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    [技术]JCMsuite应用:孤立线栅 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-14
    这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 #$C]0]|  
    hdqls0 r  
    H{zuIN/.1  
    光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 l:,UN07s  
    )nxIxr0d-  
    S偏振光照明的近场强度
    2e@\6l,!^  
    P偏振光照明的近场强度 (w B[ ]O$@  
    后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 #%tL8/K*  
    o`! :Q!+  
    在实验中,远场通常由成像光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 6WcbJ_"mq  
    #e269FwN  
    PostProcess { 5mVu]T`  
      OpticalImaging { nqJV1h  
      InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" >&Q. .`q  
      OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" yP]W\W'  
      OpticalSystem { ',7Z1O  
        SpotMagnification = 2.0 Q9zpX{JT  
      } zN JyF;3  
    } v("vUqhx2+  
    G{=$/&St  
    输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 }0),b ?*e  
    6ng g*kE<  
    线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波) 08jQq#  
    &uW.V+3  
    线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
     
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