这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 M3c!SXx\
M>W-lp^3 .|[ZEXq 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 fmyyQ|]O" px;5X4U S偏振光照明的近场强度
hfT HP 
P偏振光照明的近场强度 D%GB2-j R
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 ivg:`$a[
}1E'a>^| 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 =67dpQ'y
/cHd&i,> PostProcess { t)P5bQ+$u9 OpticalImaging { Tap=K|b ]
InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" 5[l9`Cn&A OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" M:x?I_JG8 OpticalSystem { u=NpL^6s< SpotMagnification = 2.0 #-$\f(+< } fq(r,h=| }
EN6a?
}5
PkA_uDhw 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 ,0+%ji^V H%N!;Jz= 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
kx,9n) i(R&Q;{E^ 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)