时间地点 *S _e:^
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） a%*l]S0z"
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） W- wy<<~f
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） H
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课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 QX (x6y>Q
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 EubR] ckB
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) xGbr>OqkTX
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课程简介： ||v=in
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 gr %8
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影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 L'{ ;V\d
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 4GJ1P2
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 <4jQbY;
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 mh TpR0
础即可参与学习。 C("P CD
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 Wz$%o'OnC
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， d7N;F a3yL
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 k5G(7Ug=g~
课程大纲： <B6@q4Q
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 N/)mw/?i
➢ 光之数字模型平台原理介绍 ;SQ<^"eK
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 C%d 4ItB >
2. 衍射光学元件设计与优化 ~45u
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➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 :1u>T3L.z
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 /=Ug}% .
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 i}
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➢ 衍射光学元件分束设计优化 ,2S
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➢ 生成图案的衍射扩散器设计 -Hzn7L
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 FzmCS@yA
➢ 衍射光学元件加工文件导出 3ojK2F( 1D
3. 周期性微纳结构的优化设计 qG"|,bA
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 Sp)KtMV
➢ 微透镜阵列仿真 -Nmf}`_
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 w?ssV
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 aKs!*uo0H
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 )6)|PzMQ'
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 oTtmn,
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4. 超表面微纳结构 S-Va_ t$
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 @_YEK3l]l
➢ 超光栅的构建 IWu ^a w
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 G B!3`
A%&
➢ 设计和分析超透镜 Y~1}B_
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 Wq)'0U;{$
5. 微纳加工工艺方案 , >Y. !
➢ 微纳加工完整流程概述 (PGmA>BT
➢ 灰度曝光/直写技术 `.;7O27A^%
➢ 刻蚀类工艺 uuj"Er3 1
➢ 其他辅助工艺 V2es.I
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 OxEl vbM#
6. 微纳结构的表征 iM2
EEC
➢ 微纳结构面型检测 567ot|cc
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第一天 |PH]0.m5
第二天 ^a; V-US
上午 Te'^O,C)y$
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 yG& kP:k<
2. 衍射光学元件设计与优化 { #QFDA
3. 周期性微纳结构的优化设计 `Q26Dk
4.超表面微纳结构 f<SSg* A;
下午 {N5 g52MN
2. 衍射光学元件设计与优化 *B}vYX
3. 周期性微纳结构的优化设计 JmNeqpbB`w
5. 微纳加工工艺方案 $Fz/&;KX!
6. 微纳结构的表征 +^YV>;
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
