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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 t<s:ut)Q!  
    ZLw7-H6Fh  
    m-9{@kgAM?  
                                                             ZRN*.  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 (]7&][  
                                                                 M&o@~z0  
    建模任务                                                         Lsa&A+fru  
    UUi@ U  
     xp-.,^q\w  
    Z ? `  
    光栅元件   dYV'<  
    S\=j; Uem  
                                                             ?;Dh^mc  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ^*(*tS|M  
    • FMM/RCWA 17g\XC@ Cl  
    • Diffractive Lens Component I@IZ1 /J,r  
                                                                 A8 V7\  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       D# |+PG7  
    1sx@Nvlb  
                                                         ): HjpJvF  
    (8DJf"}  
    正弦光栅-传输相位形态     8sb<$M$c  
    ,>%2`Z)  
                                                         j f25Ky~  
    Y/cnj n  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         <y#-I%ed  
    JW[y  
     6)63Yp(  
    >PdYQDyVS  
    正弦光栅-衍射效率 C-!!1-Eq?:  
    L&V;Xvbu%  
                                                                 B1dVHz#  
    ?HwW~aO  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Y"~Tf{8  
     eX7dyM  
           /RD@ [ 8  
    Za68V/Vj  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   F:nhSd  
                                           c\"t+/Z  
    zUX%$N+w}>  
                                                                 KwGk8$ U  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) f P'qUN  
    cQ( zBf  
                                                               I&JVY8'  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         A9Cq(L_H  
    y+b4s Ff  
    {A2EGUmF2  
     `o~ dQb/k+  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         zbQ-l1E  
    -*xm<R],  
     7|4t;F!  
                                                                 J2A+x\{<  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         { FVLH:{U^  
    mS?.xu  
     reo  
                                                                 ~)>O=nR  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         _,*ld#'s  
    Ik[aiz  
     DmDsn  
                                                                 I5EKS0MQ!  
    VirtualLab Fusion技术   7ux0|l  
    0($@9k4!/  
               >6fc` 3*!  
     
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