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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要  SXqWq  
                                             [d"]AF[#  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 #BPJRNXd  
    pg<m0g@W*;  
    建模任务 b"4'*<=au  
    @ FNaCmBX  
    系统构建块-扫描源                                                     {"v~1W)  
    ~,Y xUn8@  
    How to Set Up a Scanning Source 3{:AG,G  
                                                                                   b@v_db]|t.  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 c/Dk*.xy<  
    mYUR(*[  
    系统构建块-参数耦合 1R-1#<a>&  
       "FD`1  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion q\DN8IJ  
                                                                                       *r)/Vx`S  
    系统构建块-失真分析仪 zG\& ZU  
                                                                               K UD.hK.  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Ppton+?(  
     !l6Ez_'  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               gDN7ly]6M  
    #}xw *)3  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         }yzCq+  
    \=1$$EDS9  
    s7d4)A%  
     ! V^wq]D2  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: )k^y<lC2a  
    ~:JoKm`vU  
    Universal Detector @> |3d  
                                                                                   J#'8]p3E  
    总结-组件… @k-C>h()C  
    +,Ud 3iS  
     W(jOD,QMB  
    系统观感   WEaG/)y  
     w!%"b03q  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 c 80Ffq  
    MD):g @  
     !qu/m B  
    性能评估-点位偏差 +^<s'  
    Te6cw+6  
                                       B7QRG0  
    性能评估-光斑直径测量                                                       \Ota~A  
    Z g.La<#  
    d=nv61]  
    WR"?j 9y_q  
    "Cz0r"N  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Q2>o+G  
    drQI@sPp  
    VirtualLab Fusion技术 `nCVO;B  
                                                                         #b eLo J  
     
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