时间地点 CP +4k.)*O
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） /;DjJpwf0
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） o5>/}wIf
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） _~PO
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 )eECOfmnZ
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 \kxh#{$z?
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) "rVU 4F)
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课程简介： T\jAk+$Jo
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 l7ZB3'
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 M ]1;
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 fO #?k<p
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 $iwIF7,\P
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 (e(Rr 4
础即可参与学习。 # aa1<-&H
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 $1~c_<DN
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， zFOL(s.h|0
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 YtMlqF
课程大纲： )qmFK
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 O'OFz}x),
➢ 光之数字模型平台原理介绍 t|.Ft<c#
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 p(.N(c
2. 衍射光学元件设计与优化 x =h0Fq ,T
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 s*f1x N<
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 q 4) Ey
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 G,B?&gFX
➢ 衍射光学元件分束设计优化 E.9^&E}PG
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 XwtAF3oz
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 \ p3v#0R{
➢ 衍射光学元件加工文件导出 5E`JD
3. 周期性微纳结构的优化设计 &; s<dDQK
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 V; k#})_-
➢ 微透镜阵列仿真 T RDxT
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 %uua_&#)
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 hD*(AJ
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 ).Q[!lly
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 8]HY. $E
4. 超表面微纳结构 T ~h.=5
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 (V!0'9c
➢ 超光栅的构建 ~~@y_e[N#l
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 -qfnUh
➢ 设计和分析超透镜 Ts#pUoE~+H
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 IhfZLE.,
5. 微纳加工工艺方案 fQO
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➢ 微纳加工完整流程概述 *y?[ <2"$
➢ 灰度曝光/直写技术 t| _{;!^
➢ 刻蚀类工艺 a5)JkC
➢ 其他辅助工艺 3[.3dy7,Z
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 &1l~&,,
6. 微纳结构的表征 ~@@
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➢ 微纳结构面型检测 %XR<isn
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第一天 tJAnuhX
第二天 z-I|h ~ii
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 >9MS" t
2. 衍射光学元件设计与优化 >x *)GPDa
3. 周期性微纳结构的优化设计 50 *@.!^*
4.超表面微纳结构 7VY8CcL
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2. 衍射光学元件设计与优化 m@[3~
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3. 周期性微纳结构的优化设计 'gCZ'e dM
5. 微纳加工工艺方案 `
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6. 微纳结构的表征 b Ob
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
