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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 ;TTH  
    %g{<EuK]p  
    xjg(}w  
                                                             !t!\b9=  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 hSF4-Vvb  
                                                                 y#)ad\  
    建模任务                                                         [}Pi $at  
    !ui:0_  
     2s<uT  
    'MY0v_  
    光栅元件   Eao^/MKx-  
    bz\-%$^k  
                                                             ~Rk ~Zn  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: We?cRb  
    • FMM/RCWA N Obw/9JO  
    • Diffractive Lens Component %e%VHHO|  
                                                                 \9`76*X6 c  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Uy5G,!  
    Y]])Tq;h5  
                                                         b_rHt s  
    ?$Jj^/luD  
    正弦光栅-传输相位形态     $hq'9}ASOL  
    b[os0D95  
                                                         mo  
    d}--}&r  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         II) K0<  
    Dwg_#GSr  
     l[u=_uaYl  
    F0]xc  
    正弦光栅-衍射效率 A#KfG1K>  
    $fFh4O4  
                                                                 #d;/Me  
    /YHAU5N/}  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ((cRe6  
    s{ dgUX  
           iTIYq0u|#R  
    ~x6<A\  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   b  >x03%  
                                           xnvG5  
    ;\(X;kQi  
                                                                 <tT.m[qg  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) L5 Q^cY]p  
    + [~)a 4#  
                                                               w:c9Z=KX  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                          /wT<p  
    GvI8W)d3,R  
    =:;K nS  
     +sFpIiJg  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         v$~$_K  
    t+Au6/Dx?  
     )];Bo.QA  
                                                                 B!1Bg9D  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         4~ i?xo=;v  
    j06qr\Es  
     V_/.]zQA  
                                                                 J>8kJCh9g  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         %WlTx&jSgE  
    `lA_knS  
     /I &wh  
                                                                 zEk /15  
    VirtualLab Fusion技术   $Ts;o  
    wDDNB1_ E  
                                                             W5,&*mo  
    5 BLAa1  
     
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