[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 M xUj7ae  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） gW'aK>*c  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ']1j Mn  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） msS5"Qr  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 W[A;VOj0$  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 uJ,>Y# ?  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) :0ZFbIy  
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课程简介： agX-V{l.  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 W0eb9g`s  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 *+h2,Z('a  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 Cul^b_UmP#  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 Sf[ZGY)  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 H27_T]\  
础即可参与学习。 xuQ$67F`;z  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 :.6kXX'~  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， 6sBS;+C  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 b Mi,z3z  
课程大纲： hZ!N8nWwNR  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 yWsV !Ub  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 r6&f I"Yg  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 jgbUZP4J>  
2. 衍射光学元件设计与优化 :9q=o|T6D  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 O=8:K'  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 hv te)  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 l)GV&V  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 U'@eUY(Ov$  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 XHcT7}]  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 ?e9Acc`G5  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 xJrRJwL  
3. 周期性微纳结构的优化设计 IQxY]0\uf6  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 x9R_KLN:;  
➢ 微透镜阵列仿真 gJ cf~@s  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 Y s[JxP  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 SU9qF73Y  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 o:jLM7$=  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 B ?96d'A  
4. 超表面微纳结构 4-z3+e  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 bIt%KG{PY6  
➢ 超光栅的构建 `sOCJ|rc5  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 f.cIhZF  
➢ 设计和分析超透镜 7k}[x|u  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 E]V:@/(M'  
5. 微纳加工工艺方案 7H~StdL/>  
➢ 微纳加工完整流程概述 1a4 [w  
➢ 灰度曝光/直写技术 _3-nw  
➢ 刻蚀类工艺 oUXu;@l  
➢ 其他辅助工艺 IM),cOp=  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 B;?)   
6. 微纳结构的表征 #jn6DL@[{  
➢ 微纳结构面型检测 4tU3+e5h  
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第一天 <<!XWV*m  
第二天 <&E3QeK  
上午 833KU_ N  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 6=a($s!   
2. 衍射光学元件设计与优化 ,\zp&P"p  
3. 周期性微纳结构的优化设计 syhTOhOX  
4.超表面微纳结构 :{?8rA5  
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2. 衍射光学元件设计与优化 +[M5x[[$  
3. 周期性微纳结构的优化设计 ujsJ;\c  
5. 微纳加工工艺方案 E8#RG-ci  
6. 微纳结构的表征 V}(snG,  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784