时间地点 h;6@-\6
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电 INFOTEK) {BF\G%v;+
苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) \ gN) GR
课程时间:2026/5/19(二)-5/20(三) -:QyWw/d
课程地点:上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室
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课程讲师:讯技光电工程团队及资深顾问 vR,'':
课程费用:4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) *=8)]_=f
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课程简介: 9fiZ5\
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分,应用广泛,其设计精度与加工质量直接 ! 9e>J
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion,结合多种仿真算法,开展 tv0xfAV
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 v7-'H/d.
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型,包括蛾眼减反射表面、偏振 BC+HP9<]
无关光栅、超构透镜等,涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节,无需深厚软件基 ">o/\sXeH
础即可参与学习。 R8E<;^?j
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法,为微结构加工提供可靠的仿 v#6.VUAw
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容, =P!Vi6[gF~
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 YANEdH`d
课程大纲: cA*%K[9
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 p4[W@JV
➢ 光之数字模型平台原理介绍 R8KL4g-d
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 !\m.&lk'^
2. 衍射光学元件设计与优化 ru&RL
HFV
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 1li`+~L
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➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 9T]]T Ev4
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 TcC=_je460
➢ 衍射光学元件分束设计优化 GHkSU;})
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 rk~/^(!
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 Xk3Ufz]QN
➢ 衍射光学元件加工文件导出 KQqlM
3. 周期性微纳结构的优化设计 ;(sb^O
➢ 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)仿真 ]8^2(^3ct
➢ 微透镜阵列仿真 yU\|dL
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 AIeYy-f
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 0K!9MDT}*
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 %nIjRmqM~
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 n5b
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4. 超表面微纳结构 9.R_=
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 Mf
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➢ 超光栅的构建 BK +JHT
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 X>CYKRtb
➢ 设计和分析超透镜 c*h5lM'n6
➢ 基于超构透镜(PCA)实现聚焦与成像 V$@2:@8mo
5. 微纳加工工艺方案 _+{s^n=
➢ 微纳加工完整流程概述 o]nQo?!
➢ 灰度曝光/直写技术 PyoLk
➢ 刻蚀类工艺 +X< Z
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➢ 其他辅助工艺 *cd9[ ~
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 aV ^2
6. 微纳结构的表征 Ii9vA ^53
➢ 微纳结构面型检测 ,"/_G
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第一天 V;z?m)ur
第二天 Ze~\=X" "
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 ugCc&~`
2. 衍射光学元件设计与优化 $&4Z w6"=
3. 周期性微纳结构的优化设计 Y,a.9AWw)
4.超表面微纳结构 >!$4nxq2>
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2. 衍射光学元件设计与优化 eY-$hnUe
3. 周期性微纳结构的优化设计 8'YL!moG|
5. 微纳加工工艺方案 4M:oa#gh@
6. 微纳结构的表征 <
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784