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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 4zjs!AK%  
    Y9Z]i$qS&k  
    "Y;}G lE  
                                                             nirDMw[  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 H4:&%"j7  
                                                                 ?A?F.n`  
    建模任务                                                         !E2W\chi  
    kJ{+M]pW  
     =wVJ%  
    F]EBD8/b  
    光栅元件   / vxm"CJR  
    D+JAK!W  
                                                             +1rkq\{l  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 4;<ut$G  
    • FMM/RCWA I|9 SiZ0  
    • Diffractive Lens Component -]srp;=i  
                                                                 `JB?c  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Z hd#:d  
    cA)[XpQ:+W  
                                                         NX[4PKJ0C  
    Qkcjr]#^$  
    正弦光栅-传输相位形态     M}O}:1Par  
    @n -r-Q  
                                                         ^v&D;<&R  
    i#/]KsSp  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         s58 C2  
    Q>Qibr  
     8|6 4R:  
    ]e'fa/I  
    正弦光栅-衍射效率 M|,mr~rRG  
    <\ `$Jx#  
                                                                 k(t}^50^j  
    i,I B!x  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       >UDd @  
    Fv74bC %  
           rG}\Zjn{  
    r [:   
    正弦光栅—选定周期的相位形态   "ZwKk G  
                                           ) ZfdQ3  
    _ :Ag?2  
                                                                 w[tmCn+  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) H@bf'guA|B  
    p]T<HGJ P  
                                                               ]:>,A@7  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         $5x ,6[&  
    UT0){%2@  
    AN!s{7V3  
     7%f&M>/  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ^XbU~3(  
    =X\^J  
     ,R%q}IH#  
                                                                 I/Jb!R ~  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         #$1Z  
    %`Z+a.~U  
     b 5yW_Ozdh  
                                                                 h2ytS^  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         *g?Po+ef%  
    wE+${B03  
     wLK07e(  
                                                                 }\J2?Et{  
    VirtualLab Fusion技术   svxw^ 0~a  
    YIw1  
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