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时间地点 [> HKRVy
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） `O\>vn
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） VX)8 pV$
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 {5 dVK
课程时长：2 天 a{ 8a[z
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 `D+zX
课程讲师：讯技光电工程团队 I*rU e#$
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) b31$i 5{
课程简介： #T)Gkc"{
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 .<m]j;|6
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 Rpn<"LIoB:
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 k~[jk5te
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 bDl:,7;
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 "tyRnUP
观成像的一体化软件开发能力。 P+CV4; Xz
课程大纲： b**vUt\
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 MzvhE0ab
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 UQ0!t Fx
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 s< k[ <
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 MdBmq/[O
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 'w:ugb9]
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 jF 6_y w
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 w{tA{ {
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 NO5k1/-
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 ,6+j oKe-
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 2}^=NUM\NX
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） Bl\:YYd
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 7-S ?RU]g
⚫ +yL; ?+s>=
晶圆两侧光栅图案的成像 O*N:A[eW
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 g9C ; JmU
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 9B~&d (Bm
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 S. MRL,
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 t jM9 EP
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显微镜系统的设计 H&s`Xr
⚫ YKe&Ph.
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 uzp\V
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⚫ hWly8B[I
荧光显微镜的彩色效应分析 i9 aR#
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 HxbzFu?h
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF QGNKQ`~
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显微镜系统中来自光圈的衍射 0Y oKSo
5. 光学系统的公差分析 :>!-[hfQ
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 *k(Fb Z
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 1ZF KLI`V
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 /3)\^Pof
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
