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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 !JwR[X\f  
    R-Z)0S'ZR  
    $%3%&+z$I  
                                                        
    k iY1  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 Mvlqx J$  
                                                                 X~g~U|B@  
    建模任务                                                         ywbdV-t/  
    2xpI|+ a%  
    H_7EK  
    A]s|"Pav,  
    光栅元件   WQYw@M~4Q!  
    m2PI^?|e  
                                                        
    N/N~>7f  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: S8)6@ECC  
    • FMM/RCWA zM|Y X<  
    • Diffractive Lens Component ,9~2#[|lq  
                                                                 Vqxxm&^P  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~myY-nEY  
    5'[b:YC  
                                                    
    p6W|4_a?  
    nHF%PH#|o  
    正弦光栅-传输相位形态     2umgF  
    X< p KAO\  
                                                    
    5X,|Pn  
    _tQR3I5  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         'P3jUc)  
    {:c5/ ,7c;  
    ^;a~_9 m-  
    jS| 9jg:  
    正弦光栅-衍射效率 (E]q>'X  
    pt=H?{06  
                                                            
    ^s?=$&8f![  
    0hM!#BU5K  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       C0%yGLh&  
    w j<fi  
      
    m>ApN@n  
    Iju9#b6  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   swLrp 74  
                                      
    yw+LT,AQ.  
    q=`i  
                                                                 8t >nL  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) .*Ylj2nM  
    8zzY;3^h;  
                                                          
    {>n\B~*,"C  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         GX ;~K  
    h3t);}Y}D9  
    /m CE=  
    'CA{>\F$F+  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         #l#8-m8g)  
    u+5MrS [  
    u@pimRVo  
                                                                 QSSA)  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Lv m"!!  
    =a^}]k}  
    GY wU3`{  
                                                                 ?Es(pwJB  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         6tF_u D  
    X_aC$_b  
    cogIkB&Ju  
                                                                 kmT5g gy  
    VirtualLab Fusion技术   Z|$M 9E  
    _T\cJcWf  
          
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