x({C(Q'O
时间地点 QlE d6^&
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） ,
ZFE(
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 42+#<U7T
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 Y;
) .+si
课程时长：2 天 Kq)MTlP0g
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 wtH~-xSB|
课程讲师：讯技光电工程团队 lAi2,bz"
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) m3.sVI0I
课程简介： p2 %
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 BRv x[u
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 )rm4cW_
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 ,[!LCXp
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 EW j gI_-
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 09 h.1/
观成像的一体化软件开发能力。 (gX N%rsY
课程大纲： #FH[hRo=6
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 Um.qRZ?
⚫ ,wAz^cK|
光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 ",Cr,;]
⚫ n<7q`tM#
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 W+ =o&V
⚫ A1i!F?X
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置
V
9;[M;
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 (k?7:h
⚫ $8~e}8dt|
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 `[fx yg:u
⚫
fV\]L4%
OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 s!B/WsK
⚫ B.dT)@Lx0
用于光学表面测量的菲索干涉仪 :iF%cy.
⚫ >3.X?
切尔尼-特纳光谱仪的仿真 g(E"4M@t!
⚫ `3_lI~=eH
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 [1yq{n=
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） %; "@Ah
⚫ s Be7"^
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 En VuD
9
⚫ <wd]D@l7r
晶圆两侧光栅图案的成像 ci9R.U)
⚫ 2 ?q (cpsN
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 6<76H
⚫ w3T ]H _V
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 Zyf P; &
⚫ S.*~C0"
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 /e@H^Cgo
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 ]/X(V|t
⚫ A!i q ->+
显微镜系统的设计 1GCzyBSbb
⚫ /0MDISQy9
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 2}U!:bn(
⚫ 0%`4px4J
荧光显微镜的彩色效应分析 Di.3113t
⚫ %/%UX{8R
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 C~%
1w%nn
⚫ nw: -J1kWR
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF ),}AI/j;zY
⚫ ]e?x# <S
显微镜系统中来自光圈的衍射 $.%rAa_H
5. 光学系统的公差分析 !^c@shLN4
⚫ !~i '
-4]
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 _i0kc,*C\
⚫ bC !`@/
镜头粗糙度对 PSF 的影响 Ta=s:trP
⚫ a?h*eAAc.
衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 ,MPB/j^o5!
(.Y/
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
