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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 Lj1 @yokB  
                                             /{)cI^9  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 DN{G$$or  
    /+U)!$zm*  
    建模任务 uiEA=*axp  
    ,ST.pu8N.  
    系统构建块-扫描源                                                     Ca"+t lO  
    2/q=l?  
    How to Set Up a Scanning Source 'm? x2$u8  
                                                                                   &_hCs![  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 0BD((oNg  
    ;<R_j%*  
    系统构建块-参数耦合 ga9:*G!b{)  
       tBUQf*B  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion x`l; ;  
                                                                                       . TS=[WGMS  
    系统构建块-失真分析仪 0\^2HjsJ  
                                                                               Y rnqi-P  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 &V{,D))6[  
     ZTC1t_  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               (,y/nc=GN  
    vs5wxTM  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         qyfxTQ5  
    l<%~w U  
    R*C+Yk)Tkt  
     " CoR?[,x  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: z5'nS&x  
     P;/wb /  
    Universal Detector C>VZf,JE1  
                                                                                   4x=Y9w0?8  
    总结-组件… 6+#cyKj  
    *lO+^\HXD  
     ?tQv|x  
    系统观感   A6.'1OD  
     !\4FIs&Qv  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 =6YO!B>7  
    n9-[z2n  
     N\&;R$[9:  
    性能评估-点位偏差 6\@, Lb  
    r0bPaAKw  
                                       2=+ ,jX{  
    性能评估-光斑直径测量                                                       =upP3rw  
    dq(L1y870  
    %n,bPa>T  
    A@'W $p?5r  
    >f8,YisH  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。  2oASz|  
    Mp=+*I[  
    VirtualLab Fusion技术 ~-i?=  
                                                                         ~C x2Q4E  
     
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