这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 #$C]0]|
hdqls0 r H{zuIN/.1 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 l:,UN07s )nxIxr0d- S偏振光照明的近场强度
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P偏振光照明的近场强度 (w
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后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 #%tL8/K*
o`! :Q!+ 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 6WcbJ_"mq
#e2 69FwN PostProcess { 5mVu]T` OpticalImaging { nqJV1h InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" >&Q. .`q OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" yP]W\W' OpticalSystem { ',7Z1O SpotMagnification = 2.0 Q9zpX{JT } zNJyF;3 } v("vUqhx2+
G{=$/&St 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 }0),b ?*e 6ng g*kE< 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
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线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)