[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 2BZYC5jy  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） QkS~~|0EI>  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） K1>X%f^  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） GqMa|8j  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 -^LUa]"E  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 f4UnLig  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) i8iv{e2  
qB6@OS  
课程简介： 8mjPa^A  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 *`2.WF@E)  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 r<VZEbm)  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 &|yQwNA*a"  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 3<}\{jT  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 %IrR+f+H  
础即可参与学习。 _&V%idz!0  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 l r80RL'_  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， /kV3[Rw+  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 x\PZ.o  
课程大纲： ).U\,@[A{  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 h1}U#XV  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 tpu2e*n-|  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 \|e>(h!l;  
2. 衍射光学元件设计与优化 lS@0 $  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 HYcLXhvgu  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 !%MI9Ok  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 DrI"YX  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 4/KGrY!ck  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 9 5bi W  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 ?*DM|hzOi  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 paKur%2u  
3. 周期性微纳结构的优化设计 V"Cx5#\7C  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 bfo..f-0/Y  
➢ 微透镜阵列仿真 kN7JZ12  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 UWU(6J|Fk  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 KLb"_1z  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 :j(e+A1@  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 <P
LQY  
4. 超表面微纳结构 o;'E("!<Z  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 +kA>^  
➢ 超光栅的构建 CFE  ubEb  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 LR:PSgy  
➢ 设计和分析超透镜 {!RDb'Zp  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 hcn$uyP  
5. 微纳加工工艺方案 uqz HS>GM  
➢ 微纳加工完整流程概述 #jrtsv]  
➢ 灰度曝光/直写技术 SEfRU`  
➢ 刻蚀类工艺 G5WQTMzf&  
➢ 其他辅助工艺 ~[8n+p+&X  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 F}
1h  
6. 微纳结构的表征 LZ#=Ks  
➢ 微纳结构面型检测 4X-"yQ<U  
B":9C'tip  
第一天 jY;T:C-T  
第二天 ak,KHA6u  
上午 4^r4O#  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 oX=dJJE  
2. 衍射光学元件设计与优化 n[S-bzU^t  
3. 周期性微纳结构的优化设计 6jw9p+.  
4.超表面微纳结构 |>^5G@e
 
下午 &9Y ^/W  
2. 衍射光学元件设计与优化 6a*?m{  
3. 周期性微纳结构的优化设计 Pj-.oS2dA  
5. 微纳加工工艺方案 mkE_ a>  
6. 微纳结构的表征 R$XHjb)  
"Jahc.I  
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784