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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 b|e1HCH  
    |]5`T9K@b#  
    2N{^V?:  
                                                             foUB/&Ee  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 >&ENrvaJ  
                                                                 $,zW0</P*l  
    建模任务                                                         9oYE  
    +xd@un[r<  
     %{-r'Yi%  
    WK0:3q(P  
    光栅元件   zx5#eMD  
    _y&XFdp  
                                                             /cT6X]o8  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: nyetK  
    • FMM/RCWA C\4d.~C:w3  
    • Diffractive Lens Component bYO['ORr @  
                                                                 V!l?FOSZ  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       [bw1!X3  
    (eAz nTU  
                                                         +NbiUCMX  
    }Ogb|8  
    正弦光栅-传输相位形态     D?=4'"@v  
    W-*HAS  
                                                         6_:I~TTX  
    8L+A&^qx  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         H+Aidsn  
    5mS/,fs@  
     'E&tEbY  
    S+"Bq:u"  
    正弦光栅-衍射效率 \d*ts(/a*  
    w{t]^w:  
                                                                 r.lHlHl  
    A{e>7Z72  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       !C h1q  
    {,u})U2  
           `5e{ec c7  
    YUHiD *  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   w51l;2$des  
                                           wqi0%Cu*  
    li,rPUCt  
                                                                 :%Oz:YxC/  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) DJ*mWi.  
    *{P/3yH  
                                                               ;6~5FTmV  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         c& I  
    }%z%}V@(&  
    T:@7EL  
     :Nv7Wt!  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         C fM[<w   
    \7%#4@;?  
     R}cNhZC  
                                                                 CmV &+C$V%  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         /&<V5?1|  
    lZuH:AH  
     TQmrL  
                                                                 T2/:C7zL  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         .6T0d 4,1  
    1;H"4u_IG&  
     yCA8/)>Gm  
                                                                 Fe4>G8uuwn  
    VirtualLab Fusion技术   0#DEh|?  
    UfPHV%Wd  
                                                             gnjhy1o  
    ZOMYo]  
     
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