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时间地点 s<|.vVi"
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） e//28=OH
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） I 6a{'c(P
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 Ec[=~>;n{l
课程时长：2 天 zF.rs NY
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 Miqu
课程讲师：讯技光电工程团队 M ZZ4
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) ?C//UN;
课程简介： Y.3]vno?X
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 BS>|M}G)r
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 JSt%L|}Y
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 }]N7CWy
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 u }D.yI8
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 zFqH)/
观成像的一体化软件开发能力。 `UMv#-Y8
课程大纲： GptJQ =pV
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 ` {CaJ6.
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 abuHu'73
⚫ Il%LI
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 Vc$x?=
⚫ Hu|NS {Ke-
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 cPi 3UjY~
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 :Sk0?WU
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 4Z"D F)+}
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 N? U ;G*G
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 /$'tO3
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 = \AI92
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 DGj:qd(
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） YvHP]N{SA'
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 9xyj,;P>
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晶圆两侧光栅图案的成像
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⚫ (Ybc~M)z
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 ,>V|%tD'
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 2aX|E4F
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 L
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4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 >K1)XP
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显微镜系统的设计 g2 JNa?z
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 |Nd!+zE$Z
⚫ *r@7 :a5
荧光显微镜的彩色效应分析 B^P)(Nu+
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 "6 |j
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⚫ E?z3 D*U
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF t* m04* }
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显微镜系统中来自光圈的衍射 LdwWB
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5. 光学系统的公差分析 pYa8iQ`6U;
⚫ q.U` mtS
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 Z,)4(#b =
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 So{/V%
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 %i {Z@
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