[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 voJJoy%  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） 43~v1pf{!  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ZkNet>9  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） 7g%\+%F I  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 5XuQQ!`  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 _94R8?\_V7  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) +k0UVZZX?  
D u_;!E  
课程简介： 2Zg%4/u,Zp  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 7h>,  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 itcM-?  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 %zhSSB=BJ  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 X?(R!=a  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 d@tNlFfS  
础即可参与学习。 z(#dL>d$'  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 xlh<}Vtp  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， #vAqqAS`,  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 R3.8Dr0f  
课程大纲： E 5mYFVK  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 def\=WyK  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 U8</aQLGF  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 3FMYs&0r4  
2. 衍射光学元件设计与优化 =Ew77  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 kovJ
9  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 zy|h1.gd  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 Z!4
B=?(  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 Nk1p)V SC  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 }C$D-fH8sW  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 O:8Ne*L`D  
➢ 衍射光学元件加工文件导出
0W~1v  
3. 周期性微纳结构的优化设计 G'wyH[ d/  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 3-
)R'  
➢ 微透镜阵列仿真 dl6Ju  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 tqL2' (=  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 Zm+GH^f'  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 .}E@7^X  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 JZJb&q){  
4. 超表面微纳结构 JM53sx4&  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 (-@I'CFd  
➢ 超光栅的构建 UlPGB2B  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 } V"A;5j`  
➢ 设计和分析超透镜 jY ;Hdb''  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 =%B}8$.|  
5. 微纳加工工艺方案 >GmO8dK  
➢ 微纳加工完整流程概述 n8FIxl&u  
➢ 灰度曝光/直写技术 Fz5eCe\B  
➢ 刻蚀类工艺 <X?xr f  
➢ 其他辅助工艺 Q@*9|6-  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 f9O_M1=|lo  
6. 微纳结构的表征 5fLp?`T  
➢ 微纳结构面型检测 lXD=uRCI  
t7*F,  
第一天 *T.V5FB0S  
第二天 b27t-p8  
上午
" ^!=e72  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 cs4IO O$  
2. 衍射光学元件设计与优化 8
k_hX^  
3. 周期性微纳结构的优化设计 /74)c~.W  
4.超表面微纳结构 |`+ (O  
下午 o<5+v^mt#  
2. 衍射光学元件设计与优化 lQ4$d{m`  
3. 周期性微纳结构的优化设计 *g4Uo{  
5. 微纳加工工艺方案 J8[aVG  
6. 微纳结构的表征 ]1I-e2Q-J  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784