时间地点 ~" $9auQtC
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） { 8" W
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 'ugG^2Y
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） ow`\7qr
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 ^Jkj /n'
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问
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课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) E+3~w?1
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课程简介： )s^XVs.-
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 >#8`Zy:/Y
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 j+Tk|GRab
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 a~{St v
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 S"_vD<q
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 -> <_J4
础即可参与学习。 /\\C&Px
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 Xt~/8)&
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， B! -W765Y
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 Sa<R8X' J
课程大纲： ")o.x7~N
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 *&AK.n_
➢ 光之数字模型平台原理介绍 nl?|X2?C
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ?9PNCd3$d
2. 衍射光学元件设计与优化 t8^*s<O
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 rhUZ9Fdv
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 [Zua7&( 5
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 '7=*n_l
➢ 衍射光学元件分束设计优化 #u2PAZ@q d
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 G-:DMjvN
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 OZv&{_b_
➢ 衍射光学元件加工文件导出 uZ'5&k96T
3. 周期性微纳结构的优化设计 k5PzY!N
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 hpw;w}m
➢ 微透镜阵列仿真 d kVVvK
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 xbmOch}j6
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 R'80 {
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 y \%4Dir
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 2<J82(4j
4. 超表面微纳结构 3 g6 R<Ez
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 )c!f J7 o:
➢ 超光栅的构建 e~}+.B0
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 CP?\'a"Kt
➢ 设计和分析超透镜 0\i& v
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 f.8L<<5 c
5. 微纳加工工艺方案 7*4F-5G/
➢ 微纳加工完整流程概述 p<J/J.E
➢ 灰度曝光/直写技术 m\k$L7O
➢ 刻蚀类工艺 O=+C Kx@
➢ 其他辅助工艺 hz/5k%% UX
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 =!{dKz-&
6. 微纳结构的表征 D/giM#"
➢ 微纳结构面型检测 ,*bxNs'/
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第一天 20Rgw
第二天 #}vcf fgZ
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 &2Y>yFB
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2. 衍射光学元件设计与优化 W:tE ?H u
3. 周期性微纳结构的优化设计 zU}0AVlIL:
4.超表面微纳结构 >uUbWKn3
下午 VWNmqeP
2. 衍射光学元件设计与优化 2h/` RefHJ
3. 周期性微纳结构的优化设计 z3$PrK%
5. 微纳加工工艺方案 ciXAyT cG
6. 微纳结构的表征 1o$<pZZ
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