时间地点 cpALs1j:
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） '5LdiSk
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 5[4nFa}R:5
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） L AH">E
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 'nBP%
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 _> rM[\|X
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) ' QMcQvU
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课程简介： &pjj
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 ^ g5E&0a`g
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 i q oXku
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 I
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课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 y j#*H
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 GZ,MC?W
础即可参与学习。 _> x }MW+
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 vSC1n8 /
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， y_w
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呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 I:G8B5{J
课程大纲： d;]m wLB0
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 8Znr1=1
➢ 光之数字模型平台原理介绍 &)gc{(4$
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 3Ovx)qKxd
2. 衍射光学元件设计与优化 nc\`y,>l8
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 0 !{X8>x
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 (RV#piM
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 s1 [&WDedM
➢ 衍射光学元件分束设计优化 af %w|M
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 _ +NjfF|
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 r)>3YM5
➢ 衍射光学元件加工文件导出 5RFro^S 9E
3. 周期性微纳结构的优化设计 , ?U)mYhI
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 @j_o CDS
➢ 微透镜阵列仿真 XsQ81j.
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 ] % HxzJ
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 ?d^6ynzn
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 6p*X8j3p W
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 _:=\h5}8
4. 超表面微纳结构 8 = TC 3]
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 ZY]$MZf5yo
➢ 超光栅的构建 wjwCs`
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 D
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➢ 设计和分析超透镜 W"\}##
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 |oLG c!i
5. 微纳加工工艺方案 n qO*z<
➢ 微纳加工完整流程概述 5X =1a*2']
➢ 灰度曝光/直写技术 ]vvA]e
➢ 刻蚀类工艺 xc 1d[dCdp
➢ 其他辅助工艺 /MY's&D(
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 L"v rX
6. 微纳结构的表征 6qFzo1LO
➢ 微纳结构面型检测 i .uyfV&F
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第一天 RQ =$,
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第二天 z$R&u=J
上午 j8p<HE51
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 el*|@#k}
2. 衍射光学元件设计与优化 -0kMh.JYR
3. 周期性微纳结构的优化设计 R}gdN-941
4.超表面微纳结构 \-pwA j?
下午 'g)f5n a[
2. 衍射光学元件设计与优化 PL{lYexJ
3. 周期性微纳结构的优化设计 x-k-Pd
5. 微纳加工工艺方案 d{JI]
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6. 微纳结构的表征 oSD=3DQ;
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
