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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 nDo|^{!L`  
    #z~oc^J^T  
    5eU/ [F9  
                                                             -y AIrvO1q  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 !bY{T#i)k  
                                                                 *GDU=D}  
    建模任务                                                         t3WlVUtq3  
    JxWHrsh[  
     ywdNwNJ  
    }s|v-gRM{  
    光栅元件   o60wB-y  
    +Q '|->#  
                                                             X >**M  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: zz9.OnZ~  
    • FMM/RCWA k^L (q\D  
    • Diffractive Lens Component TwkzX|  
                                                                 6SmSu\lgV  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       *?8Q:@:  
    V?gQ`( ,  
                                                         #A/jGv^  
    X}Csl~W8in  
    正弦光栅-传输相位形态     J2R<'(  
    UFl*^j_)]  
                                                         h>n;A>k@N  
    x O)nS _I  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         Jk~T.p?tF  
    8O7JuR  
     SAoqq  
    j4l7Tx  
    正弦光栅-衍射效率 wVPq1? 9  
    e^FS/=  
                                                                 4*54"[9Hr#  
    ,aN/``j=  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       x?%vqg^r  
    W t8 RC  
           'Hg(N?1"  
    <wuP*vI "h  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   kSJWQ  
                                           $""[( d?0  
    %mq]M  
                                                                 &x;nP6mV  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) h{! @^Q  
    PaZFM  
                                                               s9Xeh"  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         "[8](3\v  
    cVz.ac  
    ?;*mSQA`J  
     55;xAsG  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         $v^F>*I1  
    ,4\vi|  
     p7k0pSt  
                                                                 e88JT_zrO  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         :?S2s Ne2  
    *L^{p.K4  
     I8[G!u71)_  
                                                                 :4WwCpgz,  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         W w8[d  
    >Z3}WMgBN  
     uwIZzz  
                                                                  =HSE  
    VirtualLab Fusion技术   )jH"6my_  
    ]y(#]Tw\  
               T&!>lqU!J  
     
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