[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 RSCQ`.  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） F:8@ ]tA&  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 0 gR_1~3  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） HQMug  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 o $'K}U  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 nX8ulGGs  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) wV\G$|Y  
Gh352  
课程简介： FcyFE~>2  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 ;7*T6~tv  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 t :~,7  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 oA3;P]~[  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 2Sk"S/4}Z  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 rU|?3x  
础即可参与学习。 5F#FC89Kk  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 9+ |W;  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， NDJP`FI  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 ^ 4*#QtO  
课程大纲： |XV`A)=f  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 t<"%m)J  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 RwhKW?r+  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 {7%(m|(  
2. 衍射光学元件设计与优化 taMcm}*T1  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 /T+%q#4  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 }zqo<o  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 "Y@q?ey[1  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 00@F?|-j  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 |(CgX6 l3  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 V Ds0+RC  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 .o]9 HbIk5  
3. 周期性微纳结构的优化设计 Y*IKPnPot2  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 n3j_=(  
➢ 微透镜阵列仿真 (LJ7xoJ^  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 ?Ezy0>j  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 8U}+9  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 Gte\=0Wr  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 Ihv@2{*(b  
4. 超表面微纳结构 D !{e  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 CeM%?fr5  
➢ 超光栅的构建 }pGjc_:']  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 5rmQ:8_5   
➢ 设计和分析超透镜 j8aH*K-l{  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 /:"^,i\t  
5. 微纳加工工艺方案 q
$"?P  
➢ 微纳加工完整流程概述 i:jns>E  
➢ 灰度曝光/直写技术 [f}`reRlZ  
➢ 刻蚀类工艺 pl$wy}W-  
➢ 其他辅助工艺 mq(-L  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 r$Ni>[as  
6. 微纳结构的表征 F{rC{5@fj  
➢ 微纳结构面型检测 o-JB,^TE  
G(BSe`f  
第一天 2p4iir  
第二天 ;Sg,$`]  
上午 8kvA^r`  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 fxmY,{{  
2. 衍射光学元件设计与优化 6ND*L
0  
3. 周期性微纳结构的优化设计 1Zi` \N4T  
4.超表面微纳结构 @!}/$[hu1  
下午 c *<m.  
2. 衍射光学元件设计与优化 @"wX#ot  
3. 周期性微纳结构的优化设计 7U^{xDg.b  
5. 微纳加工工艺方案 H!Dj.]T  
6. 微纳结构的表征 D7muf  
%oWG"u  
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784