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    [技术]JCMsuite应用:孤立线栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-14
    这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 5t|$Yt[  
    ^UBzX;|p  
    z{/#/,V5D4  
    光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 @ 6*eS+t\  
    =.l>Uw!  
    S偏振光照明的近场强度
    f8-~&N/_R  
    P偏振光照明的近场强度 ?*6Q ;.f<  
    后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 xeKm} MN]S  
    S[{,+{b0  
    在实验中,远场通常由成像光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 ),H1z`c&I  
    E85TCS 1  
    PostProcess { -`$J& YU  
      OpticalImaging { loUZD=Ph  
      InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" 2OjU3z<J  
      OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" VVfTFi<  
      OpticalSystem { tMXNi\Bj  
        SpotMagnification = 2.0 TN<"X :x9  
      } }{mS"  
    } yv: Op\;R  
    u+c2 m  
    输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 NTSIClm}U  
    S5r.so  
    线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) &'Xgf!x  
    }?MbU6"  
    线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
     
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