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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 YaU A}0cW  
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    FQyiIT6  
                                                             D }\`5L<  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 v6:DA#0  
                                                                 \w3wh*  
    建模任务                                                         d\v _!7  
    >@"j9  
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    光栅元件   N+\*:$>zt6  
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                                                             RjDFc:bB  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 1 .M?Hp9i  
    • FMM/RCWA nTAsy0p]  
    • Diffractive Lens Component pqe**`z@y  
                                                                 X'c5s~9  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       [3.rG!Na  
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                                                         $spf=t"nh  
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    正弦光栅-传输相位形态     (GQy"IuFh  
    4Qv|Z+$i  
                                                         W.a/k7 p  
    ^6*? a9jO>  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ' |Oi#S  
    GYYro&aq{  
     h@J`:KO  
    Z|W=.RdA;  
    正弦光栅-衍射效率 x\jHk}Buj  
    ,w6?} N  
                                                                 a5'QL(IX  
    rnr7t \a~]  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       bYtF#Y   
    ]HRZ9oP  
           `# R$  
    h+Dok#g  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   8X%;29tow  
                                           ?d %_o@  
    NB^.$ 3 9n  
                                                                 Cdv TC`~,  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) qSQjAo4t@  
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                                                               )6(mf2&  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         zm e:U![  
    z+ 4R[+[  
    B0Z@ Cf  
     4nY2v['m0  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         p;@PfhEz)  
    $d"6y  
     '~@WJKk  
                                                                 ecHy. 7H  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         (p. 5J  
    78X;ZMY  
     xWDwg@ P  
                                                                 L+,{*Uj[;  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         G67BQG\av  
    -B_dE-l,  
     u4S3NLG)  
                                                                 A$5T3j'  
    VirtualLab Fusion技术   :>,d$f^tqE  
    V=YK3){>A  
               H(pOR< `  
     
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