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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 {1o=/&  
                                        
    .D :v0Zm}m  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 Th8xh=F[  
    &5B+8>  
    建模任务 +"<f22cS1  
    ;j$84o{  
    系统构建块-扫描源                                                
    Ac|`5'/Tx  
    '&"7(8E} *  
    How to Set Up a Scanning Source ^C(AMT  
                                                                                   DT*/2TH*l  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 BjA|H  
    txi m|)  
    系统构建块-参数耦合 :7R\"@V4  
       $1axZ~8sS  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion O&}07(  
                                                                                  
    |PWLFiT(>  
    系统构建块-失真分析仪 Z8m/8M  
                                                                          
    rTi.k  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 4EOu)#  
    b^v.FK46G  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Iv{}U\ u  
    C. Sb4i*  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    A) qOJ(OEz  
    z.QW*rW9  
    w'UP#vT5&  
    9Vp$A$7M  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: "DUL} "5T  
    3,pRmdC  
    Universal Detector &B))3WFy  
                                                                                   #oHHKl=M  
    总结-组件 Jap v<lV%  
    jildiT[s  
    sUg7  
    系统观感   a+ ]@$8+  
    9{+B l NZ  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 d@C93VYp  
    p}C3<[Nk  
    #*~#t4S-  
    性能评估-点位偏差 #KiRH* giU  
    ](%-5G1<  
                                  
    J&lQ,T!?B  
    性能评估-光斑直径测量                                                       Jr#ptf"Wu  
    ]E,  
    u\6:Txqq  
    d=q2Or   
    T;I a;<mfE  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 3x eW!~  
    3Y>!e#  
    VirtualLab Fusion技术 La9dFe-uu{  
                                                                    
    2 &R-z G  
     
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