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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 11小时前
    摘要 YNWAef4  
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    [[9XqD]  
                                                             BX6]d:S  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 k6W  [//  
                                                                 <{b#nPc!,#  
    建模任务                                                         Xu#K<#V  
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    光栅元件   0`l(c  
    G[!Y6c 3  
                                                             Na2n4x!  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: K=X13As_  
    • FMM/RCWA m;"dLUb  
    • Diffractive Lens Component gay6dj^  
                                                                 M4(`o^n  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       yu] nK-Y7S  
    l:rT{l=8*  
                                                         q(cSHHv+  
    h$eVhN &Vv  
    正弦光栅-传输相位形态     7BDoF!kCx  
    ![#>{Q4i  
                                                         - Ado-'aaS  
    -R-|[xN  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         .ITR3]$  
    .~Z@y#  
     t=$Hv  
    QUU'/e2^c  
    正弦光栅-衍射效率 #GT4/Ej}W  
    F-2&P:sjQ  
                                                                 Swg%[r=p=  
    "G3zl{?GP  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       l&1R`gcW  
    ^`XTs!.  
           O'} %Bjl  
    z4 yV1  
    正弦光栅—选定周期的相位形态    zL,B?  
                                           17{$D ,P  
    ($ l t@j  
                                                                 )0W-S9e<  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ,>Lj>g{~  
    4BgrG[l)  
                                                               IJt8 * cw  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         nY[]k p@  
    8bIwRVA2\  
    M;Dk$B{;R  
     iCrLZ" $M  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         g`BtG  
    BCtm05  
     \P` mV9P  
                                                                  + Y  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         AT%@T|  
    j >wT-s  
     wpLC,  
                                                                 L)Iv] u  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Q7-d]xJ^  
    y! lEGA7  
     2l9RU}  
                                                                 ;.<0lnV  
    VirtualLab Fusion技术   T8ftBIOi  
    X^;LiwQv  
               f\~OG#AaX  
     
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