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摘要 {1o=/&
.D :v0Zm}m F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 Th8xh=F[ &5B+8> 建模任务 +"<f22cS1
;j$84o{ 系统构建块-扫描源 Ac|`5'/Tx '&"7(8E}
* How to Set Up a Scanning Source ^C(AMT DT*/2TH*l 系统构建块-透镜系统组件 BjA|H txi
m|) 系统构建块-参数耦合 :7R\"@V4 $1axZ~8sS Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion O&}0 7( |PWLFiT(> 系统构建块-失真分析仪 Z8m/8M
rTi.k 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 4EOu)#
b^ v.FK46G 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 Iv{}U\ u C. Sb4i* 通用探测器和探测器附加组件 A)qOJ(OEz z.QW*rW9
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9Vp$A$7M Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: "DUL} "5T 3,pRmdC Universal Detector &B))3WFy #oHHKl=M 总结-组件… Jap
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jildiT[s
sUg7 系统观感 a+]@$8+ 9{+B lNZ 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 d@C93VYp p}C3<[Nk
#*~#t4S- 性能评估-点位偏差 #KiRH* giU ](%-5G1<
J&lQ,T!?B 性能评估-光斑直径测量 Jr#ptf"Wu ]E, u\6:Txqq d=q2Or
T;I a;<mfE 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 3xeW!~ 3Y>!e# VirtualLab Fusion技术 La9dFe-uu{
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