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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 F/ 2@%,2n  
    fOJk+? c  
    *jGB/ y  
                                                             [{N i94:d  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 KoiU\r  
                                                                  wxsJB2  
    建模任务                                                         F^_d8=67h  
    EVNTn`J_  
     s8}:8  
    *x`z5_yfO  
    光栅元件   Zqd&EOm  
    "Na9Xea  
                                                             l}335;(  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: :tdx:  
    • FMM/RCWA 3`TC*  
    • Diffractive Lens Component 84 b;G4K  
                                                                 `NXyzT`:K  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       vPmP<c)cb  
    #"ayq,GC<  
                                                         \bQ|O7s  
    oF.Fg<p (  
    正弦光栅-传输相位形态     kBIF[.v(\  
    #1hT#YN  
                                                         'nP'MA9b;a  
    7zr\AgV9  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         |{PQ0DS  
    D\(,:_ge  
     l4U& CA y  
    1?(BWX)7  
    正弦光栅-衍射效率 VT3Zo%Xx  
    @[=*w`1  
                                                                 M=yZ5~3  
    KyXgw  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       dr~MyQ  
    J}jK_  
           .~v~~VL1NS  
    -J[zJ4z #  
    正弦光栅—选定周期的相位形态    =e$ #m;  
                                           Q)#<T]~=  
    -B4uK  
                                                                 P|h<|Gcp  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) :m#vvH  
    L!S-f4^5  
                                                               pC8(>gV<h  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         :U)e 8  
    ivoPl~)J  
    82$By]Y9  
     H7Y}qP5X  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         h4?+/jk7  
    &tWWb`  
     V]q{N-Iq  
                                                                 iM8hGQ`  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         '0t j2  
    $)n{}8^  
     dC(6s=4  
                                                                 n:wn(BC3  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         iS=T/<|?  
    S<Q1 &],  
     44%H? ,d  
                                                                 Y\+^\`Tqu  
    VirtualLab Fusion技术   7]nPWz1%*  
    jb7=1OPD_  
               g!~j Wn?A  
     
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