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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 u,oxUySeG  
    R HF;AX n  
    w*bVBuX s  
                                                             '#q"u y  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 2%WZ-l!i  
                                                                 Ke,-8e#Q  
    建模任务                                                         #0^Q UOp  
    %DRDe  
     ;tKL/eI  
    R~c(^.|r  
    光栅元件   (EohxLl!p  
    5^%^8o  
                                                              H) (K  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: gXf_~zxS  
    • FMM/RCWA \,(tP:o  
    • Diffractive Lens Component ~oaVH.[e=  
                                                                 2TAy'BB;)  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       d$Mj5wN:q  
    SX F F  
                                                         Ufo- AeQo  
    pp{%\td  
    正弦光栅-传输相位形态     h]'fX  
    MvRuW:  
                                                         T!;<Fy"p  
    *X<De  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         s )To#  
    Rx'7tff%I  
     s:fnOMv "  
    FyY;F;4P  
    正弦光栅-衍射效率 h eh! cDK  
    VD=$:F]  
                                                                 q].C>R*ux8  
    V<d'psb 6  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       2QBtwlQ?[  
    .b]oB_  
           &0ULj6jj  
    }  g  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   DPe`C%Oc1  
                                           :F<a~_k  
    C{>?~@z&5  
                                                                 E+3~w?1  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) GZ4{<QG  
    )s^XVs.-  
                                                               >#8`Zy:/Y  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         | _S9U|  
    a~{St v  
    pkM32v-  
     -> <_J4  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         /\\C&Px  
    vhUuf+P*  
     B! -W765Y  
                                                                 g.9MPN  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         A"P1 B]  
    OPjscc5  
     ( /N`Wu  
                                                                 ({i|  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         d&U;rMEv  
    m<076O4|`  
     oiR` \uY  
                                                                 _wqFKj  
    VirtualLab Fusion技术   Y< M}'t  
    Rdv"Aj:  
               9GQTe1[t4  
     
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