时间地点 4f~ c# 0?
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） Hreu 3N
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） *ay&&S*
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） 0SS,fs <w3
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 9d kuvk}:
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 }Br=eaY
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) ]cQYSN7!SY
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课程简介： _L8|Z V./
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 k65V5lb
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 Z01BzIsR
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 '0b!lVe
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 g}@W9'!
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 4C:-1gu7
础即可参与学习。 |NMf ' $
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 }^Ymg7wA
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， mM#[XKOC<
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 W0-KFo.'
课程大纲： E^s<5BC;
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 &[yW}uV<7
➢ 光之数字模型平台原理介绍 ,]Gi942
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 9Gh:s6
2. 衍射光学元件设计与优化 J^w!? nk
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 DjLSl, Z
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 )70i/%}7
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 LC >bZ!(i#
➢ 衍射光学元件分束设计优化 %>io$ o
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 !&(^R<-id
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 @"h @4q/W
➢ 衍射光学元件加工文件导出 I@/s&$ H`l
3. 周期性微纳结构的优化设计 gI T3A*x
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 `/"*_AKAI
➢ 微透镜阵列仿真 /`kM0=MM a
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 KT3n -Y-,
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 kO3N.t@n
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 0 k (s u
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 7jS`4,
4. 超表面微纳结构 Z>l%:;H
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 D[H #W[
➢ 超光栅的构建 'g5 Gdn
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 wH0m^?a!3
➢ 设计和分析超透镜 zk++#rB
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 < C1Jim
5. 微纳加工工艺方案 e)M)q!nG
➢ 微纳加工完整流程概述 R3bHX%T
➢ 灰度曝光/直写技术 X~2L
➢ 刻蚀类工艺 ;h ~v,h
➢ 其他辅助工艺 c0U=Hj@@
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 rYI7V?
6. 微纳结构的表征 x{_3/4
➢ 微纳结构面型检测 EEJ OJ<
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第一天 |& Pa`=sp
第二天 z)_h"y?H{%
上午 }7HR<%< 7
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 AZH= r S`
2. 衍射光学元件设计与优化 DG-XX.:z
3. 周期性微纳结构的优化设计 dX;Q\
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4.超表面微纳结构 *Dhy a g
下午 & ;2@*#,
2. 衍射光学元件设计与优化 X/qLg+X
3. 周期性微纳结构的优化设计 ^q}cy1"j"
5. 微纳加工工艺方案 ($T"m-e
6. 微纳结构的表征 $6DA<v^=z
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
