[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 h;6@-\6  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） {BF\G%v;+  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） \ gN) GR  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） -:QyWw/d  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 1Sy#*  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 vR,'':  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) *=8)]_=f  
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课程简介： 9fiZ5\  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 ! 9e>J  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 tv0xfAV  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 v7-'H/d.  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 BC+HP9<]  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 ">o/\sXeH  
础即可参与学习。 R8E<;^?j  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 v#6.VUAw  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， =P!Vi6[gF~  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 YANEdH`d  
课程大纲： cA*%K[9  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 p4[W@JV  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 R8KL4g-d  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 !\m.&lk'^  
2. 衍射光学元件设计与优化 ru&RL HFV  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 1li`+~L F  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 9T]]TEv4  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 TcC=_je460  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 GH
kSU;})  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 rk~/^(!  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 Xk3Ufz]QN  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 KQqlM  
3. 周期性微纳结构的优化设计 ;(sb^O  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 ]8^2(^3ct  
➢ 微透镜阵列仿真 y
U\|dL  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 AIeYy-f  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 0K!9MDT}*  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 %nIjRmqM~  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 n5b
N/  
4. 超表面微纳结构 9.R_=  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 Mf *qr9*  
➢ 超光栅的构建 BK +JHT  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 X>CYKRtb  
➢ 设计和分析超透镜 c*h5lM'n6  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 V$@2:@8mo  
5. 微纳加工工艺方案 _+{s^n=  
➢ 微纳加工完整流程概述 o]nQo?!  
➢ 灰度曝光/直写技术 PyoLk  
➢ 刻蚀类工艺 +X< Z 43  
➢ 其他辅助工艺 *cd9[ ~  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 aV ^2  
6. 微纳结构的表征 Ii9vA ^53  
➢ 微纳结构面型检测 ,"/_G  
(T^aZuuS  
第一天 V;z?m)ur  
第二天 Ze~\=X" "  
上午 njIvVs`q  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 ugCc&~`  
2. 衍射光学元件设计与优化 $&4Zw6"=  
3. 周期性微纳结构的优化设计 Y,a.9AWw)  
4.超表面微纳结构 >!$4nxq2>  
下午 >ko;CQR  
2. 衍射光学元件设计与优化 eY-$hnUe  
3. 周期性微纳结构的优化设计 8'YL!moG|  
5. 微纳加工工艺方案 4M:oa#gh@  
6. 微纳结构的表征 < ;g0?M\  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784