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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 :4 j a@~  
    A~SL5h  
    j/H>0^  
                                                             *:\:5*SY  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 \\S/ NA  
                                                                 9q1HSJ1)  
    建模任务                                                         {N!E5*$Tr  
    3vdu;W=Sz  
     rFmKmV  
    StU  4{  
    光栅元件   =#i4MXRZ{  
    X,TTM,1w  
                                                             =.36y9Mfo  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: kmlG3hOR,  
    • FMM/RCWA a)!![X?\  
    • Diffractive Lens Component .tRr?*V|l  
                                                                 ?P""KVp o  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       <0u\dU  
    /m `}f]u  
                                                         6<x~Mk'u)  
    EBoGJ_l  
    正弦光栅-传输相位形态      8]q  
    H2qf'  
                                                         Oj4v#GK]  
    5Vp;dc  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ?YF${  
    b TLMd$  
     )0#j\ B  
    (O\U /daB  
    正弦光栅-衍射效率 @$qOW  
    '|l%rv  
                                                                 +|y*}bG  
    #D+7TWDwNt  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       %#~((m1  
    I=K!)X$  
           eV"!/A2:N5  
    bIgh@= 2  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   r&}(9Cq&"y  
                                           ,E\h!/X  
    25 CZmsg  
                                                                 XJqTmj3   
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) IY=/` g  
    `79[+0hL'  
                                                               XC[]E)8  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         T~BA)![  
    &&=[Ivv  
    )Im3'0l>  
     #/Ruz'H1>  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         #j;Tb2&w  
    ]' Y|N l  
     ? ^M /[@  
                                                                 {esJ=FV\  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         WRW WskP  
    JVtQ ,oZ  
     s~*}0-lS  
                                                                 /F.Wigv  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         E<tK4?i"  
    lVz9k  
      qve ./  
                                                                 "#yJHsu]  
    VirtualLab Fusion技术   j~;;l!({i  
    ~9\$5n)a  
                                                             Mi+H#xx16  
    &(EHq  
     
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