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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 mDE'<c`b4  
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    {vs 4vS6  
                                                             rkkU"l$v  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 /\ytr%7,'  
                                                                 _ `H.h6h  
    建模任务                                                         )h#]iGVN}  
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     K*~]fy  
    fX_#S|DlSG  
    光栅元件   W+_RhJ  
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                                                             j`O7=-  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: WvujcmOf  
    • FMM/RCWA  >1A*MP4  
    • Diffractive Lens Component dm6~  
                                                                 0o;O`/x  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       "NDxgJ%J35  
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                                                         ] /+D^6  
    qD#VbvRc9+  
    正弦光栅-传输相位形态     [QT 1Ju64  
    ({4]  
                                                         |g%mP1O  
    ` @8`qXg  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         h4/X 0@l`  
    hrbo:8SL  
     4[TR0bM%  
    QYQtMb,  
    正弦光栅-衍射效率 FXV`9uq}Z  
    )t:7_M3  
                                                                 2edBQYWd  
    RsW9:*R  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ,w{m3;]_%  
    XF|WCZUnY%  
           q_ %cbAcD  
    Gih[i\%Q  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   -I":Z2.fR  
                                           ahJ1n<  
    w(j^ccPD  
                                                                 >E:<E'L  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) N L'R\R  
    M"{uX  
                                                               H2;X   
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         e'2Y1h  
    fQ+\;iAU  
    #`;/KNp 9  
     #eK=  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ]JE TeZ^/  
    FB:<zmwR  
     aRJcSV  
                                                                 LZ U$  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         K>2#UzW  
    Kmz7c|  
     FJNF%a)x2I  
                                                                 ~]'pY  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         F7MzCZvu  
    T*~H m  
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                                                                 `zpbnxOL$T  
    VirtualLab Fusion技术   ]"~51HQZ  
    8FkFM^\1L  
               @kFu*"  
     
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