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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 hlvt$Jwq  
    <Y 4:'L6  
    L;_c|\%  
                                                             G@!z$  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ocwG7J\W  
                                                                 q^8EOAvnZ  
    建模任务                                                         7>o .0  
    Q^}%c U0  
     fLN!EDq  
    Kj=gm .  
    光栅元件   1,2EhfX|s  
    '/0#lF  
                                                             Qz<d~ N  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: -y) ,Y |  
    • FMM/RCWA VCNT4m  
    • Diffractive Lens Component Eu@5L9A  
                                                                 ,7]k fB  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       1F[L"W;r  
    q)u2Y]  
                                                         [c K^+s)N  
    i;\s.wrzH  
    正弦光栅-传输相位形态     -P=g3Q i  
    $X`y%*<<v  
                                                         A)n W  
    n_[i0x7#  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         P=AS>N^yaL  
    hPm>tV2X  
     }6RT,O g  
    /%x7+Rl\-^  
    正弦光栅-衍射效率 KM?1/KZ/~  
    KV!<Oq  
                                                                 YZ#V#[j'^  
    "vF MSY  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       A Ayv  
    n/e BE q  
           !jX4`/n2  
    'aJgLws*w  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   PY\PUMF>  
                                           Q}%tt=KD  
    2F_ R/{D  
                                                                 SDJH;c0   
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) A//?6O Jx?  
    8Vl!|\x5  
                                                                |qcD;  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         qV1O-^&[f=  
    S*W;%J5  
    jrJR1npB  
     s PYX~G&T  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         D=?{8'R'  
    =6nD0i 9+  
     ^t. W|teD  
                                                                  I?Y d   
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         oVkq2  
    uF(k[[qaiN  
     ,4F,:w  
                                                                 6k0^x Q  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         /"AvOh*  
    j\)H  
     x/TGp?\g  
                                                                 CDg AGy  
    VirtualLab Fusion技术   zok D:c  
    "ORzWnE4U  
                                                             LVtu*k   
    _g|acBF  
     
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