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摘要 ;TTH %g{<EuK]p
xjg(}w !t!\b9= 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 hSF4-Vvb y#)ad\ 建模任务 [}Pi $at !ui:0_
2 s<uT 'MY0v_ 光栅元件 Eao^/MKx- bz\-%$^k
~Rk~Zn 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: We?cRb • FMM/RCWA N
Obw/9JO • Diffractive Lens Component %e%VHHO| \9`76*X6
c 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) Uy5G,! Y]])Tq;h5
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s ?$Jj^/luD 正弦光栅-传输相位形态 $hq'9}ASOL b[os0D95
mo d}--}&r 正弦光栅-传输相位形态 II)
K0< Dwg_#GSr
l[u=_uaYl F0]xc 正弦光栅-衍射效率 A#KfG1K> $fFh4O4
#d;/Me /YHAU5N/} 正弦光栅-效率vs. 周期 ((cRe6 s{dgUX
iTIYq0u|#R ~x6<A\ 正弦光栅—选定周期的相位形态 b>x03% xnvG5 ;\(X;kQi <tT.m[q g 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) L5 Q^cY]p +
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w:c9Z=KX 闪耀光栅-传输相位形态 /wT<p GvI8W)d3,R =:;K nS +sFpIiJg 闪耀光栅-衍射效率 v$~$_K t+Au6/Dx?
)];Bo.QA B!1Bg9D 闪耀光栅-效率vs.周期 4~i?xo=;v j06qr\Es
V_/.]zQA J>8kJCh9g 闪耀光栅-选定周期相位形态 %WlTx&jSgE `lA_knS
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