这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 drh,=M\F
1owe'7\J P B"nf|pm 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 ;Wig${ ,Zb_Pu S偏振光照明的近场强度
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P偏振光照明的近场强度 SaiYdJ
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 G[\3)@I
l8RKwECdPn 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 1L<X+,]@
q]OgT4ly PostProcess { G|)fZQ1nS OpticalImaging { \zV'YeG InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" );L +)UV OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" mM-7
jz OpticalSystem { N A9ss SpotMagnification = 2.0 'T*h0xX } bXK$H=S Bz } 8|-064i>
P*9L3R*=N 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 Pc=:j( l#;o^H i 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
}R)A%FKi@ uG7ll5Yy 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)