时间地点 g O A
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） C"P40VQoo
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） O+o1R24JI
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） KPOr8=Rc
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 A%pBvULH
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 & O5 W
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) u!As?AD.
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课程简介： 5 :ZM-kZT
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 02_% a1g
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 (*Jcx:rH
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 H7KcPN(0
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 L+& eY?A
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 KU> $=Rd
础即可参与学习。 A@X& d y
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 m| )Mc VV
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， S WYIQ7*
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 q.l" Y#d
课程大纲： jcWv&u|
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 $Xf gY1S
➢ 光之数字模型平台原理介绍 L`$MOdF{_
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 >t,BNsWB
2. 衍射光学元件设计与优化 u2SnL$A7
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 =W6AUN/%p
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 8()L }@y
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 *.UM[Wo
➢ 衍射光学元件分束设计优化 \)=X=yn2
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 d+_wN2
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 DL5`A?/
➢ 衍射光学元件加工文件导出 DA_ [pR
3. 周期性微纳结构的优化设计 #[^?f[ 9r
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 s!Xj 'H7K
➢ 微透镜阵列仿真 4 |ryt4B
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 $DmWK_A
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 p#9.lFSX
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 Lzzf`jN]
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 5 JE8/CbH
4. 超表面微纳结构 "( 6]K}k@
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 >bia
FK>t
➢ 超光栅的构建 J
00%,Ju_
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 T>l=0a #
➢ 设计和分析超透镜 ;~Ke5os=s
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 h\k!X/
5. 微纳加工工艺方案 NJG- ~ w
➢ 微纳加工完整流程概述 AR i_ m
➢ 灰度曝光/直写技术 }xx[=t=nUf
➢ 刻蚀类工艺 9Z,vpTE
➢ 其他辅助工艺 0f).F
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 t> J 43
6. 微纳结构的表征 85rXm*Df
➢ 微纳结构面型检测 ; ?>xuC$
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第一天 N 4$!V}pp
第二天 _cqB p7
上午 #{)= %5=c
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 _L mDF8Q(
2. 衍射光学元件设计与优化 *Z! #6(G
3. 周期性微纳结构的优化设计 [HJ^'/bB'
4.超表面微纳结构 z116i?7EnV
下午 7]t$t3I`
2. 衍射光学元件设计与优化 seh1(q?Va4
3. 周期性微纳结构的优化设计 uV r6tb1
5. 微纳加工工艺方案 | I_,;c
6. 微纳结构的表征 kw8?::
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
