[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 Dm^Bk?#(  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） 8
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苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） H YA<  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） O{P@fv%~(o  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 [SJ-]P|^l  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 06)B<
 
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) Oq[2<ept  
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课程简介： Vn7
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微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 H{tG:KH  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 9n\b
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各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 utH/E7^8  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 PM(M c]6  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 4y:pj7h  
础即可参与学习。 lMn1e6~K  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 vOF"p4 ^3  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， \w6A-daD0  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 PN(P$6
 
课程大纲： &"_5?7_N  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 c3L)!]kB  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 L lNd97Z  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 3?n2/p 7=  
2. 衍射光学元件设计与优化 w6Owfq'v  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 fV>12ici  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 cN?}s0  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 @Yu=65h  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 vq?aFX9F  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 G(Ky7SZ  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 .+.'TY--  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 "ZHA.M]`
 
3. 周期性微纳结构的优化设计 Kw/7X[|'G  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 oh?@[U  
➢ 微透镜阵列仿真 btG+Ak+K*  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 ~uUN\qx52  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 9 SBVp6'  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 ;A\SbLM  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 Yg~$1b@  
4. 超表面微纳结构 y\C_HCU H  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 W Z_yaG$U  
➢ 超光栅的构建 uOv0ut\\G  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计  mS]&  
➢ 设计和分析超透镜 Szb#:C  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 'xG:v)(  
5. 微纳加工工艺方案 i(9 5=t(  
➢ 微纳加工完整流程概述 DwNEqHi  
➢ 灰度曝光/直写技术 8*7,qX  
➢ 刻蚀类工艺 }G3:QD  
➢ 其他辅助工艺 C1M @;  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 NB.
s2I7  
6. 微纳结构的表征 qhQeQ  
➢ 微纳结构面型检测 XwlF[3VbiX  
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第一天 $xK*TJ(k  
第二天 tDj/!L`  
上午 !zW22M  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 UXdnN;0  
2. 衍射光学元件设计与优化 b"PRa|]  
3. 周期性微纳结构的优化设计 IE0hC\C}  
4.超表面微纳结构 #Aver]e
K  
下午 EyK F5TP0  
2. 衍射光学元件设计与优化 _@/nc:)H  
3. 周期性微纳结构的优化设计 K1oSoD8c  
5. 微纳加工工艺方案 GU,ztO.w3  
6. 微纳结构的表征 bMvHAtp  
R[bI4|t  
有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784