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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 ` *x;&.&v  
                                             ]wWN~G)2lV  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 g:`V:kbY$  
    9a"[-B:  
    建模任务 pJ"Wg@+  
    G+[hE|L~y  
    系统构建块-扫描源                                                     o X )r4H?  
    DzYi> E:*  
    How to Set Up a Scanning Source 7NV1w*> /  
                                                                                   i5w  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 A#RA;Dt:  
    F]@vmzr  
    系统构建块-参数耦合 J,%v`A~ N  
       ie{9zO<d  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion qk{2%,u$@{  
                                                                                       yNi/JM  
    系统构建块-失真分析仪 Z\D!'FX  
                                                                               &]3_ .C  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 R}>xpU1  
     lX/s Q  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               4,!#E0  
    m!SxX&m"G  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         }p$>V,u  
    e82SG8#]  
    _Je<_pl!D  
     o( Yfnnuy  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: !E8y!|7$  
    kL\ FY  
    Universal Detector r) ;U zd  
                                                                                   Y^Y|\0  
    总结-组件… *cz nokq6  
    DKnjmZ:J|  
     1p=^I'#  
    系统观感   UUJbF$@;  
     =7wI/5iN  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 <]xGd!x$  
    5RXZ$/  
     ~VYZu=p  
    性能评估-点位偏差 $ OB2ZS"  
    N}Q%y(O^  
                                       W5PNp%+KE  
    性能评估-光斑直径测量                                                       bYQvh/(J  
    =+;l>mn?O  
    ?~c=Sa-  
    FOVghq@  
    Ndq/n21j  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 &~)PB |  
    |fqYMhA U  
    VirtualLab Fusion技术 IA I!a1e!  
                                                                         KK$t3e)  
     
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