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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 7小时前
    摘要 1 \_S1ZS  
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    ,s*-2Sz  
                                                             ersddb^J]  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 P O,mg?JG(  
                                                                 m4.IaBn/  
    建模任务                                                         k%5 o5Hx  
    a.r+>44M  
     +p:#$R)MW  
    CXr]V"X9  
    光栅元件   G G]4g)O5  
    U&uop$/Cq  
                                                             [nO\Q3c|@$  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Ungex@s_  
    • FMM/RCWA 4PwjG;!K  
    • Diffractive Lens Component zCZ]`  
                                                                 QN!$41A?{  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       $d]3ek/  
    lC8DhRd0_  
                                                         zoUM<6q  
    #-wtNM%1#  
    正弦光栅-传输相位形态     ' w^Md  
    =@F1J7  
                                                         SL9]$MmJn  
    &jh'B ,  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         $n30[P@p;  
    BM_hW8&G  
     biJ"@dm 4  
    e_Ue9c.}  
    正弦光栅-衍射效率 >}tm8|IHoo  
    o& g0 1t  
                                                                 .""?k[f5Q  
    h/7m.p]  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       5E|y5|8fb  
    uTgvMkO  
           9"5J-a'  
    FwB }@)3  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   KiXRBFo  
                                           aNX M~;5~  
    2 1b  
                                                                 5 *8 V4ca  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) AATiI+\S  
    >h?!6L- d  
                                                               #bz#&vt$  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         V&i/3g  
    Sm@T/+uG:  
    +HGPn0As  
     v1s.j2T  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         'jr\F2  
    {$,t^hd  
     sp=;i8Y 3  
                                                                 '&XL|_Iq  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         \e89 >m  
    0+\%os V  
     6FYO5=R  
                                                                 P4&3jQ[o  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         mBQA~@ }  
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                                                                 xc4g`Xi  
    VirtualLab Fusion技术   #le1 ^ <w7  
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