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时间地点 1RLSeT
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） p O.8>C%
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） XT\;2etVL
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 -M:.D3,L
课程时长：2 天 7u; B[qH
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 5 m:nh<)#
课程讲师：讯技光电工程团队 d)@M MF
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Z|.z~53;
课程简介： 6%>0g^`)9Y
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 BFY~::<b
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 md wY48b
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 'W)x<Iey1
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 YV9%^Za N7
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 a^N/N5-Z
观成像的一体化软件开发能力。 G:UdU{
课程大纲： @<P [z[
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 ie)Qsw@
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 MFVFr "
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 $O[ut.
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 5<61NnZ
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 7}xKiHh:
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 L^22,B
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 ;^;5"n h
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 l{ k
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 3.>jagu
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） r`5;G4UI
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 o)NWsUXf
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晶圆两侧光栅图案的成像 ]M_)f
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 MtS$ovg?
⚫ ] O 2_&cs
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 8F%T Z M
⚫ E3`KO'v%
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 B]jh$@
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 ;$nK
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⚫ P0 W%30Dh
显微镜系统的设计 9"/{gf3 D
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究
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⚫ `toSU>:
荧光显微镜的彩色效应分析 ;e-iiC]PI
⚫ 1wwhTek
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 -i 9 /1.Z
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF ;DGp7f #9
⚫ KExfa4W 3{
显微镜系统中来自光圈的衍射 5e/%Tue.
5. 光学系统的公差分析 lk8VJ~2d
⚫ 7%JXVP}A
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 v%_s Cg
⚫ `OduBUI] ]
镜头粗糙度对 PSF 的影响 i`E]gJ$
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 2PRGwK/
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