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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 GX@W"y  
    j:e^7|.   
    u.kYp  
                                                             .i+* #djx  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 j|&DP-@g/  
                                                                 !/nx=vg p  
    建模任务                                                         &=-e`=qJ'6  
    $,;S\JmWP  
     kWs+2j  
    iTLW<wG  
    光栅元件   %Nm @f'  
    IypWVr   
                                                             k%l_N)38  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 3u4*ofjE5  
    • FMM/RCWA J`r,_)J"2  
    • Diffractive Lens Component %K^gUd>,R  
                                                                 whY~=lizn  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       kG$E tE#  
    >:jM}*dnL  
                                                         B`*f(  
    v_z..-7Dq+  
    正弦光栅-传输相位形态     v]:+` dV  
    ^`rpf\GX(  
                                                         {Z#e{~m#  
    Vd%v_Ek  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         n5v'  
    I7fb}j`/  
     ou'~{-_xd  
    F!gNt<fZ  
    正弦光栅-衍射效率 SE^j=1  
    zLsb`)!  
                                                                 V06CCy8n  
    !/j,hO4Z4  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       <)O >MI' 4  
    @~k5+Z  
           DH:GI1Yu>I  
    yB,{#nM>8  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   gB>imr#e&  
                                           g@~!kh,TH  
    UvxSMD:A  
                                                                 SyK9Is{8  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) Vd+td;9(  
    jzs.+dAg  
                                                               :n'yQ#[rn  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         (j' {~FB  
    /O|:{LQ  
    ~|r~NO 7[  
     I^~=,D  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         U4>O\sU  
    .,3Zj /  
     `)R?nV b   
                                                                 TUh&d5a9H  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         nPcS3!7B#  
    g(aZT#ii=  
     Hjs }  
                                                                 Q>.BQ;q]  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         (1CJw:  
    n*Q`g@`  
     Sd},_Kh  
                                                                 43zUN  
    VirtualLab Fusion技术   |G(1[RNu  
    *'D=1{WZ!  
               .xO _E1Ku;  
     
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