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时间地点 v |XEC[F
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） MOFIR
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苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 10JxfDceD
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 (l.`g@(L
课程时长：2 天 or u.a
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 H5Rn.n( |
课程讲师：讯技光电工程团队 X }yEMe {T
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 7K`A2
课程简介： xOjCF&W
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 D'>yu"
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 1e;^Mz B"
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 TZ q']Z)#
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 ^z$-NSlI
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 5 M ~\'\;
观成像的一体化软件开发能力。 $H/3t? 6h`
课程大纲： Rp)82-
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1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 _?3bBBy
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 Got 5(^'c
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ;b$(T5
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 .h^."+TJ
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 Z8Fbx+~"
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 er}/~@JJ
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 ~?dPF;. 6_
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 p~28?lYv
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 k@AOE0m
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 PK u+$
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） r9G<HKl
⚫ R{3f5**0
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 `7Ni bZX0
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晶圆两侧光栅图案的成像 V2%FWo|
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 j ij:}.d6
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 5 %q26 &
⚫ } }Eko7'^
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 y1/$ dn
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 6d,jR [JP
⚫ V$- IRdb
显微镜系统的设计 &`<j!xlG
⚫ .8l\;/o|
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 G6Z2[Ej1
⚫ ?K{CjwE.M
荧光显微镜的彩色效应分析 Z* nC
;5Kd
⚫ [X=-x=S,
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 vKDRjrF-
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF on+
c*#
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显微镜系统中来自光圈的衍射 ;&P%A<[`
5. 光学系统的公差分析 /_?Ly$>'
⚫ nvxftbfE^D
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 wCvtw[6
⚫ +BM (0M+
镜头粗糙度对 PSF 的影响 $)mE"4FE
⚫ mTW0_!.
衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 BM1uZJ0
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
