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时间地点 5-vo0:hk
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK）
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苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） {x@|VuL=
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 |"Z{I3Umg
课程时长：2 天 c$h9/H=~
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 X. V[0$.;
课程讲师：讯技光电工程团队 cUk*C
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) 5kMWW*Xtf
课程简介： ,D=fFp n
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 1[PMDS_X
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 6Q Zp@
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 go'j/4Tp
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 =RKSag&
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 uY#TEjGh]
观成像的一体化软件开发能力。 [ hh/1[
课程大纲： Q8nId<\(
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 `dW]4>`O
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 55 DE\<r
⚫ 'Jj=RAV`
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 h~} .G{"
⚫ "484 n/D
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 N4!<Xj
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 QP(BZJ C
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 k%81f'H
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 p,W_'?,9
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 ^J/)6/TMXm
⚫ 27Emm
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 1vevEa$
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 E6MA?Ax&=
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） N{Qxq>6 G
⚫ U5r}6D !)
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 K_&MoyJJ9f
⚫ 9Kv|>#z ff
晶圆两侧光栅图案的成像 < V&5P3)d9
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 iCQ>@P]nE
⚫ A%bCMP
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 C NrII sJ
⚫ !{%: qQiA
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 aaW]J mRb
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 E/b"RUv}h
⚫ ku&k'V
显微镜系统的设计 j? i#L}.I
⚫ f'Mop= .
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 ,FSrn~-j9
⚫ gFN 9jM
荧光显微镜的彩色效应分析 &#{dWOb h
⚫ 8p^B hd
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 V!/:53
⚫ & , a3@i
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF 7(a2L&k^
⚫ Dl\`
显微镜系统中来自光圈的衍射 V9%aBkf8w
5. 光学系统的公差分析 Kq6jw/T
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 qSU| =
⚫ PL=^}{r
镜头粗糙度对 PSF 的影响 6<'K~ 1do:
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 @mQ:7-,~
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
