[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 Ym#io]  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） !1mAq+q!  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ZU`HaL$  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） On}b|ev  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 .*?)L3n+t  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 Lr Kx  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) rS0#]Gg  
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课程简介： GL^ j |1  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 ceLr;}?Ws  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 88}04  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 oJZ0{^  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 OqX+R4S  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 tPDB'S:&
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础即可参与学习。 o3`0x9{  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 W$` WkR  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， }mS Q!"f:  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 3*R(&O6}  
课程大纲： \5b<!Nl  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 Q;@w\_OR  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 J?Rp  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 9lX[rBZ  
2. 衍射光学元件设计与优化 <#~n+,  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 y*8;T v|  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 6wb M$|yFj  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 hP/uS%X   
➢ 衍射光学元件分束设计优化  c70B  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 E8o9ufj3  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 &A^2hPe}  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 Koz0Xy  
3. 周期性微纳结构的优化设计 k,y#|bf,Y  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 .>'J ^^  
➢ 微透镜阵列仿真 !)c0  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 R~bLEo  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 xH-} <7  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 "?YpF2pD  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 V.[b${  
4. 超表面微纳结构 DE?@8k  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 'v@1_HHW\  
➢ 超光栅的构建 n4zns,:)/  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 NmN:x&/  
➢ 设计和分析超透镜 FFH{#|_1  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 ezd@>(hJ  
5. 微纳加工工艺方案 Q?%v b  
➢ 微纳加工完整流程概述 s'@@q  
➢ 灰度曝光/直写技术 U4Pk^[,p1G  
➢ 刻蚀类工艺 Vb2")+*:  
➢ 其他辅助工艺 j MA%`*r  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 n6*; ~h5  
6. 微纳结构的表征 wD[qE  
➢ 微纳结构面型检测 %;G!gJeE  
y] ~X{v  
第一天 uMP&.Y(  
第二天 `RE1q)o}8M  
上午 .T*7nw  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 \y/+H  
2. 衍射光学元件设计与优化 t{/ EN)J  
3. 周期性微纳结构的优化设计 ZP%Bu2xd  
4.超表面微纳结构 F^');8~L  
下午 '?!2h'  
2. 衍射光学元件设计与优化 KL*UU,qU  
3. 周期性微纳结构的优化设计 Eb9M;u  
5. 微纳加工工艺方案 ?Qs>L~  
6. 微纳结构的表征 \'N|1!EO|t  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784