[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 r(RKwr:m  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） ;{U@qQD7  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） +Zaj,oEE  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） m>MB7,C;N  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 BEre*J  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 >kW@~WDMu  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) //s:5S<Z  
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课程简介： TzNn^ir=HX  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 H*$jc\ dC  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 QmCe>+  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 =*r])Vg^  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 4X+ifZO  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 ):b$xNn  
础即可参与学习。 =5(>q5Z*  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 V0P>YQq9s  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， 4\4FolsK  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 Cd>WUw  
课程大纲： 2AO~HxF  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 $h*L=t(  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 A m>cd;  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 T
^Ze3L]  
2. 衍射光学元件设计与优化 )'6DNa[y  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 $>u*}X9  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 3%%o?8ES  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 Y]B)'[=h  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 z$?~Y(EY  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 "saUai4z  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 UHTvCc  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 9*{[buZX  
3. 周期性微纳结构的优化设计 9mmCp&~Z  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 &QGdLXOn  
➢ 微透镜阵列仿真 rjp-Fw~1w  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 d;>#Sxf  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 `CgaS#  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 rU2%dkTa  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 2-C!jAfd  
4. 超表面微纳结构 BA%pY|"Q  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 (K)]qNH  
➢ 超光栅的构建 Vp3ZwS  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 }Du}c3  
➢ 设计和分析超透镜 j]aoR  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 \\u<
S=G  
5. 微纳加工工艺方案 8(~K~q[Cr  
➢ 微纳加工完整流程概述 bqnNLs<N  
➢ 灰度曝光/直写技术 k=4N.*#`y  
➢ 刻蚀类工艺 xx{PespNt  
➢ 其他辅助工艺 ~1W x=  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 ~s
]iy9i  
6. 微纳结构的表征 A.EbXo/  
➢ 微纳结构面型检测 K%F,='P}  
jO1r)hw N>  
第一天 FMClSeO7  
第二天 OVhE??#  
上午 &' Ne!o8  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 -wSg2'b4E  
2. 衍射光学元件设计与优化 /iJ4{p  
3. 周期性微纳结构的优化设计 /$'AjIg4:&  
4.超表面微纳结构 3P^sM1  
下午 oIb|*gX^  
2. 衍射光学元件设计与优化 TTt#a6eJ  
3. 周期性微纳结构的优化设计 ^ml'?  
5. 微纳加工工艺方案 qx4I_%  
6. 微纳结构的表征 QUQu^p  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784