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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 {k kAqJ  
                                              -PcS(  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 c$@`P  
    _TtX`b_Z  
    建模任务 V+Y|4Y&  
    " ]aQ Hh]f  
    系统构建块-扫描源                                                     N<p5p0  
    s>LA3kT  
    How to Set Up a Scanning Source F~tm`n8Z  
                                                                                   s;vWR^Ll  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 ;gZwQ6)i  
    U* -% M  
    系统构建块-参数耦合 Tm (Q@  
       xeJ9H~^  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion H|grbTv,  
                                                                                       29&sydu  
    系统构建块-失真分析仪 K#_~ !C4L  
                                                                               b{Z^)u2X  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 xR\D(FLV S  
     kA?X^nj@  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Q&oC]u(="&  
    Q2JdO 6[96  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         jjJc1p0  
    xnJjCEZ  
    j)g_*\tQ  
     *54>iO- c  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: CnxK+1n l  
    mle_*Gy8  
    Universal Detector 1~["{u  
                                                                                   @N,:x\  
    总结-组件… (%``EIc<8  
    SQ1M4:hP  
     6a "VCE]  
    系统观感   OpWeW  
     X=rc3~}f  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 *>H M$.?Q  
    $sU5=,  
     =gxgS<bde  
    性能评估-点位偏差 ;cM8EU^.  
    t/l!KdY$  
                                       F Q8RK~?`  
    性能评估-光斑直径测量                                                       >2l13^Y  
    08TaFzP81  
    Z7tU0  
    Q'n(^tbL  
    >yV)d/  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 W&fW5af9  
    >i^y;5  
    VirtualLab Fusion技术 R`0foSq \M  
                                                                         FRl3\ZDqrb  
     
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