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时间地点 J"$Y `;
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） q-3e^-S*
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） !eC]=PoY
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 z'!sc"]W6
课程时长：2 天 OgOs9=cE{
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 oIJ.Tv@N(
课程讲师：讯技光电工程团队 ~ Pm[ Ud
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Z8vR/
课程简介： `{B<|W$=
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 a3Fe42G2c|
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 \Wn0,%x2
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 6p}dl>T_y
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 r Ihe} 1
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 !8Mi+ZV
观成像的一体化软件开发能力。 Rn d.<jz+Y
课程大纲： c+bOp
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1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 (nUS gZz5
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 1 M<;}hJ{/
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 :W6R]y
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 =9 ;2(<A
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 q Q/<\6Sl
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 "Ei' FM
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 @krh <T6|
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 ndE" v"_H
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 gc"A Tc
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 J^xIfV~ zt
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） #sJL"GB
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 *_,: &Ur
⚫ P6 ~& ,a
晶圆两侧光栅图案的成像 ~ ~U,
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 3$#=* Zp
⚫ FC&841F
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 .{t]Mc
⚫ ~z$+ uK
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 _2 Hehw
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 Y3M"a8 e'
⚫ 3zsjL=ta
显微镜系统的设计 @Z[XV"w|
⚫ #P/}'rdt
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 $:!L38[7$
⚫ mO0a: i!
荧光显微镜的彩色效应分析 G$7!/O%#_
⚫ Z-;I,\Y%
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 ;]I~AGH:
⚫ *;!p#qL
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF m1{OaHxKh
⚫ @S#Ls="G
显微镜系统中来自光圈的衍射 9zac[t no
5. 光学系统的公差分析 'M=c-{f~
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 ,Z aPY
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 y h{Wuz=T
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 Y. 1dk
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
