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时间地点 i-#D c (9
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） VD $PoP
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 6mIeV0Q'
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 *=]U WM~]
课程时长：2 天 Bs|#7mA[
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 \F\xZ.r
课程讲师：讯技光电工程团队 ,&s"f4Mft
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) &|h9L' mr
课程简介： !s ! el;G
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 DjiI*HLNR
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 .Iz
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模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 |Bv,*7i&
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成
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像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 I) 9 ,
观成像的一体化软件开发能力。 O;&5>
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课程大纲： 5Vdy:l
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 #s#BYbF
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 ,1.Td=lY$
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 '*Tt$0#o
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 c>! ^\
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 <]_[o:nOP
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 ]3 Ibl^J
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 g&Uu~;jq]
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 $Y\7E/T
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 ~ ]9EhC'l
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 b/\l\\$-
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） epG =)gd=8
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 e~ 9g~k]s
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晶圆两侧光栅图案的成像 W&[-QM8
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 -6X+:r`>u
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 !/! Fc'A
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 bweA mSs
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 ytV[x
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显微镜系统的设计 !9.\A:G
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 [By|3 bI
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荧光显微镜的彩色效应分析 t1$pl6&,
⚫ IJ :J H=8
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 0,8RA_Ca}
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF \J;]g\&I"
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显微镜系统中来自光圈的衍射 G
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5. 光学系统的公差分析 s heCwhV
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 7& w[h4Lw
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 |0X~D}r|J
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 Um*&S.y
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
