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摘要 Jg:-TK/
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(U_Q7hja? qDM[7q3. 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 `yAo3A9vk QYgN39gp 建模任务 XO#)i6}G )$B+3f
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0RfovJ 光栅元件 ?@?a}
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DME?kh>7 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: o0G`Xn • FMM/RCWA <j\;>3Q • Diffractive Lens Component uX +<`3O 9S%gVNxn 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) 1=Zw=ufqV \( <{)GpBi
WKl' RQCQGa^cP 正弦光栅-传输相位形态 +n[wkgFd Sz|CreFK16
J,G9m4Z7 IZ0$=aB7 正弦光栅-传输相位形态 X8
)>}#: h+3Z.WKhwP
fq'Xy9L AC:s4iacC 正弦光栅-衍射效率 ` G=L07 'ZH<g8:=@
Tn0l|GRuZA W)!{U(X 正弦光栅-效率vs. 周期 %s2"W~ / =m9s
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8L2 k!/_/^{ 正弦光栅—选定周期的相位形态 46Q;F V$<G)dwUG5 S"^KJUUc ]KK ZbEO 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) |SP.S 0.y GoSWH2N
zrU$SWU 闪耀光栅-传输相位形态 s`iNbW=" Sq|1f?_gU _'hCUXeY' @=0r3 闪耀光栅-衍射效率 VuMDV6^Z 2 Z`$
6G<Hi"I Sd\IGy{a 闪耀光栅-效率vs.周期 R_Gq8t$ 8<-oJs_o+
aT1CpY=T|. 7#9'2dI 闪耀光栅-选定周期相位形态 rZ.a>'T4 d0A\#H_&
`,-hG UiK+c30FU VirtualLab Fusion技术 :Q
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