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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 mEv<r6qDT  
                                             di>"\On-  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 v#@"Evh7  
    J"yO\Y  
    建模任务 X,:^})]  
    ++-HdSHY  
    系统构建块-扫描源                                                     kjfZ*V=-  
    %RG kXOgp  
    How to Set Up a Scanning Source tm@&f  
                                                                                   S=~[6;G  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 3h aYb`  
    C$SuFL(pb  
    系统构建块-参数耦合 B/:q  
       |Nd!+zE$Z  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion |)* K#%j  
                                                                                       T=(/n=  
    系统构建块-失真分析仪 4Pe%*WTX  
                                                                               @AaM]?=P{  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 L/_h5Q:'W  
     t*m04* }  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               *9y)B|P^  
    LdwWB `L  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         f <fa +fB  
    aTuD|s  
    t,#7F$t  
     {mrTpw  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: .LhIB?  
    F{0Z  
    Universal Detector d&4 ve Lu  
                                                                                   U<gM gA  
    总结-组件… X0Y1I}gD  
    <{ GpAf8-  
     dIg/g~ t"  
    系统观感   d00#;R  
     E;/WP!/.  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 y<0zAsT  
    3_|<CE6  
     "XfCLc1 T  
    性能评估-点位偏差 r/}q=J.  
    aUa.!,_dh  
                                       g>-pC a  
    性能评估-光斑直径测量                                                       0^$L{V  
    k\BJs@-  
    v/*}M&vo  
    45. -P  
    o}$uP5M8q  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 4&X D  
    %c"PMTq(  
    VirtualLab Fusion技术 3.@"GS#"[  
                                                                         @W6:JO  
     
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