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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 \ZU1J b1c  
    u8GMUN  
    26vp1  
                                                             @&|l^ 1  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ~{,X3-S_H  
                                                                 j hbonuV_  
    建模任务                                                         ?';OD3-  
    R:Q0=PzDi#  
     *^%Q0mU[  
    DwHF[]v'  
    光栅元件   mE%$HZ}  
    )B,|@ynu  
                                                             @f]{>OS  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: y\dEk:\)  
    • FMM/RCWA L@`ouQ"sa  
    • Diffractive Lens Component Bw%Qbs0Q  
                                                                 B/~%h|  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       z4M9M7)"  
    U8qtwA9t  
                                                         @Z>ZiU,^  
    Tou/5?# %e  
    正弦光栅-传输相位形态     ;{h CF  
    r}[7x]sP  
                                                         M" ^PW,k  
    Um#Wu]i  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ^uv<6  
    _=CZR7:O  
     FFdBtB  
    oF(Lji?m  
    正弦光栅-衍射效率 w?kJ+lmOQy  
    M@0;B30L  
                                                                 ok|qyN+  
    ZaNQpH.  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       -'~ LjA(  
    ,|&9M^  
           x#Sqn#  
    ]Oq[gBL"A  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   KM^ufF2[  
                                           i[wb0yL  
    .tD*2  
                                                                 RV@*c4KvO+  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) C z\Ppq  
    UTXSeNP  
                                                               vWGwVH/K  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         o=0]el^A  
    `ZC<W]WYX/  
    */|BpakD<  
     Y nLErJ  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Q7W>qe%4  
    7jdb)l\p=  
     M)SEn/T-  
                                                                 OpHsob~  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         XQw>EZdj_N  
    N<~ku<nAU  
     "~'b  
                                                                 6Fe34n]m  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         pR~U`r5z  
    i':C)7  
     qgfi\/$6  
                                                                 eUg~)m5G  
    VirtualLab Fusion技术   i[ mEi|  
    G;YrF)\  
                                                             R=jI?p  
    yj\Nkh  
     
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