这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 p {%t q$}.
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(9 )wf\F6jN 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 |9NIGg'n 'UDBV S偏振光照明的近场强度
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P偏振光照明的近场强度 `"y{;PCt_
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 @Y'I,e
CD?&<NV 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 lg/sMF>z\f
kN'Thq/ZE PostProcess { <]#o*_aFP OpticalImaging { N
<pbO#e InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" {Jx7_T& OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" Lk(S2$)* OpticalSystem { 8Uj: SpotMagnification = 2.0 lYQtv=q } 29O]S8 } |[w^eg
o8D{dS>,PL 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 Gc5VQ^] Oc-u=K,B 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
^('cbl :J%'=_I&H 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)