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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 &xUD (  
                                             'u~0rMe4})  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 W#=,FZT  
    b'Km-'MtH  
    建模任务 e5 }amrz  
    !#=3>\np+X  
    系统构建块-扫描源                                                     k81%$E  
    !F.h+&^D;  
    How to Set Up a Scanning Source #'0Yzh]qc  
                                                                                   e['<.Yf+  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 I Zw  
    {Ay dt8  
    系统构建块-参数耦合 w ?*eBLJ(G  
       w)`XM  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion P-3f51Q  
                                                                                       Rc &m4|cw7  
    系统构建块-失真分析仪 RB|i<`Z  
                                                                               9\c]I0)3p  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 lRb>W31"  
     1GqSY|FSGp  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               5OzEY7K)  
    }>d  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Y~e)3e  
    Fm,` ]CO  
    8QZI(Xe9r  
     zRou~Kxi  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: a[ayr$Hk?  
    wjD<"p;P  
    Universal Detector Fx|`0 LI+C  
                                                                                   IWq#W(yM  
    总结-组件… m\X\Xp~A  
    rQyjNh  
      @O koT:  
    系统观感   %,~?;JAj  
     G}9f/$'3  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 1^^8,.'  
    -5 D<zP/  
     zQG{j\  
    性能评估-点位偏差 QA*<$v  
    BdF/(Pg  
                                       w.a9}GC  
    性能评估-光斑直径测量                                                       cw{TS  
    7HBf^N.  
    -(]C FnD_N  
    &29jg_'W  
    [`t ;or  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 9$HBKcO  
    Rd5_{F  
    VirtualLab Fusion技术 Cj<8r S4+  
                                                                         {;u,04OVK  
     
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