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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 Jg:-TK/  
     nvPE N  
    (U_Q7hja?  
                                                        
    qDM[7q3.  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 `yAo3A9vk  
                                                                 QYgN39gp  
    建模任务                                                         XO#)i6}G  
    )$B+ 3f  
    tb0E?&M  
    U 0RfovJ  
    光栅元件   ?@?a}  
     <%D"eD  
                                                        
    DME?kh>7  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: o0G`Xn  
    • FMM/RCWA <j\;>3Q  
    • Diffractive Lens Component uX +<`3O  
                                                                 9S%gVNxn  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       1=Zw=ufqV  
    \( <{)GpBi  
                                                    
    WKl'  
    RQCQGa^cP  
    正弦光栅-传输相位形态     +n[wkgFd  
    Sz|CreFK16  
                                                    
    J,G9m4Z7  
    IZ0$=aB7  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         X8 )>}#:  
    h+3Z.WKhwP  
    fq'Xy9L  
    AC:s4iacC  
    正弦光栅-衍射效率 ` G=L07  
    'ZH<g8:=@  
                                                            
    Tn0l|GRuZA  
    W)!{U(X  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       %s2"W~  
    /=m9s  
      
    tOg 8L2  
    k!/ _/^{  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   46Q; F  
                                      
    V$<G)dwUG5  
    S"^KJUUc  
                                                                 ]KK ZbEO  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) |SP.S 0.y  
    GoSWH2N  
                                                          
    zrU$SWU  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         s`iNbW="  
    Sq|1f?_gU  
    _'hCUXeY'  
    @=0r3  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         VuMDV6^Z  
    2Z`$  
    6G<Hi"I  
                                                                 Sd\IGy{a  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         R_Gq8t$  
    8<-oJs_o+  
    aT1CpY=T|.  
                                                                 7#9'2dI  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         rZ.a>'T4  
    d0A\#H_&  
    `,-hG  
                                                                 UiK+c30FU  
    VirtualLab Fusion技术   :Q r7:$S^  
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