时间地点 Ic}ofBK
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电 INFOTEK) Q8x{V_Pot
苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) bw\=F_>L
课程时间:2026/5/19(二)-5/20(三) Lm|X5RVq
课程地点:上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 =dBrmMh
课程讲师:讯技光电工程团队及资深顾问 sJoi fl
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课程费用:4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) !cb#fl
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课程简介: ~N9-an
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分,应用广泛,其设计精度与加工质量直接 ^0Q*o1W
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion,结合多种仿真算法,开展 YZl%JX
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 _zh5KP[{
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型,包括蛾眼减反射表面、偏振 e_], O_Z
无关光栅、超构透镜等,涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节,无需深厚软件基 2[po~}2-0
础即可参与学习。 QZr<=}
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法,为微结构加工提供可靠的仿 mPin\-I
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容, W~3tQ!
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 k_>{"Rc
课程大纲: m;f?}z_\$
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 H4NEB1TO>
➢ 光之数字模型平台原理介绍 %KF:-
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➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 *]WXM.R8
2. 衍射光学元件设计与优化 Ra5'x)m36)
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 >8fH5
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 UwkX[u
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 M7R&J'SAY
➢ 衍射光学元件分束设计优化 |"qB2.[
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 #@^w>D6W
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 C-u/{CP
➢ 衍射光学元件加工文件导出 ;6nZ
3. 周期性微纳结构的优化设计 c)MR+'d\WO
➢ 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)仿真 2nkj;x{H$
➢ 微透镜阵列仿真 ~[TKVjyO
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 VtiqAh}4
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 %J7mZB9
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 zL'IN)7MU
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 qLi9ym, ]
4. 超表面微纳结构 ]A$^ l,
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 7/_ VE
➢ 超光栅的构建 5jV97x)BGx
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 >JPJ%~y
➢ 设计和分析超透镜 5w)^~#'
➢ 基于超构透镜(PCA)实现聚焦与成像 `l2<
5. 微纳加工工艺方案 F.pHL)37
➢ 微纳加工完整流程概述 |$w={N^4
➢ 灰度曝光/直写技术 AH'4H."o/9
➢ 刻蚀类工艺 t!~YO'<dS
➢ 其他辅助工艺 @:+n6
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 8UT%:DlxQ
6. 微纳结构的表征 Xm:=jQn
➢ 微纳结构面型检测 |sqo+E
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第一天 #r.` V!=
第二天 _$\5ZVe
上午 8V|jL?a~
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 BX(d"z b<
2. 衍射光学元件设计与优化 \1mM5r~
3. 周期性微纳结构的优化设计 yC0f/O
4.超表面微纳结构 {L4>2rF
下午 ]~00=nXFM/
2. 衍射光学元件设计与优化 !N8)C@=
3. 周期性微纳结构的优化设计 MAe<.DHY
5. 微纳加工工艺方案 =HV-8C]
6. 微纳结构的表征 f:[d]J|
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784