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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10小时前
    摘要 gky+.EP.  
    QLH!>9Ch  
    EXMW,  
                                                             u*f`\vs  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 !YPwql(  
                                                                 H#i,Ve '  
    建模任务                                                         '_b3m2I.G  
    s"@}^ )*}  
      5@DCo  
    i?ZVVE=r  
    光栅元件   2?Y8hm  
    + -uQ] ^n  
                                                             et2;{Tb,5  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 3! #|hI>f  
    • FMM/RCWA mqHcD8X  
    • Diffractive Lens Component Sg$\H  
                                                                 ClY`2  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Zs(BViTb|  
    XV/7K "  
                                                         |}L=e.  
    R?zlZS.~  
    正弦光栅-传输相位形态     &?@[bD'T  
    @0]w!q  
                                                         !E&l=* lM.  
    \=D+7'3  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Fv7]1EO.  
    [[HCP8Wk   
     9N `WT=  
    F!3p )?  
    正弦光栅-衍射效率 ~5&B#Sm[G  
    oP`:NCj\9  
                                                                 L[ZS17 ;*  
    T$`m!mQ4  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       `*cqT  
    ;O1jf4y  
           xT+#K5  
    v-N4&9)%9  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   /lbj!\~  
                                           e`co:HO`#  
    tmOy"mq67  
                                                                 -.r"|\1X  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) $@@ii+W}\  
    CuK>1_Dq  
                                                               KTt+}-vP^  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         %X's/;(Lx`  
    %3*|Su%uC  
    cpl Ny?UIC  
     k>F!S`a&m  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         w>8HS+  
    sZ~03QvkT  
     KAXjvZN1  
                                                                 SOE-Kio=B  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         $3B%4#s  
    g0"xG}d  
     z:Tj0< A'  
                                                                 _p0gXb1m`  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         q6N{N>-D  
    yZ 7)|j  
     gaQ E'qp>  
                                                                 |JR`" nF`  
    VirtualLab Fusion技术   >?OUs>}3y2  
    +L"F]_?  
               fPHV]8Ft|  
     
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