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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 r081.<  
    095Z Z20  
    M8' GbF=1  
                                                             hNJubTSE+)  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 B[6y2+6$0  
                                                                 -_|U"C$  
    建模任务                                                         ZU-vZD>  
    h"+|)'*n  
     `}9jvR5  
    4XL]~3 c  
    光栅元件   By-A1|4Cp`  
    d|(@#*{T]  
                                                             J+6bp0RIh  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: `(7HFq<N  
    • FMM/RCWA F`\7&'I  
    • Diffractive Lens Component /5c;,.hm1R  
                                                                 *~%# =o  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ^l"  
    Q:~>$5Em5  
                                                         H+ Y+8   
    !@[@xdV  
    正弦光栅-传输相位形态     ROB/#Td  
    @`6db  
                                                         cfEi]  
    3d@$iAw1<  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         w$5#jJX\  
    [J.-gN$X@  
     Z#lZn!EbK  
    cp7Rpqg  
    正弦光栅-衍射效率 <_"^eF+fZ  
    3bp'UEF^k  
                                                                 3Vj,O?(Z  
    $'2yPoR  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ,TAzJ  
    AK*F,H9  
           4d*=gy%  
    ywRw i~  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ?!J{Mrdn  
                                           qs]7S^yw  
    C r~!N|(  
                                                                 'h&"xXv4|  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @Gj|X>0  
    3K57xJzK  
                                                               Uxq9H  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !?7c2QRN  
    _lE0_X|d  
    n"1LVJN7  
     }I\hO L  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         KF"&9nB  
    C?3?<FDL  
     2vit{  
                                                                 |oSx*Gh  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         tDl1UX  
    JPX5Jm()  
     [CU]fU{$  
                                                                 wY`yP!xO  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         tp,e:4\ 8Q  
    xJ|3}o:,  
     'Zdjd]  
                                                                 3UIR^Rh+  
    VirtualLab Fusion技术   o1"MW>B,4  
    >!vb;a!  
                                                             ",\,lqV  
    5 ap~;t  
     
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