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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 )ZGYhE  
    dFQ o  
    {AOG"T&<  
                                                             bFg*l$`5  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ^IBGYl5n  
                                                                 OB~C}'^$  
    建模任务                                                         ]}kI)34/  
    Va7c#P?  
     P+h6!=nD7  
    Y+g,pX  
    光栅元件   Y]N~vD  
    +'|{1gB  
                                                             B/mYoK  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: GM](=|F  
    • FMM/RCWA :r&iM b:Ra  
    • Diffractive Lens Component L\YKdUL  
                                                                 1HhX/fpq  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       }!8nO;  
    7{pIPmJ  
                                                         #$FrFU;ZR  
    i'HPRY  
    正弦光栅-传输相位形态     1 tPVP  
     R:~(Z?  
                                                         7:>sc]Z  
    p* RC  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         y;nvR6)  
    Yt+h2ft!  
     o@9+mM"B)  
    l-}KmZ]  
    正弦光栅-衍射效率 6PU/{c  
    II;Te7~  
                                                                 "(,2L,Zh  
    k#C f})  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       GRT] aw  
    ,}0$Tv\1  
           /kB|1gFj  
    CvK3H\.&;k  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   w2{g,A|  
                                           Z~p!C/B  
    Fu7M0X'p  
                                                                 '^iUx,,ZQ  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) E ] B7  
    Hz@h0+h  
                                                               #6=MKpR  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         uvnI>gv  
    bb;(gK;F  
    M-J<n>hl  
     *}cSE|S%  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         F_=1;,K%  
    OQp, 3 M{_  
     &nY;=Hv`WY  
                                                                 &gn-Wb?  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         =gjDCx$|  
    :et#0!  
     8#X_#  
                                                                 _?`&JF?*  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         + P7o4]:/  
    JoZ(_Jh%m  
     Qz,|mo+  
                                                                 hJ*Ihwn|  
    VirtualLab Fusion技术   @;iXp>&&  
    !_~UvxM+  
               G:IP? z]  
     
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