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摘要 !JwR[X\f R-Z)0S'ZR
$%3%&+z$I k iY1 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 MvlqxJ$ X~g~U|B@ 建模任务 ywbdV-t/ 2xpI|+a%
H_ 7E K A]s|"Pav, 光栅元件 WQYw@M~4Q! m2PI^?|e
N/N~>7f 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: S8)6@ECC • FMM/RCWA zM|Y
X< • Diffractive Lens Component ,9~2#[|lq Vqxxm&^P 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) ~myY-nEY 5'[b:YC
p6W|4_a? nHF%PH#|o 正弦光栅-传输相位形态 2umgF X< p KAO\
5X,|Pn _tQR3I5 正弦光栅-传输相位形态 'P3jUc) {:c5/
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m- jS| 9jg: 正弦光栅-衍射效率 (E]q>'X pt=H?{06
^s?=$&8f![ 0hM!#BU5K 正弦光栅-效率vs. 周期 C0 %yGLh& wj<fi
m>ApN@n Iju9#b6 正弦光栅—选定周期的相位形态 swLrp
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