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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 hy5[ L`B  
    ]%' AZ`8  
    u5(8k_7  
                                                             *VZ|Idp  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 /,Xl8<~#  
                                                                 >NRppPqL  
    建模任务                                                         J7`mEL>?  
    2?JV "O=  
     r7m~.M+W"  
    \#{PV\x:Nn  
    光栅元件   5?kfE  
    D@O `"2  
                                                             Ax;[Em?I  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ju"z  
    • FMM/RCWA 2B ]q1>a!  
    • Diffractive Lens Component 1qRquY  
                                                                 $ Habhw  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       h.jJAVPi  
    UerbNz|  
                                                         4b8G 1fm  
    l|P"^;*zq  
    正弦光栅-传输相位形态     q&3 ;e4  
    VI0wul~M  
                                                         i5VZ,E^E  
    D|:'|7l W  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         /eF@a!  
    2{-29bq  
     ?d7,0Ex P  
    KGz Nj%  
    正弦光栅-衍射效率 u_(~zs.N]  
    =&}@GsXdo  
                                                                 DX s an  
    cb}"giXQTB  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       "rv~I_zl  
    Eb8pM>'qM  
           _f1o!4ocx  
    2}hJe+#v  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   M3(N!xT  
                                           hyI7X7Hy  
    sg2;"E@  
                                                                 ^q:-ZgM>  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) hbw(o  
    =+zDE0Qs  
                                                               4&iQo'  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         #-/W?kD  
    iQ'*QbP'Z  
     YKyno?m  
     cS ~OxAS  
    闪耀光栅-衍射效率                                                          :Sq] |)  
    g6GkA.!X$  
     @N=vmtLP  
                                                                 cU1o$NRx  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         L5&M@YTH  
    `|dyT6V0I_  
     Br1R++]  
                                                                 uYh!04u  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         akj<*,  
    osW"wh_  
     TZn 15-O  
                                                                 oaIk1U;g  
    VirtualLab Fusion技术   @!8aZB3odt  
    /9`4f"  
                                                             cD!,ZL  
    HW@wia  
     
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