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时间地点 _<?lP$Xr
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） v M5u]u!
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） >3HLm3 T
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 9p
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课程时长：2 天 '5V2{k$4U
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 Fs rGI
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课程讲师：讯技光电工程团队 tlo"tl_]
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Og8:
课程简介： Q_<CG[,6D1
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 l@-J&qG
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 =i jGB~
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 ]V!q"|
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 5;=,BWU
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 Y
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观成像的一体化软件开发能力。
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课程大纲： (;^Vdi J
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 2+pLDIIT
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 +R}(t{ b#
⚫ B|#*I[4`w@
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 cE S3<`[K
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 #8.%YG
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 ZRY s7 4<
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 RFyeA.
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 a}l^+
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 E7E>w#T5
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 ;kO
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 M%H<F3
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） J [fjl 6p
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 Yv!%Is
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晶圆两侧光栅图案的成像 >U @7xeK
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 h@$M.h@mcG
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 (7w`BR9B
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 <TmMUA)`}
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 T1ZAw'6(K
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显微镜系统的设计 d[ql7
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 _ 1[5~Pnh
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荧光显微镜的彩色效应分析 xMI4*4y(
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 GD?4/HkF
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF )F; ` 0 7
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显微镜系统中来自光圈的衍射 'r6s5 WC
5. 光学系统的公差分析 } =Yvs)
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 HgJ:R f]
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 uNe5Mv|}
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 ML?%s`
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