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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 RUlM""@b  
                                             vd9l1"S  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 q,PB; TT  
    ) e;)9~  
    建模任务 g$EjIHb  
    CJ {?9z@$.  
    系统构建块-扫描源                                                     N6Vn/7I5%  
    ~+q$TV  
    How to Set Up a Scanning Source C-@@`EP  
                                                                                   df&d+jY  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 b U-Cd  
    Pi40w+/  
    系统构建块-参数耦合 w`CGDF\Oo  
       z"Gk K T  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion |9?67-  
                                                                                       c03A_2%  
    系统构建块-失真分析仪 [8^j wnAYS  
                                                                               wHx1CXC  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 *h-_   
     u;F++$=  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               13'tsM&  
    A@?2qX^4  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         u f.Zg;Vc  
    ALiA+k N  
    6HCP1`gg   
     "6gu6f  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 38>8{Ma  
    ;v[F@O~*)  
    Universal Detector ]RML;]^  
                                                                                   d-#MRl$rtK  
    总结-组件… vAy`8Q  
    \(cu<{=rU  
     ${8 1~  
    系统观感   W&A22jO.1  
     ullq}}  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 TlYeYN5V  
    E@}t1!E<  
     94 H\,}i 8  
    性能评估-点位偏差 vh"zYl`  
    u#/Y<1gn  
                                       smoz5~  
    性能评估-光斑直径测量                                                       6w0/;8(_m  
    %t([  
    `9(TqcE  
    )|x) KY  
    NJ/6_e  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 <*i '  
    #VgPg5k.<  
    VirtualLab Fusion技术 Ep|W>  
                                                                         /(bPc12  
     
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