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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 RKo P6LGw  
    2vh!pez_  
    s_ GK;;  
                                                              z~}StCH(  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 =XacG}_  
                                                                 U2[3S\@  
    建模任务                                                         h-2E9Z  
    VJ6>3  
     j?f,~Y<k  
    s!j(nUd/  
    光栅元件   ~7ATt8T  
    /SPAJHh  
                                                             R@7GCj  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: j;AzkReb  
    • FMM/RCWA S0Bl?XsD_  
    • Diffractive Lens Component w371.84  
                                                                 < o'7{  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       pzt Zb  
    ](9{}DHV  
                                                         f1]AfH#  
    XY+aunLf  
    正弦光栅-传输相位形态     DX%8. @  
    Ghq'k:K,  
                                                         a_pCjG89  
    !7ZfT?&  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         F;MT4*4  
    ];b!*Z  
     t0asW5f  
    <SC|A|  
    正弦光栅-衍射效率 !aW*dD61  
    vY0V{u?J  
                                                                 Xg!|F[i  
    W &0@&U  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       &Xl_sDvt  
    Y%CL@G60  
           od5w9E.  
    UB&S 2g  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   J%Z)#  
                                           1&@wb'MBs.  
    dnX`F5zd  
                                                                 2p3u6\y  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) i3kI2\bd/  
    <E}]t,'3  
                                                               Y^jnlS)h  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         %\{?(baOA  
    !iitx U  
    R 6yvpH  
     [>J~M!yu:r  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         2`FsG/o\T~  
    VU+s7L0  
     |L_g/e1A3  
                                                                 h&k ^l,  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         %`\3V {2*  
    <C.$Db&9  
     ;DgX"Uzm  
                                                                 <j8&u/Za~'  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         G}dOx}kT  
    dI0>m:RBz  
     g*AD$":  
                                                                 kJ<Xq   
    VirtualLab Fusion技术   SiuO99'nV  
    8apKp?~yW  
                                                             iB`WXU  
    C"` 'Re5)  
     
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