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时间地点 fR%1FXpK&
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） m<"fRT!Y
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 3 ;S`<
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 ]~S+nl yd<
课程时长：2 天 `{lAhZ5
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 Z WRRh^
课程讲师：讯技光电工程团队 .`>l.gmi&
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) L"!ZY
课程简介： zZ"U9!T
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 Df:7P>
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 ]Bd3d%
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 _pko]F|()
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 O& %"F8B
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 N46$EsO!h
观成像的一体化软件开发能力。 :@%-f:iDj
课程大纲： K}E7|gdG
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 795Jwv
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 u@_!mjXQ
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ;s\;78`0
⚫ TF0-? vBWh
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 Ryba[Fz4Di
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 ;[KriW
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X%v Rf0
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 jXY ;V3l
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 "4ozlWx
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 FL#g9U >
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 me:|!lI7YU
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 _m7U-;G
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） of'ZNQ/
⚫ e@:P2(WW l
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 :\+{;;a@
⚫ ~i }+P71
晶圆两侧光栅图案的成像 MzR1<W{ O
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 L e` /
⚫ FS`vK`'
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 r!.+Xr Yg
⚫ h-La'}>?
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 fEj9R@u+h
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 50`iCD
⚫ O J35En
显微镜系统的设计 sArje(5Eo
⚫ C '-zh\a
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 &8]#RQy{f
⚫ 9'n))%CZ.
荧光显微镜的彩色效应分析 )pjjW"C+
⚫ ,yk PQz O
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 'n^2|"$sH
⚫ &N"'7bK6n
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF lk[G;=K:.
⚫ !_U37Uj<m
显微镜系统中来自光圈的衍射 % QPWw~}:
5. 光学系统的公差分析 -7I1Lh#M
⚫ Jtp>m?1Ve
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 y8w0eq94
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 egI{!bZg'\
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 C# Hcv*D
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
