[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 h"#[{$(  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） {&u`d.Lk2p  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） {HF,F=W  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） q>X
30g  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 {Q?\%4>2  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 n1Ic[cM}  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) `1xJ1z#  
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课程简介： 6h5DvSO  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 &];:uYmMU  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 PiL[&_8g  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 P3e}G-Oz  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 ^RIDC/B=V6  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 GkU]>8E'"  
础即可参与学习。 rlRRGJ\l  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 Ca]V%
g(  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， NzBX2  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 xZE%Gf_U  
课程大纲： =|j~*6Hd  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 PR+L6DT_  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 oS0rP'V^  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 .&Ik(792Z&  
2. 衍射光学元件设计与优化 :qAF}|6  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 fkHCfcU  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法
}LA7ku  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 sUe<21:  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 RCC~#b
b  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 +M s`C)f  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 m[w 8|[  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 c}u`L6!I3  
3. 周期性微纳结构的优化设计 =@\Li)Y  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 hLo'q^mGr  
➢ 微透镜阵列仿真 ,6Ua+\|  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 >Y)FoHa+/  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 {Gi:W/jJ  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 :c/](M  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 KQulz  
4. 超表面微纳结构 UmNh0nS  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 1)N~0)dO  
➢ 超光栅的构建 *.P3fVlZ  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 ,b${3*PPQ  
➢ 设计和分析超透镜 ?ISv|QpC  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 k2Dq~zn  
5. 微纳加工工艺方案 GiS{=+=5  
➢ 微纳加工完整流程概述 m&I5~kD  
➢ 灰度曝光/直写技术 O_^X:0}  
➢ 刻蚀类工艺 ,\CG}-v@CN  
➢ 其他辅助工艺 iS#m{1m$$  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 i-W!`1LH'  
6. 微纳结构的表征 ^(.utO  
➢ 微纳结构面型检测 )K>2  
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第一天 "v[?`<53^l  
第二天 *<IQ+oat,a  
上午 ;FH_qF`.  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 Zt{\<5j  
2. 衍射光学元件设计与优化 s]@k,
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3. 周期性微纳结构的优化设计 &h67LMD!  
4.超表面微纳结构 `7o(CcF6H  
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2. 衍射光学元件设计与优化 'boAv%1_sa  
3. 周期性微纳结构的优化设计 jPyhn8Vw  
5. 微纳加工工艺方案 4K<T_B/  
6. 微纳结构的表征 2I qvd
 
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784