[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 L3%frIUd  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） z206fF  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） @AZNF+ \W$  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） $)#orZtzr  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 RhowhQ)G  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 :M"+  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) 8$}<4 `39  
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课程简介： 6BV 6<PHJ  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 hi"C<b.  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 UVw^t+n  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 )J 'F]s  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 .
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无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 in1rDN%Vi  
础即可参与学习。 FDl/7P`b(  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 {]dxFhe)  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， liS'  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 XY'=_5t  
课程大纲： ;KQU% k$  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 cNd&C'/N  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 .:?v;rYk{  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 Z|_V ;*  
2. 衍射光学元件设计与优化
WHE<E rV%  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 |XB<vj07G  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 1J!v;Y\\  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 Ir JSU_  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 toY_1  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 8ae`V!5  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 j6l1<3j  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 ZjxF@`H  
3. 周期性微纳结构的优化设计  LgF?1?  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 Nw. )O  
➢ 微透镜阵列仿真 :<aGZ\R5  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 i*|HN"!  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 zbFy3-RP  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 fK7 ?"^`/  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 ('7?"npd  
4. 超表面微纳结构 (1CP]5W  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 @{@b^tk  
➢ 超光栅的构建 +'m9b7+v  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 M]o]D;N~l  
➢ 设计和分析超透镜 HAH\#WE  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 5X^\AW  
5. 微纳加工工艺方案 PY.HZ/#d  
➢ 微纳加工完整流程概述 Y7S1^'E 3  
➢ 灰度曝光/直写技术 x_7$g<n  
➢ 刻蚀类工艺 "[ S[vkI  
➢ 其他辅助工艺 3N >V sl  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 Kz;Ar&^`N  
6. 微纳结构的表征 [7><^?t V  
➢ 微纳结构面型检测 (*A@V%H  
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第一天  (
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第二天 {e&fBX6;  
上午 h>V6}(~;.  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 4]1/{</B|  
2. 衍射光学元件设计与优化 KOg,V_(I  
3. 周期性微纳结构的优化设计 -9LvAV>  
4.超表面微纳结构 _!2lnJ4+5  
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2. 衍射光学元件设计与优化 {U-
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3. 周期性微纳结构的优化设计 ;C-ds  
5. 微纳加工工艺方案 Ho(MO!(  
6. 微纳结构的表征 6OE xAn8  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784