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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要  4RPc&%  
                                             5k%Gj T  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 vpt*?eR  
    "H{Et b/  
    建模任务 nK95v}p}Y  
    R^v-%mG9  
    系统构建块-扫描源                                                     VFmG\  
    )4nf={iM  
    How to Set Up a Scanning Source +<l6!r2Z  
                                                                                   }> q%##<n  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 U*P&O+(1'  
    47S1mxur  
    系统构建块-参数耦合 A_h|f5  
       ;k W+  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion CcGE4BB  
                                                                                       caG5S#8-"  
    系统构建块-失真分析仪 *Sd}cDCO%  
                                                                               kGz0`8U Ru  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 o|Q:am'H  
     &c?q#-^)\+  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               2p^Jqp`$  
    Ff eX;pi  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         71S~*"O0f  
    /nPNHO>U  
    B//2R)HS  
     <\44%M"iC-  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: AVn?86ri  
    3np |\i  
    Universal Detector JWh5gOXd  
                                                                                   *KMW6dg;  
    总结-组件… G+_Q7-o&d6  
    V4["+Y  
     b0(bL_,  
    系统观感   _nUvDdEs,  
     !t;B.[U *  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ;7:_:o[.  
    i?HN  
     GbXa=* <-<  
    性能评估-点位偏差 a)o-6  
    !#NGGIp;  
                                       E;o "^[we  
    性能评估-光斑直径测量                                                       [=EmDP:@  
    KUV(vAY,  
    GLBzlZ?  
    >~F_/Z'5  
    bMA\_?  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 'DhH:PR  
    ,J@A5/B,AA  
    VirtualLab Fusion技术 ?hFG+`"W  
                                                                         S5+W<Qs  
     
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