[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 bDh:!M  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） we H@S  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） u.pKK  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） 1W}nYU  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 %];h|[ax]  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 kuTq8p2E  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) ]4 K1%ZV  
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课程简介： R!_8jD:$  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 
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影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 S`W'G&bCj  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 2Pem%HE~P  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 B.Zm$JZ:  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 }o!#_N0T  
础即可参与学习。 Q2[prrk%j  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 j2o1"  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， A'~%
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呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 Hn#GS9d_?  
课程大纲： cz7CrK~5  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 Uaus>Frx.T  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 dK J@{d  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ?x5wS$^q<  
2. 衍射光学元件设计与优化 ElEv(>G*  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 H4}%;m%  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 O ':0V  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 mX<Fuu}E*Z  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 +&7[lsD*  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 w PG1P'w;  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 Ss#@=:"P  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 J8u{K.(*7  
3. 周期性微纳结构的优化设计 qLQ <1>u  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 Sc4obcw%  
➢ 微透镜阵列仿真 t g KG&  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 0|fb< "  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 <fC@KY>#  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 G%P>Ag  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 VxkCK02k  
4. 超表面微纳结构 (B_7\}v|_  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 u0bfX,e2U  
➢ 超光栅的构建 BR& Aq  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 kCaO\#ta  
➢ 设计和分析超透镜 N|!MO{sB  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 v"P&`1=T  
5. 微纳加工工艺方案 b 0LGH. z4  
➢ 微纳加工完整流程概述 &v5G92  
➢ 灰度曝光/直写技术 v`#j  
➢ 刻蚀类工艺 "3{#d9Gs  
➢ 其他辅助工艺 @uI?  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 w(76H^e  
6. 微纳结构的表征 Q0zW ]a  
➢ 微纳结构面型检测 Jv_.itc  
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第一天 DA<F{n.Z:  
第二天 FAQr~G}  
上午 hpbwZ  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 !dU9sB2  
2. 衍射光学元件设计与优化 :a_BD  
3. 周期性微纳结构的优化设计 \#4m@  
4.超表面微纳结构 Tub1Sv>J  
下午 q,[k7&HS  
2. 衍射光学元件设计与优化 IDy_L;'`*  
3. 周期性微纳结构的优化设计 ~bdv_|k  
5. 微纳加工工艺方案 k:b/Gq`  
6. 微纳结构的表征 uije#cj#O  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784