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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 %>&ex0j]  
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    GNJ /|9  
                                                             Z^>4qf,k  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 A`uHZCwJ5  
                                                                 fB+h( 2N~  
    建模任务                                                         p3Ux%/ZqPV  
    dy_Uh)$$|g  
     5!?5S$>  
    ?"Ez  
    光栅元件   Ikdj?"+O  
    H0s*Lb  
                                                             A;L ]=J  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Tow=B  
    • FMM/RCWA Pdf-2 Tx  
    • Diffractive Lens Component ui>jJ(  
                                                                 2jyWkAP'  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       J]U_A/f  
     @*eY~  
                                                         DT`HS/~fH  
    _|u}^MLO  
    正弦光栅-传输相位形态     ~s+vJvWz  
    bh@CtnO  
                                                         `-{l$Hn9|~  
    i9L]h69r  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Nud =K'P=  
    c0zcR)=mL  
     T#qf&Q Z  
    He=C\"  
    正弦光栅-衍射效率 K? o p3}f?  
    U,W MP<5&  
                                                                 HF*0  
    NfClR HpVc  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       sm`c9[E  
    4MPy}yT*  
           *>a=ku:?  
    iF+:j8 b  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Ef`'r))  
                                           W^8  
    8|zavH#P  
                                                                 X:UlL"G  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 7dY_b  
    nms[No?  
                                                               x6,ozun  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         5@xR`g-  
    ]jD\4\M}  
    GM2}]9  
     b\0>uU  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         *F%1~  
    2VY7?1Ab(@  
     b@CjnAZ  
                                                                 le \f:  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Kzn1ct{65!  
    w8X5kk   
     'etA1]<N  
                                                                 @.7/lRr@bp  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         A8.noV  
     a[nSUlT&  
     D=^&?@k<  
                                                                 F{jxs/~  
    VirtualLab Fusion技术   i975)_X(  
    HVus\s\&y%  
                                                             4 *}H3-`  
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