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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 |`2RShu  
    df4A RP+  
    p Z|V 3  
                                                             D rUO-  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 !*d I|k  
                                                                 kX7C3qdmt  
    建模任务                                                         %+W{iu[|  
    UT~4x|b:O  
     ;;OAQ`  
    ~S"+S/z/k  
    光栅元件   #4Rx]zW^%  
    np"\19^  
                                                             ]___M  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: =vCY?I$P  
    • FMM/RCWA Ju!]&G8  
    • Diffractive Lens Component &WuN&As!Z  
                                                                 X"|['t  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       B dj!ia;H  
    jjB~G^n  
                                                         ,GbR!j@6  
    ,F8Yn5h  
    正弦光栅-传输相位形态     )Pa'UGY  
    Fx_z6a  
                                                         H7&8\ FNa  
    0y'H~(  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         c \J:![x  
    `_Zg3_K.dS  
     ?4#Li~q  
    .=7vI$ujd  
    正弦光栅-衍射效率 w>s,"2&5J  
    Q2w_X8  
                                                                  j|DsG,  
    #?aPisV X>  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ?|\ER#z  
    T9E+\D  
           z [}v{  
    T?CdZc.  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   .,|G7DGH]  
                                           Af~$TyX  
    av8B-GQI*#  
                                                                 iJ)_RSFK  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Ytp(aE:  
    Fc)@,/R"v  
                                                               T@H ^BGs  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         \_VA 50  
    ~k-y &<UR  
    aB2F C$z  
     h9&0Z +zs  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         P+ 3G~Sr  
    V# }!-Xj  
     ,B*EVN  
                                                                 gS!:+G%  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Fj8z  
    xC?6v '  
     Q",t3i4  
                                                                 T$)^gHS  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ,a{P4Bq  
    RtkEGxw*^  
     '2A)}uR  
                                                                 -lr vKrt7  
    VirtualLab Fusion技术   z}77Eh<  
    %OL$57Ia  
                                                             b"<liGh"n-  
    TM__I\+Q  
     
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