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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 >yP> ]r+  
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    cQThpgha  
                                                             Q$]1juqg  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 C6a-  
                                                                 oPaoQbR(A  
    建模任务                                                         Ank_;jo  
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    光栅元件   4xalm  
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                                                             0]'  2i  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 0Qvr g+  
    • FMM/RCWA 8?kB+}@6X  
    • Diffractive Lens Component Q{uO/6  
                                                                 iiJT%Zq`#  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       8,vP']4r%  
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                                                         /c-k{5mH%  
    7SYe:^Dx  
    正弦光栅-传输相位形态     |4j6}g\  
    #<m2Xo?d]  
                                                         . a @7  
    O_th/hl  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         wG)[Ik6:  
    Z> Rshtg  
     i(.PkYkaq  
    /`aPV"$M  
    正弦光栅-衍射效率 r^rk@W;[  
    pG)dF@  
                                                                 <^{(?*  
    = B;qy7?  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       :KG=3un]  
    R N@)nc_  
           Xg_l4!T_l  
    b.[9Adi >  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   _]Ob)RUVH  
                                           G@jx&#v  
    xnWezO_  
                                                                 mA,{E-T  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) .:Wp9M  
    `H*mQERb  
                                                               @RuMo"js  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         "o u{bKe  
    T9r6,yY  
    N:+EGmp  
     ls9Y?  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         3jJV5J'"  
    p*YV*Arv  
     B]gyj  
                                                                 +CSR!  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Tl-%;X<X  
    @t$yg$Q?[  
     zYdieE\-  
                                                                 E1Q#@*rX>  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         *tR'K#:&g!  
    3bo [34  
     d >zC[]1  
                                                                 3syA$0TZt  
    VirtualLab Fusion技术   OR|Jc+LT  
    $*_79F2zN  
               J[S!<\_!  
     
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