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摘要 RKoP6LGw 2vh!pez_
s_GK;; z~}StCH( 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 =XacG}_ U2[3S\@ 建模任务 h-2E9Z VJ6>3
j?f,~Y<k s!j(nUd/ 光栅元件 ~7ATt8T /SPAJHh
R@7GCj 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: j;AzkReb • FMM/RCWA S0Bl?XsD_ • Diffractive Lens Component w371.84 < o'7{ 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) pzt Zb ](9{}DHV
f1]AfH# XY+aunLf
正弦光栅-传输相位形态 DX%8.@ Ghq'k:K,
a_pCjG89 !7ZfT?& 正弦光栅-传输相位形态 F;MT4*4
];b!*Z
t0asW5f <SC|A| 正弦光栅-衍射效率 !aW*dD61 vY0V{u?J
Xg!|F[i W
&0@&U 正弦光栅-效率vs. 周期 &Xl_sDvt Y%CL@G60
od5w9E. UB&S 2g 正弦光栅—选定周期的相位形态 J%Z)# 1&@wb'MBs. dnX`F5zd 2p3u6\y 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) i3kI2\bd/ <E}]t,'3
Y^jnlS)h 闪耀光栅-传输相位形态 %\{?(baOA !iitx U R 6yvpH [>J~M!yu:r 闪耀光栅-衍射效率 2`FsG/o\T~ VU+ s7L0
|L_g/e1 A3 h&k^l, 闪耀光栅-效率vs.周期 %`\3V
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;DgX"Uzm <j8&u/Za~' 闪耀光栅-选定周期相位形态 G}dOx}kT dI0>m:RBz
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VirtualLab Fusion技术 SiuO99'nV 8apKp?~yW
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