时间地点 ;%Zn)etu
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） 5OX5\ #Ux
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） / Hexv#3
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） 67d p)X
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 3o^ oq
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 3EX4 1)u
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) 0& ?/TSC
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课程简介： QfsTUAfR
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 D(Yq<%Q
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 =#{i;CC%
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 df!n.&\y!
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 SK
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无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 IF.6sJg:
础即可参与学习。 ceGo:Aa<)
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 /,2${$c!
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， f m'Qif q^
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 %-~T;_.
课程大纲： }_o!f V
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 c G I^IPI
➢ 光之数字模型平台原理介绍 oS_<;Fj
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ZYD3[" ~x
2. 衍射光学元件设计与优化 @@Vf"o+S
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 4) ~ GHb
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 [l X3":)
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 m' suAj0
➢ 衍射光学元件分束设计优化 R?$ Nl
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 Kly`V]XE
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 x'wT%/hp
➢ 衍射光学元件加工文件导出 fF} NPl
3. 周期性微纳结构的优化设计 bol #[_~
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 tL~?)2uEN
➢ 微透镜阵列仿真 v d' d@T
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 e6WKZ~
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➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 J|2OmbJ e
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 #v`J]I)$
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 A1(=7ZKz
4. 超表面微纳结构 |lhVk\X
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 e(m#elX
➢ 超光栅的构建 h_:|H8t;w
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 0 Se DBs
➢ 设计和分析超透镜 \; Ywr3
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 _P*<T6\J>
5. 微纳加工工艺方案 )Vb_0 n=^
➢ 微纳加工完整流程概述 '@<aS?@!t
➢ 灰度曝光/直写技术 D#n^U
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➢ 刻蚀类工艺 S<V_ _ Sv
➢ 其他辅助工艺 @dj 2#
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 NuqWezJm&
6. 微纳结构的表征 gr")J w7
➢ 微纳结构面型检测 H#B~ h4#
1 k}U+
第一天 Z:PsQ~M
第二天 r{g J[%
上午 |Skk1 #
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 =@d IM
2. 衍射光学元件设计与优化 ;h"?h*}m!\
3. 周期性微纳结构的优化设计 $MEK t}S
4.超表面微纳结构 L27i_4 E,
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2. 衍射光学元件设计与优化 nsJN) Pt
3. 周期性微纳结构的优化设计 :+SpZ >
5. 微纳加工工艺方案 >}*i Qq
6. 微纳结构的表征 {{?[b^
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
