[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 Hxe!68{aR  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） {akSK  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） +zM
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课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） xx[XwN;  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 ~wtl\-cY  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 Se*o{V3s$  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) 701ei;  
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课程简介： R0|dKKzS  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 ?Ybgzb  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 GZ xG!r-  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 B
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课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 4#jW}4C{  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 :Y/>] tS4  
础即可参与学习。 PX7@3Y  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 5cY([4,  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， X6hm,0[  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 )bCw~'h*  
课程大纲： @K{1O|V  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 {p -q&k&R|  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 -qv*%O@  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 Vqr#%.N  
2. 衍射光学元件设计与优化 glk-: #  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 =gSa?pd  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 `v;9!ReZV  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 S.G"*'N  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 s#phs`v  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 >J4Tk1//b  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 OQl7#`G!H%  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 \53(D7+  
3. 周期性微纳结构的优化设计 Tvdg:[V<  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 `XT8}9z!  
➢ 微透镜阵列仿真 OFcLh  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 _[J @w.l(  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 q6R``  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 ,0j7qn@tm  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 _c[Bjip  
4. 超表面微纳结构 g"c|%3  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 gzV&S5A{_  
➢ 超光栅的构建 #Tm^$\*h\]  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 =t@8Y`9w  
➢ 设计和分析超透镜 F@4TD]E0^  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 {Y0Uln5u  
5. 微纳加工工艺方案 BC*)@=
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➢ 微纳加工完整流程概述 uP;qs8  
➢ 灰度曝光/直写技术 ^?-SMcUHB  
➢ 刻蚀类工艺 hrT!S  
➢ 其他辅助工艺 ~f:y^`+Q[  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 K'/,VALp  
6. 微纳结构的表征 #RfNk;kaA  
➢ 微纳结构面型检测 o p{DPUO0  
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第一天 g3fxf(iY(  
第二天 ,Z_aZD4  
上午 P|0dZHpT  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 ->H4!FS  
2. 衍射光学元件设计与优化 `1O<UJX  
3. 周期性微纳结构的优化设计 U"SH fI:  
4.超表面微纳结构 roiUVisq*  
下午 ]x;*Z&  
2. 衍射光学元件设计与优化 J #ukH`|-  
3. 周期性微纳结构的优化设计 1$+-?:i C  
5. 微纳加工工艺方案 [.ya&E)x  
6. 微纳结构的表征 |{STk
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784