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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 Z]tz<YSkG  
    .eE5pyw+C  
    Nx99dr  
                                                        
    4T:ZEvdzf  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 LE;c+(CAU  
                                                                 %X3T<3<  
    建模任务                                                         7$'ja  
    r* U6govky  
    GB#7w82  
    L,i-T:Z~=  
    光栅元件   0^+W"O  
    {?8rvAj Y  
                                                        
    B-RaAiE@  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: iY="M_kQ_  
    • FMM/RCWA R$q:Ct  
    • Diffractive Lens Component %vW@_A~  
                                                                 ek9%Xk8  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       9I,Trk@&  
    8g3 6-8  
                                                    
    j0J6ySlY  
    /#tOi[0[  
    正弦光栅-传输相位形态     `!i>fo~  
    ~%]+5^Ka]  
                                                    
    (j(6%U  
    [Mx+t3M  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         7j^,4;  
    +p2)uXqW  
    Hxjh P(  
    qg_=5s  
    正弦光栅-衍射效率 %NvY~,  
    (UCWSA7oc  
                                                            
    +7=3[K  
    i]P]o)  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       7>#74oy  
    #(OL!B  
      
    ZPXxrmq%  
    Hg]r5Fe/c  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   =7a9~&|  
                                      
    GE|V^_|i  
    =cxjb,r  
                                                                 @>:r'Fmu-  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Kg 56.$  
    HJDM\j*5  
                                                          
     0y?bwxkc  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         >y5~:L  
    yJ?6BLJi  
    cf96z|^C  
    vForj*Xo  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         )<%GHDWL  
    "lB[IB)  
    PAJt M  
                                                                 |(]XZ!{  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         WmeV[iI  
    8RB\P:6h  
    " 5=Gu1  
                                                                 d4~!d>{n|c  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         F&^u1RYz  
    3>ytpXUEGx  
    }5`Kn}rY  
                                                                 -GH>12YP  
    VirtualLab Fusion技术   q>t#5Z81  
    m)V%l0  
          
    T)MKhK9\Ab  
     
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