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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 A@`}c,G  
    &w\{TZ{  
    pd?M f=>#  
                                                             59LG{R2  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 7 W5@TWM  
                                                                 BT !^~S%w  
    建模任务                                                         &0d# Y]D4`  
    7P } W *  
     (&r. w  
    Y_liA  
    光栅元件   GblA9F7  
    "69s) ~  
                                                             [+Iz@0q  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: /WcG{Wdp  
    • FMM/RCWA 6XxvvMA97  
    • Diffractive Lens Component ~g91Pr   
                                                                 XPc^Tq  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       i$Ul(?  
    ,~U>'&M;  
                                                         -OV&Md:~  
    G/E+L-N#`  
    正弦光栅-传输相位形态     }J}-//[A  
    l$KA)xbI  
                                                         `bq<$e  
    <sbu;dQ`  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         70?\ugxA  
    )D O?VRI  
     8S TvCH"Z_  
    ScOK)nL"  
    正弦光栅-衍射效率 E:68?IJ  
    { l/U6](  
                                                                 )_90UwWpj  
    `v!urE/gg%  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       <_L,t 1H{  
    ~ah~cwmpS  
           )MVz$h{c.]  
    DeVv4D:}@  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   k=$TGqQY?  
                                           q>_.[+6  
    h8q[1"a:  
                                                                 |l^uEtG  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) dl)Y'DI  
    r8?gD&c}  
                                                               CZwXTHe  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         g/d<Zfq<{  
    'ZF{R3Xu  
    =ZznFVJ`={  
     /KaZH R.  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         B:Oa}/H   
     \!X8   
     rBzuKQK}J  
                                                                 HVCe;eI  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         h+H%?:FX  
    "S]0  
     q[_Vu A]&  
                                                                 Dj?> <@  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         HyQJXw?A:  
    e2Pcm_Ahv*  
     t>RY7C;PuS  
                                                                 r|8d 4  
    VirtualLab Fusion技术   n38p!oS  
    a5^] 20Fa  
                                                             Y5Bo|*b  
    H2 {+)  
     
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