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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 D!j/a!MaKk  
    "Y&I#&$b\  
    '.A!IGsj  
                                                             ]J7qsMw  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 i)i>Ulj*i  
                                                                 i5e10@Q{  
    建模任务                                                         '/\  
    v">?`8V  
     R5HT EB  
    bvox7V>  
    光栅元件   %>|FJ  
    `4"8@>D  
                                                             'HA{6v,y  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: EGu%;[  
    • FMM/RCWA .3 EZk86  
    • Diffractive Lens Component *^?tr?e%I<  
                                                                 i VSNara  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       {R1]tGOf  
    P\U<,f  
                                                         #xI g(nG  
    rj4@  
    正弦光栅-传输相位形态     5P,&VB8L  
    {##G.n\~  
                                                         g"-j/ c   
    ~f<'] zXv  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ?t/qaUXN  
    _>gz&  
     mGT('iTM4  
    "x,lL  
    正弦光栅-衍射效率 >"W^|2R  
    f:;-ZkIU ?  
                                                                 L%/RD2L D  
    LjZlKB5C  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       .S` q2C\  
    *xnZTj:  
           ~ 'ZwD/!e  
    =s\$i0A2  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ZFZ'&"+  
                                           >S5J^c  
    y0%@^^-Ru  
                                                                 ;dIk$_FN  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @Q1!xA^S  
    2?,Jn&i5  
                                                               5`h 6oFxGp  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         pqG> |#RG  
    i"Jy>'  
    Ww<Y]H$xZ<  
     ]\yIHdcDi  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Wa;N(zw0h  
    [YvS#M3T  
     gM96RY  
                                                                 t=%zY~P  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         J 6 ~Sr  
    C:E f6ZW  
     E\iK_'#  
                                                                 2Zu9? L ,I  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         l*ltS(?  
    f&-`+V}U  
     #Xg;E3BM  
                                                                 P(T-2Ux6  
    VirtualLab Fusion技术   5/.W-Q\pl}  
    \h ~_<)  
                                                             =, XCjiBeC  
    XIcUoKg^  
     
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