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时间地点 /= T:W*C
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） %@ :6&
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） a;v4R[lQ
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 w IP4 Z^
课程时长：2 天 h?H|)a<^9
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 do*a E
课程讲师：讯技光电工程团队 K&,";9 c
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) |?]doBm|
课程简介： e0#t
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 K9 ]zUe&#w
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 jSSEfy>^
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 E *IP#:R
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 EqGpo_
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 J7qTE8 W=
观成像的一体化软件开发能力。 \ @[Q3.VX
课程大纲： <s7cCpUF P
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 I~6 o<HO
⚫ 6B*#D.fd*
光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 C,A/29R,s
⚫ B,&QI&k`~
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 a4gX@&it_k
⚫ ?20R\
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 ?;H}5>^8P
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 " Zx<hL*
⚫ L`e19I$
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 [ [w |
⚫ Nu OxEyC
OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪
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⚫ Iib YG F
用于光学表面测量的菲索干涉仪 mU~&oU
⚫ ?3 k_YN"
切尔尼-特纳光谱仪的仿真 GKjtX?~1
⚫ QQ_7Q^
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 =*I|z+
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） 4P"bOt5izR
⚫ 15 q^&l[Q
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 jd,i=P%
⚫ ZHa>8x;Mjl
晶圆两侧光栅图案的成像 6}?d % K
⚫ 01n132k
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 F >3 o0ke}
⚫ #r]Z 2Y]
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 ?Pp*BB,*y
⚫ D/~1?p
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 zA8@'`Id
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 *coUHbP9>
⚫ Kv o&_:
显微镜系统的设计 UAT\ .
⚫ Je6wio- 4
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 oC*a;o
⚫ V=dOeuYd
荧光显微镜的彩色效应分析 Q$:Q6 /5.
⚫ > *VvV /UU
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 CoNaGb
⚫ -egnMc67
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF 1}c'UEr%)
⚫ U1 X"UN)
显微镜系统中来自光圈的衍射 Kx&" 9g$
5. 光学系统的公差分析 DKu$u ]Z
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 [A/2
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 oKCy,Ot<
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 "n` z`{<n
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
