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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 %#7^b=;=  
    <P c;8[  
    L4Si0 K  
                                                             Y-*]6:{E  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 }h\]0'S~J~  
                                                                 y Xi$w.gr  
    建模任务                                                         97VS xhr  
    g0RfvR  
     `V Rt{p  
    UC"_#!3  
    光栅元件   +RD{<~i  
    Je~<2EsQ  
                                                             ==~ lc;  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 7p,!<X}%  
    • FMM/RCWA $C6O<A  
    • Diffractive Lens Component {+|Em(M  
                                                                 {hKf 'd9E  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       \H.1I=<  
    BoPJ;6?>}  
                                                         ^g n7DiIPH  
    @*~cmf&FIQ  
    正弦光栅-传输相位形态     $:0?"?o);  
    }m-+EUEo9  
                                                         0'^zIL#.  
    v iM6q<Ht  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         BO-=X 78f@  
    mybjcsV4  
     OW8"7*irT  
    [+4--#&{  
    正弦光栅-衍射效率 =h}IyY@o  
    8 @4)p.{5I  
                                                                 2sXX0kq~V  
    MIWI0bnf  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       'B$qq[l]S  
    ,W~a%8*  
           NxQ+z^o\  
    v8o{3wJ  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ;/.XAxkFL  
                                           wr;8o*~  
    9WsGoZP n  
                                                                 Wq]Lb:&{a  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) "]D2}E>U;  
    =lqGt.x  
                                                               H-1y2AQ  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         Ue)8g#  
    ` SO"F,  
    S,TK;g  
     R} aHo0r  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         X3;|h93.a  
    7tr;adjs  
     <xQHb^:  
                                                                 o  w<.Dh  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ~Fd<d[b?  
    6@@J>S>  
     rN%aP-sa<  
                                                                 'X(G><R9  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         @9<MW  
    VXtW{*{"  
     @I^LmB9*  
                                                                 Fi^Q]9.@{  
    VirtualLab Fusion技术   W{2(fb  
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