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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 QjehDwt|  
    IES41y<  
    /]pX8 d  
                                                             j~X j  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 +[>y O _}  
                                                                 *Ro8W-+  
    建模任务                                                         & 8ccrw  
    @gs26jX~2}  
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    FrgW7`s[A  
    光栅元件   yBr$ 0$  
    GTT5<diw  
                                                             xWd9%,mDNR  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: (r.$%[,.<  
    • FMM/RCWA #Y/97_2 xa  
    • Diffractive Lens Component zfM<x,XdY  
                                                                 |3s.;w K  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       LBW.*PHW  
    E6,`Ld;c[  
                                                         Kh>?!` lL  
    Vww@eK%5Q  
    正弦光栅-传输相位形态     bv.EM  
    QBg}2.  
                                                         (k7;  
    Q,[rrG;?@  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         , LCH2r  
    R1]v}f_I"  
     ;m-6.AV  
    >l7eoj  
    正弦光栅-衍射效率 (2\li{$e  
    *O2^{ C  
                                                                 YR$tPe  
    U'JP1\  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       >VpP/Qf  
    X7'h@>R   
           QT7w::ht  
    z'5;f;  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   $K=K?BV[  
                                           TKj/6Jz|  
    FE$M[^1_  
                                                                 yVbg,q'?  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 44Seq  
    F?yh23&_4  
                                                               J>,'P^  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         34&u]4=L)  
    $bF`PGR_  
     ` 4s#5g  
     (.jO:#eE%  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         VZ9e~){xA  
    T>AI0R3  
     7)ES!C   
                                                                 G#_(7X&  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Y{x[N}h  
    "B_5Y&pM`  
     I1eb31<  
                                                                 bTA14&& q  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ~m,mvRS  
    +iZ@.LI  
     qiwQUm{  
                                                                 I(iGs I  
    VirtualLab Fusion技术   B=o#LL  
    T1g:gfw@  
               'tq\<y  
     
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