[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 Ic}ofBK  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） Q8x{V_Pot  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） bw\=F_>L  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） Lm|X5RVq  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 =dBrmMh  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 sJoi fl 7  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) !cb#fl  
50&F#v%YB  
课程简介： ~N9-an  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 ^0Q*o1W  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 YZl%JX  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 _zh5KP[{  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 e_], O_Z  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 2[po~}2-0  
础即可参与学习。 QZr<=}
 
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 mPin\-I  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， W~3tQ!  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 k_>{"Rc  
课程大纲： m;f?}z_\$  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 H4NEB1TO>  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 %KF:- w  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 *]WXM.R8  
2. 衍射光学元件设计与优化 Ra5'x)m36)  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 >8fH5  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 UwkX[u  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 M7R&J'SAY  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 |"qB2.[  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 #@^w>D6W  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 C-u/{CP  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 ;6nZ  
3. 周期性微纳结构的优化设计 c)MR+'d\WO  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 2nkj;x{H$  
➢ 微透镜阵列仿真 ~[TKVjyO  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 VtiqAh}4  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 %J7mZB9  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 zL'IN)7MU  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 qLi9ym, ]  
4. 超表面微纳结构 ]A$^ l,  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 7/_ VE  
➢ 超光栅的构建 5jV97x)BGx  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 >JPJ%~y  
➢ 设计和分析超透镜 5w)^~#'  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 `l2<  
5. 微纳加工工艺方案 F.pHL)37  
➢ 微纳加工完整流程概述 |$w={N^4  
➢ 灰度曝光/直写技术 AH'4H."o/9  
➢ 刻蚀类工艺 t!~YO'<dS  
➢ 其他辅助工艺 @
:+n6  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 8UT%:DlxQ  
6. 微纳结构的表征 Xm:=jQn  
➢ 微纳结构面型检测 |sqo+E  
?w37vsN  
第一天 #r.` V!=  
第二天 _$\5ZVe  
上午 8V|jL?a~  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 BX(d"z b<  
2. 衍射光学元件设计与优化 \1mM5r~  
3. 周期性微纳结构的优化设计 yC0f/O  
4.超表面微纳结构 {L4>2rF  
下午 ]~00=nXFM/  
2. 衍射光学元件设计与优化 !N8)C@=  
3. 周期性微纳结构的优化设计 MAe<.DHY  
5. 微纳加工工艺方案 =HV-8C]  
6. 微纳结构的表征 f:[d]J|  
NnLhJPh  
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784