[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 ]z8Th5a?o  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） i?861Hu  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） -J>f,zA  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） gO#%*  W  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 o:`^1  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 pgPm0+N  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) {t|Q9
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课程简介： .rQcg.8/B  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 )j!%`g  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 j\iNag(  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 e!vWGnY  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 E:Ul_m8  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 a]!u go}  
础即可参与学习。 iUq_vQ@}}  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 =R*IOJ  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， Q5]rc`} 5  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 U/ax`_  
课程大纲： mbHMy[R  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 F`>qg2wO  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 ~( :$c3\  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 @(IA:6GN  
2. 衍射光学元件设计与优化 5t|$Yt[  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 Bf;<3k)5.  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 m[v%Qe|~  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 !LCy:>i!d  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 @6*eS+t\  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 G 2uM6  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 bnN&E?{hF1  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 B<ZCuVWH:  
3. 周期性微纳结构的优化设计 ni6zo~+W]  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 iD/+#UTY  
➢ 微透镜阵列仿真 S[{,+{b0  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 pZ]&M@Ijp  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 =&PO_t5)z  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 SeuDJxqopD  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 5"bg8hL  
4. 超表面微纳结构 Y=,9M  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 "
]W,,A-  
➢ 超光栅的构建 O^8=Xj#}  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 #mD_<@@  
➢ 设计和分析超透镜 +0%Y.O/{  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 2InM(p7j~K  
5. 微纳加工工艺方案 !wC( ]Y  
➢ 微纳加工完整流程概述 ,+X:#$  
➢ 灰度曝光/直写技术 -s\R2_(  
➢ 刻蚀类工艺 &'Xgf!x  
➢ 其他辅助工艺 l;@bs  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 i=&]%T6Qk  
6. 微纳结构的表征 /J9Or{#r  
➢ 微纳结构面型检测 93
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第一天 rr>6;  
第二天 9P*f  
上午 0}po74x*r  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 nZM
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2. 衍射光学元件设计与优化 j%}9tM6[  
3. 周期性微纳结构的优化设计 ])q,mH  
4.超表面微纳结构 >_$_fB  
下午 3J8M0W  
2. 衍射光学元件设计与优化  QB !%  
3. 周期性微纳结构的优化设计 lqa~ZF*  
5. 微纳加工工艺方案 40z1Qkmaey  
6. 微纳结构的表征 C=2DxdZG  
G-,0mo  
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784