[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 y~An'+yBa  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK）  2&O!<C j  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） $*^Ms>
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课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） |ul25/B B  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 D\]gIXg  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 LFob1HH*8  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) EA9`-xs|  
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课程简介： t\E#8  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 *z;4. OX  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 9l9n
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各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 yTwv2l;U  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 Tw"u{%t  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 HDZB)'I  
础即可参与学习。 Y;d$x}dh  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 cdfJa  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， z9pv|  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 [!p>I
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课程大纲： U7O~ch[,  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 rvuskXdo  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 SuU,SE'TX  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 xtYX}u  
2. 衍射光学元件设计与优化 fOCLN$x^  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 ,\q9>cZ!  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 "2q}G16K  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 m07= _4  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 `z%f@/:fG  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 .'JO7of  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 r$}M,! J  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 z&[Rw<{Psb  
3. 周期性微纳结构的优化设计 Ahk6{uz  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 T%Xl(.Ft  
➢ 微透镜阵列仿真 iTF`sjL  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 #qY`xH'>  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 UXwnE@`F  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 9`Bmop  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化
J7q^4M+o:  
4. 超表面微纳结构 os0fwv  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 kx0(v1y3gT  
➢ 超光栅的构建 U8qb2'a8  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 8)HUo?/3  
➢ 设计和分析超透镜 _SdO}AiG  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 @dei}!e  
5. 微纳加工工艺方案 m/uBM6
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➢ 微纳加工完整流程概述 NovF?kh2  
➢ 灰度曝光/直写技术 0w9)#e+JS  
➢ 刻蚀类工艺 5'wWj}0!%  
➢ 其他辅助工艺 AL@8v=  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 &SuWmtq  
6. 微纳结构的表征 F,+nj?i!  
➢ 微纳结构面型检测 (~ro_WC/I  
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第一天 ? cU9~=  
第二天  @v&hr  
上午 K}7E;O5m"  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 l#u$w&  
2. 衍射光学元件设计与优化 F!.Z@y P  
3. 周期性微纳结构的优化设计 jez=q  
4.超表面微纳结构 hB/4.K]8  
下午 :bt;DJ@  
2. 衍射光学元件设计与优化 z6 T3vw
  
3. 周期性微纳结构的优化设计 f_v@.vnn.  
5. 微纳加工工艺方案 D! TFb E  
6. 微纳结构的表征 %;ST7  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784