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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 v4e4,Nt  
    B}[CU='P*  
    2]kGDeSr  
                                                             ?|,:;^2l1  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 eipg,EI  
                                                                 F'MX9P  
    建模任务                                                         8SpG/gl"  
    !h1:AW_iz  
     0SvPr [ >  
    $e1.y b%  
    光栅元件   lEl.'X$  
    bci]"uzB  
                                                             LqYyIbsvf  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: E5i5gE"\  
    • FMM/RCWA *AV%=   
    • Diffractive Lens Component +TbAtkEF*  
                                                                 U4 *u|A  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       lU 62$2  
    5Pf=Uj6D  
                                                         * WV=Xp  
    J4ZHE\  
    正弦光栅-传输相位形态     R?u(aY)P  
    ' pgP QM<  
                                                         a4UwhbH  
    \ Bj{.jL  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         &|Wqzdo?#  
    %}(` ?  
     $y6 <2w%b  
    hDi~{rbmc  
    正弦光栅-衍射效率 /a*){JQ5j  
    PR5N:Bw  
                                                                 bN-!&Td  
    !Ew ff|v"  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       "dP-e  
    S?CT6moXA  
           Iuz_u2"C  
    (o*YGYC  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   PP{ 9Y Vr  
                                           7tWC<#  
    S3/%;=|  
                                                                 E"9(CjbQ[  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) <y8oYe_!  
    ntLEk fK{  
                                                               dV[G-p  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !`%j#bv  
    XfE0P(sE  
    /69yR   
     MO$y st?fK  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         z=KDkpV  
    #I?Z,;DI=  
     FB wG3x  
                                                                 1q(Qr h  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         2!0tD+B  
    Yw#fQFm  
     rX)&U4#[m  
                                                                 +z nlf-  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         K?J_cnJ`  
    C*ep8{B  
     }Q4Vy  
                                                                 G+N1#0,q  
    VirtualLab Fusion技术   b5H}0<  
    xI{fd1  
               {!D(3~MI  
     
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