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时间地点 =6t )-53
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） tw8@&8"
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） tr2@{xb
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 D"F5-s7
课程时长：2 天 U S+PI`
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 \oPW
课程讲师：讯技光电工程团队 i=%wZHc;
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) dL<okw
课程简介： 9hI4',(rE
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 :N#gNtC)b
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 `LL #Ai a
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 ^3QHB1I
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 c"%XE#D
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 w%cd $"EH
观成像的一体化软件开发能力。 x~ xaE*r
课程大纲：
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1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 MpM-xz~
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 +nRO<
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 /Cr0jWu
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VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 F#@Mf?#2
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 #rzq9}9tB
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 .eW}@1+[;
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 8ON$M=Ze$
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 wo84V!"A
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 aYe,5dK>
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 N(Us 9
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） l%lkDh!$"
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 =35^k-V S
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晶圆两侧光栅图案的成像 nJ.p PzH2g
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 \uQB%yMoz
⚫ 13s!gwE)
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 {AqN@ i
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 -]\%a=]
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 WA~|:S+
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显微镜系统的设计 0U ?1Yh7
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 Yul-.X
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荧光显微镜的彩色效应分析 aDR<5_Y b
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 S1wt>}w0$
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF 3Z NYR'
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显微镜系统中来自光圈的衍射 cC1nC76[
5. 光学系统的公差分析 }8GCO Y
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 "lx}.
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 ,d<wEB?\`
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 /"tVOv#
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
