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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10小时前
    摘要 T}zOM%]]  
    Ok,hm.|  
    [jY_e`S  
                                                             Yr0%ZYfN  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 Ypp>7J/  
                                                                 j:fL_1m  
    建模任务                                                         V-)q&cbW]q  
    0chBw~@*s  
     M~^|dR)D  
    ]xFd_OHdb  
    光栅元件   44cyD _(  
    :vm*miOF  
                                                             =>ignoeI  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: I|08[ mO  
    • FMM/RCWA UoBu0Rx  
    • Diffractive Lens Component "&>$/b$  
                                                                 <<[`;"CF  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       OI1&Z4Lx  
    IV!&jL  
                                                         z m_mLk$4H  
    6\ (\  
    正弦光栅-传输相位形态     x! Z|^q  
    S3.Pqp_<  
                                                         ;i\i+:=  
    3'IF? ](]U  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         s%I) +|  
    /}(w{6C  
     Azu$F5G!n  
    ?7(`2=J  
    正弦光栅-衍射效率 A LKU  
    _g 3hXsA  
                                                                 F~&bgl[YZ  
    /\OjtE  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ~%>ke  
    BgUf:PT  
           _0ep[r  
    >^kRIoBkg  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ax,%07hJ  
                                           >f74]J=V  
    ^!?W!k!:V  
                                                                 1VH7z  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) *7`;{O  
    P**h\+M>{  
                                                               1 1O^)_|c  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         %Q]m6ciAM  
    5Z1b9.;.,  
    a%V6RyT4qW  
     3~%9;.I3!  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         K+2<{qwh  
    eG=Hyc  
     w%KU@$  
                                                                 p^MV< }kk  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         e@w-4G(;  
    !S$LRm\ '  
     Jvgx+{Xu  
                                                                 aF]4%E  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         .\".}4qQ  
    *FmY4w  
     ?45bvkCT  
                                                                 nj]l'~Y0  
    VirtualLab Fusion技术   2mRm.e9?  
    criOJ-  
                                                              MV'q_{J  
    s\@RJ[(<  
     
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