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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 QDLtilf :  
                                             _d,_&7  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 $,bLb5}Qu  
    .p <!2   
    建模任务 0urQA_JC  
    `43E-'g  
    系统构建块-扫描源                                                     z,$^|'pP  
    $1/yc#w u  
    How to Set Up a Scanning Source &Q 3!ty  
                                                                                   8BBuYY {  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 y1@{(CDp"  
    4fQ<A <2/  
    系统构建块-参数耦合 _18) XR  
       o5A@U0c_  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ,uK }$l  
                                                                                       %n T!u!#  
    系统构建块-失真分析仪 ;5dJ5_}  
                                                                               PWmFY'=  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 P;][i|x  
     8,=,'gFO  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               -PoW56  
    ~xkcQ{  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         CKy' 8I9  
    HZ )z^K?1  
    RQ!kVM@  
     MBp%TX!  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: h 5<46!P  
    Jf9a<[CcV  
    Universal Detector UM3}7|  
                                                                                   'H zF/RKh  
    总结-组件… /*i[MB  
    2old})CLJ  
     (gQP_Oa(  
    系统观感   Ja"?Pb  
     VMXccT9i!  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 fl9`Mgu  
    eD 4X:^@  
     yX0n yhq  
    性能评估-点位偏差 Kejp7 okb  
    "A6m-xE~  
                                       =+DfIO  
    性能评估-光斑直径测量                                                       3f@@|vZF  
    kNR -eG  
    e];lDa#4-Y  
    gNUYHNzDM(  
    _(l?gj  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 q HaH=g%  
    nl5A{ s  
    VirtualLab Fusion技术 xhK8Q  
                                                                         X6 *4IE  
     
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