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 +0;6.PK
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
