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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 fEX=csZ86  
    %VH,(}i  
    2lCFE)  
                                                             XzHR^^;u"*  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 USEb} M`  
                                                                 iN[x *A|h  
    建模任务                                                         dF\#:[B  
    w?8SQI,~X  
     pYx,*kG:HW  
    ,VHqZ'6  
    光栅元件   1|(Q|  
    =c'4rJ$+  
                                                             $2Whb!7Z(  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 6e%@uB}$  
    • FMM/RCWA jYFJk&c  
    • Diffractive Lens Component RqtBz3v  
                                                                 I I+y  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       W&IG,7tr  
    4"|Xndh1.  
                                                         n4/Wd?#`  
    qcS.=Cj?)  
    正弦光栅-传输相位形态     W<r<K=`5P  
    t$18h2yOL  
                                                         ZpV]X(Px(o  
    S^eem_C  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ( Jk& U8y  
    AJbCC  
     sD:o 2(G*  
    x#J9GP.  
    正弦光栅-衍射效率 #wI}93E  
    wqb4w7%  
                                                                 P.'.KZJ:WD  
    STp9Gh-  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       V4n~Z+k  
    +;?mg(:  
           kAQ(8xV  
     USV DDqZ  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   5To@d|{  
                                           7nek,8b  
    @- STo/  
                                                                 \8`7E1d  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) apo)cR  
    jk9f{Iu  
                                                               j uA@"SG  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ~U0%}Bbh  
    EtKq.<SJ  
    n#lbfN 4  
     h2ROQKL"B  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         +e>SK!kB7  
    m/KaWrw/)  
     2:*15RH3  
                                                                 2n:<F9^"  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ?woL17Gt  
    D&G6^ME  
     Vu:ZG*^  
                                                                 CS7b3p!I  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ?veeW6E(  
    x+X@&S  
     2~kx3` Q  
                                                                 /Y #8.sr  
    VirtualLab Fusion技术   k=]e7~!  
    V<QpC5  
                                                             :_8K8Sa  
     g\q .  
     
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