[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 =I0J1Ob  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） !l5@L\  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） twhT6wz"  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） L[^.pO  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 ZypK''&oc  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 I9e3-2THfj  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) i&q_h>ZTg  
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课程简介： +;,X?E]g  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 OF0v0Y/a  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 ITy/h]0  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 '~VF
*i^4  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 s"5
nfl  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 @&x'.2[nv  
础即可参与学习。 `>GXJ~:D["  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 @~}~;}0x  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， >abpse  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 .X5A7 m  
课程大纲： FX!Qd&kl1  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 D&x
.io  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 M8IU[Pz4  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 a ?\:,5=  
2. 衍射光学元件设计与优化 6~l+wu<$  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 TR%8O;  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 ,/qY 9eh  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 )NK#}c~5  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 oI
niy{  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 $pIo`F _W  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 DyCkz"1S  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 [_`@V4  
3. 周期性微纳结构的优化设计 *zMt/d*<&  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 ] &SmeTe  
➢ 微透镜阵列仿真 Tz~a. h@  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 Q!r&vQ/g  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 2St<m-&  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 KAi_+/]K_  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 @yj~5Gf(j  
4. 超表面微纳结构 gtIEpYN+  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 5LZs_%#  
➢ 超光栅的构建 E:-~SH}  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 P4LiU2C  
➢ 设计和分析超透镜 /([a%,DI  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 r?w>x`  
5. 微纳加工工艺方案 fCZ"0P3(  
➢ 微纳加工完整流程概述 EnmMFxu<  
➢ 灰度曝光/直写技术 #guK&?Fye  
➢ 刻蚀类工艺 <m

0=bm{j  
➢ 其他辅助工艺 ; K,5qs  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 pWn]$HaoG  
6. 微纳结构的表征 )3O#T$h  
➢ 微纳结构面型检测 RN}joKV  
KEdqA/F>  
第一天  vY"I  
第二天 VrWQ]L  
上午 'blMwD{0&\  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 DL d~
 
2. 衍射光学元件设计与优化 _~'M
Q`P  
3. 周期性微纳结构的优化设计  8hYl73#  
4.超表面微纳结构 [mj=m
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下午 v V;]?  
2. 衍射光学元件设计与优化 $Ld-lQsL  
3. 周期性微纳结构的优化设计 k2fJ  
5. 微纳加工工艺方案 "a(e2H2&T4  
6. 微纳结构的表征 }{kn/m/  
eA{A3.f"Hz  
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784