这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同，但代替周期性排列的线，现在使用单线。因此，二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件，而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 8D
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vMJv.O>HW _X{i hf 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 |`9POl= Ip]-OVg S偏振光照明的近场强度
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P偏振光照明的近场强度 uzL)qH$b
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 /N+*=LIK
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在实验中，远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 m M"!=' z
M xUj7ae PostProcess { h Kb-l`KO OpticalImaging { )'(7E$d InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" % 'Ebm OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" $trvNbco OpticalSystem { siw }
}} SpotMagnification = 2.0 PgAC3%M6 } 9RwD_`D(MN } n=
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uiDK&@ R S 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置)，用于S偏振照明。 pZz?c/h- m\|I.BU G 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
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线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
